CN208819861U - 一种gpp晶片裂片装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种GPP晶片裂片装置，在使用前根据裂片力度的需求对压辊进行预压力调节，而在使用时，将待裂片的晶片放置在裂片槽内，然后启动伺服电机，使得丝杠驱动滑块完成左右运动一次的行程，滑块通过平动板和拖动连杆带动压辊完成左右运动一次的行程，完成对晶片的裂片，尤其是可以自左向右完成一次，再自右向左完成一次，一个来回可以完成两次裂片，裂片效率高，尤其是相对人工施力裂片，施力稳定性高，能够有效提高裂片质量。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体的技术领域，尤其涉及一种GPP晶片裂片装置。
背景技术
GPP(Glass Passivated Pellet，简称GPP)芯片，也就是玻璃钝化芯片，相比起OJ芯片，具有不改变产品封装、散热好、结温低、可靠性更好等优点，因此为广大客户所采购。在GPP芯片加工时，GPP晶片在进行划片后就需要进行裂片，即将晶片裂成小晶粒，目前一般都是人工通过电木棍进行裂片操作，但是人工裂片的缺陷很明显，操作者容易疲劳，疲劳状态下进行裂片难以稳定施力，裂片质量很大程度上人为因素，对于一般的操作者的技术素养要求较高，严重制约了生产效率。
实用新型内容
针对以上现有存在的问题，本实用新型提供一种GPP晶片裂片装置，在使用前根据裂片力度的需求对压辊进行预压力调节，而在使用时，将待裂片的晶片放置在裂片槽内，然后启动伺服电机，使得丝杠驱动滑块完成左右运动一次的行程，滑块通过平动板和拖动连杆带动压辊完成左右运动一次的行程，完成对晶片的裂片，尤其是可以自左向右完成一次，再自右向左完成一次，一个来回可以完成两次裂片，裂片效率高，尤其是相对人工施力裂片，施力稳定性高，能够有效提高裂片质量。
本实用新型的技术方案在于：
本实用新型提供一种GPP晶片裂片装置，包括压辊、辊支架、拖动连杆和操作台，所述压辊设置在所述操作台上，所述压辊的左右两端铰接在所述辊支架上，所述辊支架的上端中央固定设置有竖直向上延伸的所述拖动连杆，所述拖动连杆的上端贯穿所述平动板的中央，所述拖动连杆处于所述平动板下方的部分上固定设置有固定环片，所述固定环片与所述平动板之间设置有压缩弹簧，所述拖动连杆处于所述固定环片上方的部分呈螺柱状且上端通过螺纹连接嵌套有调压螺母，所述调压螺母的下端面压靠在所述平动板的上端面上；
所述平动板的前后两端分别固定设置有滑块，所述滑块的左右两端贯穿并螺纹连接有丝杠，所述丝杠的右端贯穿并铰接在所述右侧板上，所述丝杠的左端贯穿并铰接在所述左侧板上；
所述左侧板和所述右侧板的上端竖直向上延伸且上端之间固定设置有上连板，所述上连板经过所述左侧板水平向左延伸且左端固定设置有电机安装板，所述电机安装板竖直向下延伸且通过螺栓连接设置有两个伺服电机，所述伺服电机分别与所述丝杠直连；
所述电机安装板和所述右侧板的相向端面中央分别固定设置有柱套，所述柱套自下而上嵌入有支撑柱，两个所述支撑柱竖直向下延伸且下端之间固定设置有底板，所述底板上端面中央设置有操作台。
进一步地，所述操作台的上端面中央设置有裂片槽，所述裂片槽的底部与所述压辊接触。
进一步地，两个所述伺服电机与外接控制器并联且能够实现同步同向驱动。
本实用新型由于采用了上述技术，使之与现有技术相比具体的积极有益效果为：
1、本实用新型在使用前根据裂片力度的需求，先启动伺服电机进行一次行程的运行，通过压辊滚压压力传感器，对整个装置进行施力校核，如果压力传感器的检测结果不合格，通过扳手调节调压螺母，调节压缩弹簧对拖动连杆的弹性力，直至压力传感器的检测结果符合所需求的裂片力度，而在使用时，将待裂片的晶片放置在裂片槽内，然后启动伺服电机，使得丝杠驱动滑块完成左右运动一次的行程，滑块通过平动板和拖动连杆带动压辊完成左右运动一次的行程，完成对晶片的裂片，尤其是可以自左向右完成一次，再自右向左完成一次，一个来回可以完成两次裂片，裂片效率高。
2、本实用新型相对人工施力裂片，通过采用预先校核的压缩弹簧对拖动连杆施加恒定的压力，也就是使得压辊对晶片施加恒定滚压力度，施力稳定性高，能够有效提高裂片质量。
3、本实用新型结构安全可靠，具有良好的市场前景。
4、本实用新型产品性能好，使用寿命长。
5、本实用新型便于使用，方便快捷。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图中：1-上连板，2-柱套，3-右侧板，4-丝杠，5-支撑柱，6-底板，7-操作台，8-裂片槽，9-平动板，10-压辊，11-辊支架，12-拖动连杆，13-固定环片，14-压缩弹簧，15-伺服电机，16-左侧板，17-调压螺母，18-滑块。
具体实施方式
为能清楚说明本方案的技术特点，下面通过具体实施方式，并结合其附图，对本实用新型进行详细阐述。下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/ 或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。应当注意，在附图中所图示的部件不一定按比例绘制。本实用新型省略了对公知组件和处理技术及工艺的描述以避免不必要地限制本实用新型。
此外,在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中央”、“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
