CN208535181U - 一种新型真空隔离门阀 - Google Patents

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Abstract

一种新型真空隔离门阀,解决现有技术存在的封闭性能差,占用空间大,生产成本高,输送效率低的问题。包括内部设置有阀体内腔的门阀阀体,其特征在于:阀体内腔内、靠近门阀出口的一端设置有水冷隔离阀板,水冷隔离阀板的门阀转轴上设置有转动阀板,门阀转轴的一端通过驱动连杆与阀板气缸的伸缩端相铰接;门阀转轴的两端分别设置有转轴进水通道和转轴出水通道,转轴进水通道通过连接部水流通道Ⅰ与阀板水流通道的入口相连;阀板水流通道的出口,通过连接部水流通道Ⅱ与转轴出水通道相连;水冷隔离阀板的下方设置有过渡传送装置。其设计合理,结构紧凑,占用空间小,封闭性能稳定可靠,节约生产成本,输送效率高,使用灵活,运行稳定。

Description

一种新型真空隔离门阀
技术领域
本实用新型属于真空镀膜技术领域,具体涉及一种结构紧凑,可确保密封胶圈在高温状态下长时间正常使用,封闭性能稳定可靠,能够节约真空镀膜生产成本,输送效率高,使用灵活的新型真空隔离门阀。
背景技术
超大产量的磁芯电感真空镀膜设备通常由多个真空室箱体组成,并且,因为工艺需要,相邻的真空室之间需要设置隔离门阀,以实现真空与大气之间隔离、或真空与真空之间不同真空度要求的隔离。同时,由于磁芯电感真空镀膜设备工作时,被镀工件需要被加热,所以真空隔离门阀应能够承受一定的温度。虽然,门阀板上的密封胶圈一般都由耐高温材料制成,但使用的最高温度也不能超过250℃;然而,磁芯电感真空镀膜设备内的最高温度可达到400℃,所以,为了让密封胶圈在高温状态下能够长时间正常使用,需要在真空隔离门阀上设置冷却结构。现有真空隔离门阀大多只是在阀体上设置有冷却水道,而用来开启和封闭门阀的阀板上没有冷却结构,导致整体冷却效果较差,降低了密封胶圈的密封效果和使用寿命,严重影响真空隔离门阀的封闭性能。
另外,装有被镀工件的托盘在磁芯电感真空镀膜设备中连续传输的过程中,当需要穿过真空隔离门阀时,由于阀体内腔具有一定的宽度,托盘不能直接通过;故须在阀体内腔内设置过渡传送装置,才能够将托盘顺利输送到相邻的真空室内。然而,由于阀体内腔内需要同时设置转动阀板和过渡传送装置等机构,所以增大了真空隔离门阀的整体尺寸,不但占用空间大、影响整个生产线的合理布置;而且,较宽的阀体内腔也提升了真空镀膜的生产成本,不利于环保节能。同时,现有过渡传送装置的输送效率低,使用灵活性不足,运行稳定性差。故有必要对现有真空隔离门阀的结构予以改进。
实用新型内容
本实用新型就是针对上述问题,提供一种结构紧凑,可确保密封胶圈在高温状态下长时间正常使用,封闭性能稳定可靠,能够节约真空镀膜生产成本,输送效率高,使用灵活的新型真空隔离门阀。
本实用新型所采用的技术方案是:该新型真空隔离门阀包括门阀阀体,其特征在于:所述门阀阀体的内部设置有阀体内腔,阀体内腔的两侧分别设置有门阀进口和门阀出口;所述阀体内腔内、靠近门阀出口一端的上部设置有水冷隔离阀板,水冷隔离阀板包括沿门阀阀体长边水平方向布置于门阀出口上方的门阀转轴,门阀转轴上设置有用于封闭门阀出口的转动阀板,转动阀板通过阀板连接部与门阀转轴相连;所述门阀转轴伸出到门阀阀体外部的两端,分别与设置在门阀阀体外壁上的转轴轴承座内部的转动轴承转动连接,且门阀转轴的一端通过驱动连杆与阀板气缸的伸缩端相铰接;同时,所述门阀转轴两端的内部,分别设置有沿轴向布置的转轴进水通道和转轴出水通道,转轴进水通道的一端设置有转轴进水口,转轴进水通道的另一端通过阀板连接部内部设置的连接部水流通道Ⅰ,与转动阀板内部设置的阀板水流通道的入口相连;而转动阀板的阀板水流通道的出口,则通过阀板连接部的连接部水流通道Ⅱ与所述转轴出水通道的一端相连,转轴出水通道的另一端设置有转轴出水口;所述阀体内腔内、水冷隔离阀板的下方设置有可上下摆动的过渡传送装置。
