CN208562595U - 半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构，包括一旋转锁紧机构，旋转锁紧机构包括一设有外齿的固定环以及一设有内齿的旋转环，旋转锁紧机构通过外齿与内齿相抵或者错位进行锁紧或者松开；固定环安装在上炉筒的下端面上；还包括一旋转环安装机构，旋转环安装机构包括一定位环以及定位外环，定位环安装在隔离阀的上端，定位外环安装在定位环的上端，旋转环的外边缘设置在定位环与定位外环之间；定位外环上安装有至少四个用于支撑旋转环的定位滚轮，至少四个定位滚轮以定位外环的中心轴线为中心线呈环状排布，且所有的定位滚轮的外圆周均与旋转环外表面相抵。通过固定环与旋转环的相对转动进而实现锁紧与松开的调整，便于操作。
Description
技术领域
本实用新型涉及机械技术领域，具体涉及半导体单晶炉上炉筒与隔离阀的自动脱开机构。
背景技术
现有的单晶炉没有上炉筒自动脱开机构，上炉筒与隔离阀通过导向销导向，及螺栓固定，上炉筒打开时需要人先手动松开螺栓，关闭时需手动再次把螺栓拧紧，且在设备上有一定的高度操作困难，有一定安全隐患。
实用新型内容
针对现有技术存在的问题，本实用新型提供半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构，以解决上述至少一个技术问题。
本实用新型的技术方案是：半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构，其特征在于，包括一旋转锁紧机构，所述旋转锁紧机构包括一设有外齿的固定环以及一设有内齿的旋转环，所述旋转锁紧机构通过外齿与内齿相抵或者错位进行锁紧或者松开；
所述固定环安装在所述上炉筒的下端面上；
还包括一旋转环安装机构，所述旋转环安装机构包括一定位环以及定位外环，所述定位环安装在隔离阀的上端，所述定位外环安装在所述定位环的上端，所述旋转环的外边缘设置在所述定位环与所述定位外环之间；
当旋转锁紧机构处于锁紧状态下，所述外齿位于内齿正下方，当旋转锁紧机构处于松开状态下，所述外齿位于相邻内齿间隙的正下方；
所述定位环、定位外环以及旋转环的中心轴线处于同一直线；
所述定位外环上安装有至少四个用于支撑旋转环的定位滚轮，至少四个定位滚轮以所述定位外环的中心轴线为中心线呈环状排布，且所有的定位滚轮的外圆周均与所述旋转环外表面相抵；
还包括一驱动旋转环以旋转环的中心轴线为旋转中心线进行转动的旋转驱动机构，所述旋转驱动机构与所述旋转环传动连接。
本专利的创新点在于：(1)通过固定环与旋转环的相对转动进而实现锁紧与松开的调整，便于操作。
(2)通过定位环以及定位滚轮的设计，便于对旋转环的位置的固定，便于保证旋转环在旋转过程中处于同一位置。
所述旋转驱动机构是两个气缸伸缩机构；两个气缸伸缩机构呈中心对称分布；
所述固定环以及所述旋转环上均安装有一气缸固定座，以安装在固定环上的气缸固定座为第一气缸固定座，以安装在旋转环上的气缸固定座为第二气缸固定座；
一个气缸伸缩机构的一端与第一气缸固定座转动连接，另一端与第二气缸固定座相连。
便于它能够给两个气缸伸缩机构的伸缩进而驱动旋转环的转动。
所述定位环以及所述定位外环通过螺钉固定在所述隔离阀上。便于部件的更换，拆装。
所述气缸伸缩机构上安装有一感应气缸伸缩进程的感应开关。便于控制量程。
所述旋转环上的内齿与所述固定环上的外齿的个数相等；
所述内齿的个数不小于8个；
所述固定环包括一基环，所述外齿设置在基环下方的径向外围；
当所述旋转环与固定环处于锁紧状态下，所述外齿位于所述内齿的下方；
当所述旋转环与固定环处于松开状态下，所述外齿位于相邻两个内齿的间隙的下方。
便于保证锁紧效果。
所述定位滚轮包括一轮体，所述轮体的外壁包覆有一玄武岩纤维制成的网状耐磨层。
便于保证轮体的强度，提高防裂性。
附图说明
图1为本实用新型的俯视状态下安装有旋转环的隔离阀的一种结构示意图；
图2为本实用新型的部分剖视图；
图3为本实用新型固定环与旋转环处于错位状态下的一种结构示意图；
图4为本实用新型固定环与旋转环处于相抵状态下的一种结构示意图。
图中：1为隔离阀，2为定位环，3为定位外环，4为旋转环，5为固定环，6为上炉筒， 7为感应开关，8为气缸伸缩机构，9为第一气缸固定座，10为定位滚轮，11为第二气缸连接座，12为气缸连接头，41为内齿，51为外齿。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。
参见图1、图2、图3和图4，半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构，包括一旋转锁紧机构，旋转锁紧机构包括一设有外齿51的固定环5以及一设有内齿41的旋转环4，旋转锁紧机构通过外齿51与内齿41相抵或者错位进行锁紧或者松开；固定环5安装在上炉筒6的下端面上；还包括一旋转环安装机构，旋转环安装机构包括一定位环2以及定位外环3，定位环2 安装在隔离阀1的上端，定位外环3安装在定位环2的上端，旋转环4的外边缘设置在定位环2与定位外环3之间；当旋转锁紧机构处于锁紧状态下，外齿位于内齿正下方，当旋转锁紧机构处于松开状态下，外齿位于相邻内齿间隙的正下方；定位环2、定位外环3以及旋转环4的中心轴线处于同一直线；定位外环3上安装有至少四个用于支撑旋转环4的定位滚轮 10，至少四个定位滚轮10以定位外环3的中心轴线为中心线呈环状排布，且所有的定位滚轮 10的外圆周均与旋转环4外表面相抵；还包括一驱动旋转环4以旋转环4的中心轴线为旋转中心线进行转动的旋转驱动机构，旋转驱动机构与旋转环4传动连接。本专利的创新点在于： (1)通过固定环5与旋转环4的相对转动进而实现锁紧与松开的调整，便于操作。(2)通过定位环2以及定位滚轮10的设计，便于对旋转环4的位置的固定，便于保证旋转环4在旋转过程中处于同一位置。
图3中留白处表示的是固定环，通过图3的结构可以看出内齿与外齿错位。图4的留白处为内齿的间隙处，内齿与外齿相抵。
