CN208844170U - 吸附装置以及蒸镀设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种吸附装置以及蒸镀设备，属于蒸镀技术领域，其可至少部分解决现有的吸附装置在拆卸金属掩膜版时容易对金属掩膜版造成损坏的问题。本实用新型的一种吸附装置，用于吸附金属掩膜版，吸附装置包括：至少一个第一磁铁；与第一磁铁一一对应的第二磁铁；驱动结构，与第二磁铁连接，用于驱动第二磁铁运动，以使第二磁铁能够在与第一磁铁并排且磁性方向相同的位置或者与第一磁铁并排且磁性方向相反的位置间转换，磁性方向为由磁铁的N极指向S极的方向。

Description

吸附装置以及蒸镀设备

技术领域

本实用新型属于蒸镀技术领域，具体涉及一种吸附装置以及蒸镀设备。

背景技术

有机发光二极管(OLED)显示器因其具有自发光、轻薄、功耗低、高对比度、高色域、可实现柔性显示等优点，已被广泛地应用于包括电脑、手机等电子产品在内的各种电子设备中。

OLED显示器生产过程中需要通过与OLED发光显示单元精度相适应的掩膜版组件将有机层蒸镀到基板上，形成OLED发光显示单元。现有技术的蒸镀过程中，一般采用基板夹在磁隔板(吸附装置)与金属掩膜版之间的方式固定金属掩膜版与基板，而磁隔板吸附金属掩膜版以使其与基板紧密接触。

然而，当需要将金属掩膜版从磁隔板上拆卸下时，由于磁隔板的磁力是一定的，磁隔板的磁力会导致金属掩膜版变形而损坏金属掩膜版，从而会增加制造成本，造成不必要的资源浪费。

实用新型内容

本实用新型至少部分解决现有的吸附装置在拆卸金属掩膜版时容易对金属掩膜版造成损坏的问题，提供一种在安装或者拆卸金属掩膜版时不会损坏金属掩膜版的吸附装置。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种吸附装置，用于吸附金属掩膜版，所述吸附装置包括：

至少一个第一磁铁；

与所述第一磁铁一一对应的第二磁铁；

驱动结构，与所述第二磁铁连接，用于驱动所述第二磁铁运动，以使所述第二磁铁能够在与所述第一磁铁并排且磁性方向相同的位置或者与所述第一磁铁并排且磁性方向相反的位置间转换，所述磁性方向为由磁铁的N极指向S极的方向。

进一步优选的是，该吸附装置还包括：第一底板，所述第一磁铁固定在所述第一底板的一个表面上，所述第一磁铁与所述第二磁铁设于所述第一底板同一侧。

进一步优选的是，所述第二磁铁设于所述第一磁铁远离所述第一底板的一侧；所述第一磁铁和第二磁铁的磁性方向均平行于所述第一底板，所述驱动结构用于驱动所述第二磁铁在平行于所述第一底板的面内转动，以改变所述第二磁铁的磁性方向。

进一步优选的是，所述驱动结构包括：第一轴，与所述第二磁铁固定连接，所述第一轴的轴线垂直于所述第一底板且穿过所述第二磁铁的中心，所述第一轴能绕其轴线转动。

进一步优选的是，所述第一磁铁和所述第二磁铁均有多个且阵列排布；所述驱动结构还包括：多个第一连接杆32，与所述第一底板平行，每个所述第一连接杆32的第一端固定连接在一个所述第一轴远离所述第二磁铁的一端；多个第二连接杆，平行于所述第一底板，每个第二连接杆沿行方向设置，且与同行的多个所述第一连接杆32的第二端转动连接；第二轴，能绕自身的轴线转动，在列方向上，所述第二轴的每侧均有多个所述第二连接杆；至少两个第三连接杆，每个所述第三连接杆与在列方向上位于所述第二轴同侧的全部所述第二连接杆固定连接；两个第四连接杆，每个所述第四连接杆的一端与所述第二轴的外侧面转动连接，另一端与一个所述第二连接杆转动连接。

进一步优选的是，所述驱动结构还包括：第二底板，与所述第一底板相对设置，且所述第一磁铁和所述第二磁铁位于所述第一底板与所述第二底板之间；所述第二底板具有通孔，所述第一轴可转动的穿过所述通孔。

进一步优选的是，所述第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆、第四连接杆均设于所述第二底板远离所述第一底板一侧。