实施例1，如附图1所示，本实用新型提供一种GPP晶片裂片装置，包括压辊10、辊支架11、拖动连杆12和操作台7，压辊10设置在操作台7上，压辊 10的左右两端铰接在辊支架11上，辊支架11的上端中央固定设置有竖直向上延伸的拖动连杆12，拖动连杆12的上端贯穿平动板9的中央，拖动连杆12处于平动板9下方的部分上固定设置有固定环片13，固定环片13与平动板9之间设置有压缩弹簧14，拖动连杆12处于固定环片13上方的部分呈螺柱状且上端通过螺纹连接嵌套有调压螺母17，调压螺母17的下端面压靠在平动板9的上端面上；
平动板9的前后两端分别固定设置有滑块18，滑块18的左右两端贯穿并螺纹连接有丝杠4，丝杠4的右端贯穿并铰接在右侧板3上，丝杠4的左端贯穿并铰接在左侧板16上；
左侧板16和右侧板3的上端竖直向上延伸且上端之间固定设置有上连板1，上连板1经过左侧板16水平向左延伸且左端固定设置有电机安装板，电机安装板竖直向下延伸且通过螺栓连接设置有两个伺服电机15，两个伺服电机15与单片机、PLC控制器等外接控制器实现电性并联且能够实现同步同向驱动，伺服电机15分别与丝杠4直连；
电机安装板和右侧板3的相向端面中央分别固定设置有柱套2，柱套2自下而上嵌入有支撑柱5，两个支撑柱5竖直向下延伸且下端之间固定设置有底板6，底板6上端面中央设置有操作台7，操作台7的上端面中央设置有裂片槽8，裂片槽8的底部与压辊10接触。
通过采用上述技术方案，在使用前根据裂片力度的需求，先启动伺服电机 15进行一次行程的运行，通过压辊10滚压压力传感器，对整个装置进行施力校核，如果压力传感器的检测结果不合格，通过扳手调节调压螺母17，调节压缩弹簧14对拖动连杆12的弹性力，直至压力传感器的检测结果符合所需求的裂片力度，而在使用时，将待裂片的晶片放置在裂片槽8内，然后启动伺服电机 15，使得丝杠4驱动滑块18完成左右运动一次的行程，滑块18通过平动板9 和拖动连杆12带动压辊10完成左右运动一次的行程，完成对晶片的裂片，尤其是可以自左向右完成一次，再自右向左完成一次，一个来回可以完成两次裂片，裂片效率高，尤其是相对人工施力裂片，通过采用预先校核的压缩弹簧14 对拖动连杆12施加恒定的压力，也就是使得压辊10对晶片施加恒定滚压力度，施力稳定性高，能够有效提高裂片质量。
在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。而在本实用新型各个零部件所采用的材质方面，如果带有“弹性”术语描述的零部件，可以采用的是弹簧钢材质，也可以采用的是橡胶材质；如果带有“刚性”术语描述的零部件，可以采用的是钢材质，也可以采用的是硬质工程塑料材质。对于本领域的普通技术人员而言，可以依据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (3)
1.一种GPP晶片裂片装置，包括压辊、辊支架、拖动连杆和操作台，所述压辊设置在所述操作台上，所述压辊的左右两端铰接在所述辊支架上，所述辊支架的上端中央固定设置有竖直向上延伸的所述拖动连杆，其特征在于：所述拖动连杆的上端贯穿平动板的中央，所述拖动连杆处于所述平动板下方的部分上固定设置有固定环片，所述固定环片与所述平动板之间设置有压缩弹簧，所述拖动连杆处于所述固定环片上方的部分呈螺柱状且上端通过螺纹连接嵌套有调压螺母，所述调压螺母的下端面压靠在所述平动板的上端面上；
所述平动板的前后两端分别固定设置有滑块，所述滑块的左右两端贯穿并螺纹连接有丝杠，所述丝杠的右端贯穿并铰接在所述右侧板上，所述丝杠的左端贯穿并铰接在所述左侧板上；
所述左侧板和所述右侧板的上端竖直向上延伸且上端之间固定设置有上连板，所述上连板经过所述左侧板水平向左延伸且左端固定设置有电机安装板，所述电机安装板竖直向下延伸且通过螺栓连接设置有两个伺服电机，所述伺服电机分别与所述丝杠直连；
所述电机安装板和所述右侧板的相向端面中央分别固定设置有柱套，所述柱套自下而上嵌入有支撑柱，两个所述支撑柱竖直向下延伸且下端之间固定设置有底板，所述底板上端面中央设置有操作台。
2.根据权利要求1所述的一种GPP晶片裂片装置，其特征在于：所述操作台的上端面中央设置有裂片槽，所述裂片槽的底部与所述压辊接触。
3.根据权利要求1或2所述的一种GPP晶片裂片装置，其特征在于：两个所述伺服电机与外接控制器并联且能够实现同步同向驱动。
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Cited By (1)
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| CN112331589A (zh) * | 2020-10-26 | 2021-02-05 | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） | 一种辊压单元、划槽晶圆分离装置及划槽晶圆分离方法 |
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| CN112331589A (zh) * | 2020-10-26 | 2021-02-05 | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） | 一种辊压单元、划槽晶圆分离装置及划槽晶圆分离方法 |
| CN112331589B (zh) * | 2020-10-26 | 2023-08-22 | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） | 一种辊压单元、划槽晶圆分离装置及划槽晶圆分离方法 |
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