旋转驱动机构是两个气缸伸缩机构8；两个气缸伸缩机构8呈中心对称分布；固定环以及旋转环4上均安装有一气缸固定座，以安装在固定环上的气缸固定座为第一气缸固定座9，以安装在旋转环4上的气缸固定座为第二气缸固定座11；一个气缸伸缩机构8的一端与第一气缸固定座9转动连接，另一端与第二气缸固定座11相连。便于它能够给两个气缸伸缩机构 8的伸缩进而驱动旋转环4的转动。气缸伸缩机构的伸缩端通过一气缸连接头转动连接第二气缸固定座11。
定位环2以及定位外环3通过螺钉固定在隔离阀1上。便于部件的更换，拆装。
气缸伸缩机构8上安装有一感应气缸伸缩进程的感应开关7。便于控制量程。感应开关可以采用现有的磁感应开关。气缸伸缩机构包括一缸体以及一活塞杆，活塞杆位于缸体外的端部安装有一定位基板，定位基板包括一金属板以及包覆在金属板外表面的橡胶层，缸体的外壁上安装有一发光方向朝向定位基板的激光测距仪。便于通过激光测距仪测量到的活塞杆的运动行程，对伸缩量的有效监测。
旋转环4上的内齿41与固定环5上的外齿51的个数相等；内齿41的个数不小于8个；固定环5包括一基环，外齿51设置在基环下方的径向外围；当旋转环4与固定环5处于锁紧状态下，外齿51位于内齿41的下方；当旋转环4与固定环5处于松开状态下，外齿51位于相邻两个内齿41的间隙的下方。便于保证锁紧效果。
定位滚轮10包括一轮体，轮体的外壁包覆有一玄武岩纤维制成的网状耐磨层。便于保证轮体的强度，提高防裂性。
以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构，其特征在于，包括一旋转锁紧机构，所述旋转锁紧机构包括一设有外齿的固定环以及一设有内齿的旋转环，所述旋转锁紧机构通过外齿与内齿相抵或者错位进行锁紧或者松开；
所述固定环安装在所述上炉筒的下端面上；
还包括一旋转环安装机构，所述旋转环安装机构包括一定位环以及定位外环，所述定位环安装在隔离阀的上端，所述定位外环安装在所述定位环的上端，所述旋转环的外边缘设置在所述定位环与所述定位外环之间；
当旋转锁紧机构处于锁紧状态下，所述外齿位于内齿正下方，当旋转锁紧机构处于松开状态下，所述外齿位于相邻内齿间隙的正下方；
所述定位环、定位外环以及旋转环的中心轴线处于同一直线；
所述定位外环上安装有至少四个用于支撑旋转环的定位滚轮，至少四个定位滚轮以所述定位外环的中心轴线为中心线呈环状排布，且所有的定位滚轮的外圆周均与所述旋转环外表面相抵；
还包括一驱动旋转环以旋转环的中心轴线为旋转中心线进行转动的旋转驱动机构，所述旋转驱动机构与所述旋转环传动连接。
2.根据权利要求1所述的半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构，其特征在于：所述旋转驱动机构是两个气缸伸缩机构；两个气缸伸缩机构呈中心对称分布；
所述固定环以及所述旋转环上均安装有一气缸固定座，以安装在固定环上的气缸固定座为第一气缸固定座，以安装在旋转环上的气缸固定座为第二气缸固定座；
一个气缸伸缩机构的一端与第一气缸固定座转动连接，另一端与第二气缸固定座相连。
3.根据权利要求1所述的半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构，其特征在于：所述定位环以及所述定位外环通过螺钉固定在所述隔离阀上。
4.根据权利要求1所述的半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构，其特征在于：所述旋转环上的内齿与所述固定环上的外齿的个数相等；
所述内齿的个数不小于8个；
所述固定环包括一基环，所述外齿设置在基环下方的径向外围；
当所述旋转环与固定环处于锁紧状态下，所述外齿位于所述内齿的下方；
当所述旋转环与固定环处于松开状态下，所述外齿位于相邻两个内齿的间隙的下方。
5.根据权利要求1所述的半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构，其特征在于：所述定位滚轮包括一轮体，所述轮体的外壁包覆有一玄武岩纤维制成的网状耐磨层。
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| CN201820813364.5U CN208562595U (zh) | 2018-05-29 | 2018-05-29 | 半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构 |
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| CN201820813364.5U CN208562595U (zh) | 2018-05-29 | 2018-05-29 | 半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构 |
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| CN201820813364.5U Active CN208562595U (zh) | 2018-05-29 | 2018-05-29 | 半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构 |
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| CN (1) | CN208562595U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113249782A (zh) * | 2021-05-11 | 2021-08-13 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 半导体工艺设备及锁紧机构 |
| CN115404553A (zh) * | 2022-08-19 | 2022-11-29 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 一种炉底盘开闭机构 |
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2018
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