进一步优选的是，所述第一磁铁和所述第二磁铁均有多个。

进一步优选的是，所有的所述第一磁铁的磁性方向相同。

进一步优选的是，所述第一磁铁和所述第二磁铁均为永磁铁。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种蒸镀设备，包括上述的吸附装置。

附图说明

图1a和图1b为本实用新型的实施例的一种吸附装置在吸附状态的立体结构示意图；

图2a为本实用新型的实施例的一种吸附装置在吸附状态的俯视结构示意图；

图2b为本实用新型的实施例的一种吸附装置在吸附状态的截面结构示意图；

图3为本实用新型的实施例的一种吸附装置在吸附状态的磁场线的示意图；

图4为本实用新型的实施例的一种吸附装置在非吸附状态的立体结构示意图；

图5为本实用新型的实施例的一种吸附装置在非吸附状态的俯视结构示意图；

图6为本实用新型的实施例的一种吸附装置在非吸附状态的磁场线的示意图；

其中，附图标记为：11第一磁铁；12第二磁铁；20第一底板；31第一轴；32第一连接杆；33第二连接杆；34第二轴；35 第三连接杆；36第四连接杆；37第二底板；40第三轴。

具体实施方式

以下将参照附图更详细地描述本实用新型。在各个附图中，相同的元件采用类似的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。此外，在图中可能未示出某些公知的部分。

在下文中描述了本实用新型的许多特定的细节，例如部件的结构、材料、尺寸、处理工艺和技术，以便更清楚地理解本实用新型。但正如本领域的技术人员能够理解的那样，可以不按照这些特定的细节来实现本实用新型。

实施例1：

如图1至图6所示，其中，为了示意清楚图1b中的第二底板 37为透明的；图2b为图2a在A-A处的横截面示意图。

本实施例提供一种吸附装置，用于吸附金属掩膜版，吸附装置包括：

至少一个第一磁铁11；

与第一磁铁11一一对应的第二磁铁12；

驱动结构，与第二磁铁12连接，用于驱动第二磁铁12运动，以使第二磁铁12能够在与第一磁铁11并排且磁性方向相同的位置或者与第一磁铁11并排且磁性方向相反的位置间转换，磁性方向为由磁铁的N极指向S极的方向。

其中，也就是说第一磁铁11和第二磁铁12的是叠置排布的，两者之间可以是接触的或者是不接触的。第一磁铁11可以是固定不动的，如图3所示，当第二磁铁12在驱动结构的作用下转动至与第一磁铁11的磁性方向相同的位置时，第二磁铁12与第一磁铁11整体会对金属掩膜版产生足够的吸附力；如图6所示，当第二磁铁12在驱动结构的作用下转动至与第一磁铁11的磁性方向相反的位置时，第二磁铁12产生的磁场会与第一磁铁11产生的磁场相互抵消，使得第一磁铁11和第二磁铁12整体对金属掩膜版的吸引力消失，此时该吸附装置对金属掩膜版不具有吸引力。

本实施例的吸附装置中，驱动机构可以改变第二磁铁12的位置，以使该吸附装置对金属掩膜版的吸引力存在或者消失，从而方便金属掩膜版的安装或者拆卸，避免金属掩膜版在从吸附装置上拆卸的过程中由于吸引力对金属掩膜版造成的拉扯性的损伤。

优选的，第一磁铁11和第二磁铁12均为永磁铁。

其中，也就是说第一磁铁11以及第二磁铁12的磁性方向以及磁场的大小是不变的。

本实施例的吸附装置的就是在不改变第一磁铁11和第二磁铁12的磁性的前提下，通过驱动机构改变吸附装置的吸附力，这样的结构操作简单，制作成本低。

优选的，第一磁铁11和第二磁铁12均有多个且阵列排布。

其中，多个第一磁铁11和第二磁铁12的设置可以增大吸附装置在吸附状态时的吸附力，从而提高吸附装置的性能。

优选的，所有的第一磁铁11的磁性方向相同。

其中，当第二磁铁12的磁性方向与第一磁铁11的磁性方向相同时，所有的第二磁铁12磁性方向也相同；而当第二磁铁12 转动以后，第二磁铁12的磁性方向与第一磁铁11的磁性方向相反，所有的第二磁铁12磁性方向依然相同。

所有的第一磁铁11的磁性方向相同可以进一步提高吸附装置在吸附状态使得吸附力，从而提高吸附装置的性能。

优选的，本实施例的吸附装置还包括：第一底板20，第一磁铁11固定在第一底板20的一个表面上，第一磁铁11与第二磁铁 12设于第一底板20同一侧。

其中，被吸附的金属掩膜版置于第一底板20的与固定第一磁铁11的表面相对的表面上，而基板夹在第一底板20与金属掩膜版之间，使得基板与第一底板20固定第一磁铁11表面的相对表面相互贴合。

