CN207282513U - 一种提高扩散均匀性的组件 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种提高扩散均匀性的组件，包括石英管、底架、前旋盖、进气管、排气管、石英舟，其中石英管的下部设置底架，前端口设置前旋盖，在石英管内设置石英舟，石英管的后部设置进气管，前部设置排气管，其特征在于：所述石英管的后端安装均流罩，均流罩呈锥状，且其尖端连接进气管；所述均流罩内设置有稳流网，稳流网将均流罩内腔分割成一个个稳流室；在石英管的前部侧壁设置有一圈出气孔，在石英管的前部外周设置环形集气管，集气管内设集气通道；所述排气管连通集气管。该组件通过在石英管的进气端加装稳流装置，从而使气体以稳定的气流进入石英管内，这可以使石英管内的硅片均匀接触气体，避免现有技术中出现的硅片表面电阻不均匀的问题，从而提高所制硅片的性能。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种提高扩散均匀性的组件，属于电池片加工技术领域。
背景技术
扩散在太阳能电池片的制造过程中起着至关重要的作用，这个过程中在电池片内部形成的PN结是太阳能电池的心脏。要制造一个PN结，必须使一块完整的半导体晶体的一部分是P型区域，另一部分是N型区域，制作太阳电池的硅片是P型的，目前采用的方法是将硅片放入石英器件中，通入含磷的气体，在有磷渗透的一面就形成了N型，在没有渗透的一面是原始P型的， 这样就达到了在硅片内部形成了所要的PN结。扩散过程中硅片放置于石英舟中再放入石英管中，在石英管中进行工艺。扩散气源是从石英炉管尾部通入，由于气流的流动关系，硅片的中间部分接触的气源较少，往往方块电阻较大，影响电池片整体质量。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种提高扩散均匀性的组件，从而解决现有生产技术中存在的气体扩散不均匀，所生产的硅片性能不稳定的问题。
一种提高扩散均匀性的组件，包括石英管、底架、前旋盖、进气管、排气管、石英舟，其中石英管的下部设置底架，前端口设置前旋盖，在石英管内设置石英舟，石英管的后部设置进气管，前部设置排气管，其特征在于：所述石英管的后端安装均流罩，均流罩呈锥状，且其尖端连接进气管；所述均流罩内设置有稳流网，稳流网将均流罩内腔分割成一个个稳流室；在石英管的前部侧壁设置有一圈出气孔，在石英管的前部外周设置环形集气管，集气管内设集气通道，且集气通道连通出气孔；所述排气管连通集气管。
该组件通过在石英管的进气端加装稳流装置，从而使气体以稳定的气流进入石英管内，这可以使石英管内的硅片均匀接触气体，在硅片上形成均匀的PN结，并避免现有技术中出现的硅片表面电阻不均匀的问题，从而提高所制硅片的性能。
进一步，所述稳流网至少有三个，且所述稳流网之间的距离从左到右依次变大。稳流网用于打散气流，并对气流新型重新汇聚，实现稳定气流的目的，因此适当增加稳流网可以提高稳流效果。逐步加大稳流网之间的距离则可以更有利于气流的稳定流动。
进一步，所述排气管为两端开口的弧形管，且其两端连通集气管，且在排气管的中部设置汇流管。弧形排气管的两端连接集气管，可以使集气管内的气体从排气管两端进入排气管，这可以避免气流的集中排出，造成集气管内的气流不稳定，进而影响石英管内的气流的均匀流通。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型的半剖结构示意图；
图3为本实用新型的排气部分的结构示意图。
图中，石英管1、底架2、前旋盖3、均流罩4、进气管5、集气管6、排气管7、石英舟8、出气孔9、集气通道10、稳流网11、稳流室12、汇流管13。
具体实施方式
以下为本实用新型的较佳实施方式，但并不因此而限定本实用新型的保护范围。
如图所示，一种提高扩散均匀性的组件，包括石英管1、底架2、前旋盖3、进气管5、排气管7、石英舟8，其中石英管1的下部设置底架2，前端口设置前旋盖3，在石英管1内设置石英舟8，石英管1的后部设置进气管5，前部设置排气管7，其特征在于：所述石英管1的后端安装均流罩4，均流罩4呈锥状，且其尖端连接进气管5；所述均流罩4内设置有稳流网11，稳流网11将均流罩4内腔分割成一个个稳流室12；在石英管1的前部侧壁设置有一圈出气孔9，在石英管1的前部外周设置环形集气管6，集气管6内设集气通道10，且集气通道10连通出气孔9；所述排气管7连通集气管6。
进一步，所述稳流网11至少有三个，且所述稳流网11之间的距离从左到右依次变大。稳流网11用于打散气流，并对气流新型重新汇聚，实现稳定气流的目的，因此适当增加稳流网11可以提高稳流效果。逐步加大稳流网11之间的距离则可以更有利于气流的稳定流动。
进一步，所述排气管7为两端开口的弧形管，且其两端连通集气管6，且在排气管7的中部设置汇流管13。弧形排气管7的两端连接集气管6，可以使集气管6内的气体从排气管7两端进入排气管7，这可以避免气流的集中排出，造成集气管6内的气流不稳定，进而影响石英管1内的气流的均匀流通。
本实用新型设计了一种提高扩散均匀性的组件，该组件通过在石英管的进气端加装稳流装置，从而使气体以稳定的气流进入石英管内，这可以使石英管内的硅片均匀接触气体，在硅片上形成均匀的PN结，并避免现有技术中出现的硅片表面电阻不均匀的问题，从而提高所制硅片的性能。
以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (4)
1.一种提高扩散均匀性的组件，包括石英管、底架、前旋盖、进气管、排气管、石英舟，其中石英管的下部设置底架，前端口设置前旋盖，在石英管内设置石英舟，石英管的后部设置进气管，前部设置排气管，其特征在于：所述石英管的后端安装均流罩，均流罩呈锥状，且其尖端连接进气管；所述均流罩内设置有稳流网，稳流网将均流罩内腔分割成一个个稳流室；在石英管的前部侧壁设置有一圈出气孔，在石英管的前部外周设置环形集气管，集气管内设集气通道，且集气通道连通出气孔；所述排气管连通集气管。
2.根据权利要求1所述的一种提高扩散均匀性的组件，其特征在于：所述稳流网至少有三个。
3.根据权利要求2所述的一种提高扩散均匀性的组件，其特征在于：所述稳流网之间的距离从左到右依次变大。
4.根据权利要求1至3中任一项权利要求所述的一种提高扩散均匀性的组件，其特征在于：所述排气管为两端开口的弧形管，且其两端连通集气管，且在排气管的中部设置汇流管。
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| CN (1) | CN207282513U (zh) |
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| CN109060663A (zh) * | 2018-07-03 | 2018-12-21 | 青岛海纳光电环保有限公司 | 一种气体吸收池及光学气体分析仪 |
| CN114182353A (zh) * | 2021-12-06 | 2022-03-15 | 东海县奥博石英制品有限公司 | 一种内设平衡流量结构的石英扩散管及其方法 |
| WO2022156495A1 (zh) * | 2021-01-22 | 2022-07-28 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 工艺腔室的进气组件、进气装置及半导体加工设备 |
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| WO2022156495A1 (zh) * | 2021-01-22 | 2022-07-28 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 工艺腔室的进气组件、进气装置及半导体加工设备 |
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