第一底板20的一个表面可以将第一磁铁11的位置固定，而其另一个表面可以与基板相互贴合，以使基板与金属掩膜版更稳定的被吸附装置固定，进一步提高该吸附装置的吸附性能。

优选的，第二磁铁12设于第一磁铁11远离第一底板20的一侧；第一磁铁11和第二磁铁12的磁性方向均平行于第一底板20，驱动结构用于驱动第二磁铁12在平行于第一底板20的面内转动，以改变第二磁铁12的磁性方向。

其中，第一磁铁11和第二磁铁12均可以是条状的，其一端为N极，另一端为S极。也就是说条状的第一磁铁11和第二磁铁 12分别与第一底板20平行。

当第一磁铁11和第二磁铁12的数量以及性质不变时，第一磁铁11和第二磁铁12的磁性方向均平行于第一底板20的结构可以使得金属掩膜版在被吸附时所受的吸引力最大，从而使得吸附装置在体积较小的情况下其吸附性能最佳。

优选的，驱动结构包括：第一轴31，与第二磁铁12固定连接，第一轴31的轴线垂直于第一底板20且穿过第二磁铁12的中心，第一轴31能绕其轴线转动。

其中，第一轴31的轴线相对于第一磁铁11的位置不变的，当第一轴31绕其轴线转动180°时，第二磁铁12在第一轴31的带动下也转动180°，即第二磁铁12相对于第一磁铁11转动 180°，例如，在转动之前，第一磁铁11与第二磁铁12的磁性方向是相同的，当第一轴31绕其轴线转动180°时，第一磁铁11 与第二磁铁12的磁性方向变为相反，但是在转动前后第一磁铁11 与第二磁铁12的相对位置是不变的。

第一轴31的结构简单，并且其转动可以稳定准确的控制第二磁铁12的转动，以使该吸附装置可以正常运行。

优选的，驱动结构还包括：多个第一连接杆32，与第一底板 20平行，每个第一连接杆32的第一端固定连接在一个第一轴31 远离第二磁铁12的一端；多个第二连接杆33，平行于第一底板 20，每个第二连接杆33沿行方向设置，且与同行的多个第一连接杆32的第二端转动连接；第二轴34，能绕自身的轴线转动，在列方向上，第二轴34的每侧均有多个第二连接杆33；至少两个第三连接杆35，每个第三连接杆35与在列方向上位于第二轴34同侧的全部第二连接杆33固定连接；两个第四连接杆36，每个第四连接杆36的一端与第二轴34的外侧面转动连接，另一端与一个第二连接杆33转动连接。

其中，也就是说每一个第二磁铁12都依次固定连接一个第一轴31以及第一连接杆32，第一连接杆32绕着第一轴31的轴线转动可带动第一轴31绕其轴线转动。在行方向的每一行的所有第一连接杆32同时转动连接到一个第二连接杆33上，当第二连接杆 33在一定位置移动时，可同时带动与其连接的第一连接杆32转动，从而使得这一行的所有第二磁铁12同时发生转动。在列方向上有多个第一连接杆32，第二轴34设置于列方向的中心位置，将多个第二连接杆33分为位于第二轴34两侧的两部分。第三连接杆35将其中一部分的第二连接杆33固定连接，使得每一部分中的多个第二连接杆33的相互的相对位置不发生变化。通过两个第四连接杆36分别将位于第二轴34两侧的两部分的第二连接杆33 活动连接在第二轴34的外侧面，当第二轴34相对于其轴线转动时，第四连接杆36带动第二连接杆33移动，第二连接杆33带动与其连接的第一连接杆32转动，从而使得所有第二磁铁12同时发生转动。

由两种轴(第一轴31和第二轴34)以及四种连接杆(第一连接杆32、第二连接杆33、第三连接杆35、第四连接杆36)的组成的联动机构可以同时带动所有的第二磁铁12转动，可以同时将多个第一磁铁11和第二磁铁12产生的磁场相互抵消，从而使得吸附装置的吸引力消失。

优选的，驱动结构还包括：第二底板37，与第一底板20相对设置，且第一磁铁11和第二磁铁12位于第一底板20与第二底板37之间；第二底板37具有通孔，第一轴31可转动的穿过通孔。

其中，第一轴31可以与通孔为间隙配合，而第二底板37相对于第一磁铁11的位置固定，以固定第一轴31的轴线相对于第一磁铁11的位置。第一磁铁11与第二磁铁12位于第一底板20 与第二底板37之间。而第一连接杆32、第二连接杆33、第三连接杆35、第四连接杆36均设于第二底板37远离第一底板20一侧，即驱动结构除了部分第一轴31之外的其余结构都位于第二底板 37远离第一底板20的一侧。

第二底板37的设置使得整个驱动结构更加稳固，可以提高该吸附机构的性能以及延长其的使用寿命。

具体的，本实施例的吸附装置还包括：第三轴40，分别与第一底板20和第二底板37垂直，用于固定第一底板20和第二底板 37的位置，第三轴40至少部分穿过第二底板37；第二轴34为中空轴，第二轴34套设在第三轴40穿过第二底板37的部分上，第二轴34能够以第三轴40为轴转动。

其中，也就是说第三轴40不仅将第一底板20以及第二底板 37之间的相对位置固定，而且使得第二轴34的转动更方便，从而使得整个驱动机构更加完善。

实施例2：

本实施例提供一种蒸镀设备，包括实施例1中的吸附装置。

本实施例的蒸镀设备可以避免金属掩膜版在从吸附装置上拆卸的过程中由于吸引力对金属掩膜版造成的拉扯性的损伤，从而可延长该蒸镀设备的使用寿命。

应当说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

依照本实用新型的实施例如上文所述，这些实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施例。显然，根据以上描述，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地利用本实用新型以及在本实用新型基础上的修改使用。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (11)

1.一种吸附装置，用于吸附金属掩膜版，其特征在于，所述吸附装置包括：

至少一个第一磁铁；

与所述第一磁铁一一对应的第二磁铁；

驱动结构，与所述第二磁铁连接，用于驱动所述第二磁铁运动，以使所述第二磁铁能够在与所述第一磁铁并排且磁性方向相同的位置或者与所述第一磁铁并排且磁性方向相反的位置间转换，所述磁性方向为由磁铁的N极指向S极的方向。

2.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，还包括：

第一底板，所述第一磁铁固定在所述第一底板的一个表面上，所述第一磁铁与所述第二磁铁设于所述第一底板同一侧。

3.根据权利要求2所述的吸附装置，其特征在于，

所述第二磁铁设于所述第一磁铁远离所述第一底板的一侧；

所述第一磁铁和第二磁铁的磁性方向均平行于所述第一底板，所述驱动结构用于驱动所述第二磁铁在平行于所述第一底板的面内转动，以改变所述第二磁铁的磁性方向。

4.根据权利要求3所述的吸附装置，其特征在于，所述驱动结构包括：

第一轴，与所述第二磁铁固定连接，所述第一轴的轴线垂直于所述第一底板且穿过所述第二磁铁的中心，所述第一轴能绕其轴线转动。

5.根据权利要求4所述的吸附装置，其特征在于，所述第一磁铁和所述第二磁铁均有多个且阵列排布；

所述驱动结构还包括：

多个第一连接杆，与所述第一底板平行，每个所述第一连接杆的第一端固定连接在一个所述第一轴远离所述第二磁铁的一端；

多个第二连接杆，平行于所述第一底板，每个第二连接杆沿行方向设置，且与同行的多个所述第一连接杆的第二端转动连接；

第二轴，能绕自身的轴线转动，在列方向上，所述第二轴的每侧均有多个所述第二连接杆；

至少两个第三连接杆，每个所述第三连接杆与在列方向上位于所述第二轴同侧的全部所述第二连接杆固定连接；

两个第四连接杆，每个所述第四连接杆的一端与所述第二轴的外侧面转动连接，另一端与一个所述第二连接杆转动连接。

6.根据权利要求5所述的吸附装置，其特征在于，所述驱动结构还包括：

第二底板，与所述第一底板相对设置，且所述第一磁铁和所述第二磁铁位于所述第一底板与所述第二底板之间；

所述第二底板具有通孔，所述第一轴可转动的穿过所述通孔。

7.根据权利要求6所述的吸附装置，其特征在于，所述第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆、第四连接杆均设于所述第二底板远离所述第一底板一侧。

8.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述第一磁铁和所述第二磁铁均有多个。

9.根据权利要求8所述的吸附装置，其特征在于，所有的所述第一磁铁的磁性方向相同。

10.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述第一磁铁和所述第二磁铁均为永磁铁。

11.一种蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求1-10中任意之一的吸附装置。