所述过渡传送装置包括固定传送辊,固定传送辊沿水平方向设置在阀体内腔内、靠近门阀进口的一端,固定传送辊转动轴的两端,分别通过铰支端轴承座与阀体内腔的两侧内壁相连;所述阀体内腔内、靠近门阀出口的一端,设置有与所述固定传送辊相平行布置的摆动传送辊,摆动传送辊的两端分别通过摆动连接板与所述固定传送辊的两端相连;两端的摆动连接板之间设置有摆动板连接长杆,摆动板连接长杆的两端分别与两个摆动连接板固定连接;摆动板连接长杆的中部设置有滑动支耳,滑动支耳的下方设置有竖直向上布置的摆动气缸,摆动气缸上部的伸缩端设置有驱动块,驱动块上设置有摆动滑槽;所述摆动板连接长杆上的滑动支耳,通过滑动连接轴与驱动块的摆动滑槽滑动连接;且所述固定传送辊转动轴的一端设置有主动链轮,固定传送辊转动轴的另一端通过链轮传动机构与所述摆动传送辊转动轴的一端相连。以通过摆动气缸的伸缩,来带动摆动传送辊绕着固定传送辊的轴线上、下摆动,进而实现对装料托盘的输送和水冷隔离阀板开启时的避让。
所述水冷隔离阀板的转动阀板由阀板主体构成,阀板主体与门阀出口相接触的一侧的周边设置有密封胶圈,阀板主体内部、与所述密封胶圈相对应的位置设置有环状的阀板水流通道;环状阀板水流通道的入口,与阀板主体未布置密封胶圈的另一侧中上部设置的阀板进水连接部相连,阀板进水连接部与连接部水流通道Ⅰ相连接;阀板水流通道的出口,则与阀板主体未布置密封胶圈的另一侧中下部设置的阀板出水连接部相连,阀板出水连接部与连接部水流通道Ⅱ相连接。以通过阀板进水连接部将阀板水流通道的入口与同连接部水流通道Ⅰ相连的转轴进水通道连通,并通过阀板出水连接部将阀板水流通道的出口与同连接部水流通道Ⅱ相连的转轴出水通道连通;进而让冷却液从转轴进水口进入到转轴进水通道,再经由连接部水流通道Ⅰ进入到阀板水流通道内,随后冷却液通过连接部水流通道Ⅱ和转轴出水通道、从转轴出水口排出,实现对转动阀板的循环冷却。
所述阀板连接部通过转动轴,与阀板主体上未布置密封胶圈一侧设置的铰接耳板相铰接;同时,所述阀板主体的阀板进水连接部与连接部水流通道Ⅰ之间、以及阀板出水连接部与连接部水流通道Ⅱ之间,分别通过中空过渡转轴相连,且各中空过渡转轴与阀板进水连接部和阀板出水连接部之间,均设置有旋转密封部件。以通过阀板气缸的伸缩来带动驱动连杆转动,进而驱使门阀转轴以及其上铰接的转动阀板一同旋转,实现对门阀出口的开启和封闭。
所述水冷隔离阀板的转轴轴承座内部,与门阀转轴伸出到门阀阀体外侧的两端部圆周外壁之间,分别设置有转轴密封部件。以有效密封门阀转轴端部与门阀阀体侧壁之间的结合部位,确保阀体内腔的真空度。
所述门阀阀体位于阀体内腔的门阀出口内侧周边的位置处,设置有阀体水流通道。以进一步对门阀出口内侧、转动阀板上的密封胶圈进行冷却,提升密封胶圈的使用寿命,保证密封效果。
所述过渡传送装置的固定传送辊两端设置的铰支端轴承座的上方、阀体内腔的内侧壁上,分别设置有固定座板;且固定座板与相应的铰支端轴承座之间,分别通过调节螺钉活动连接。以通过对调节螺钉的旋转,来调整铰支端轴承座以及其上转动布置的固定传送辊的高度,增强过渡传送装置的使用灵活性。
所述过渡传送装置的固定传送辊以及摆动传送辊的两端,分别设置有导向侧轮。以利用两端的导向侧轮,对装料托盘在固定传送辊和摆动传送辊上的输送,进行限位和导向,有效提升输送效率。
所述过渡传送装置的摆动气缸下部的缸体位于门阀阀体外部,摆动气缸上部的伸缩杆则穿过阀体侧壁、伸入到阀体内腔内,且摆动气缸伸缩杆与阀体侧壁相结合的部位设置有伸缩杆密封圈。以密封摆动气缸伸缩杆与门阀阀体侧壁的结合部位,确保阀体内腔的真空度。
本实用新型的有益效果:由于本实用新型采用内部设置有阀体内腔的门阀阀体,阀体内腔的两侧分别设置门阀进口和门阀出口;阀体内腔内、靠近门阀出口一端的上部设置水冷隔离阀板,水冷隔离阀板包括沿水平方向布置于门阀出口上方的门阀转轴,门阀转轴上布置有用于封闭门阀出口的转动阀板,转动阀板通过阀板连接部与门阀转轴相连;门阀转轴伸出到门阀阀体外部的两端,分别与转轴轴承座内部的转动轴承连接,且门阀转轴的一端通过驱动连杆与阀板气缸的伸缩端相铰接;门阀转轴两端的内部,分别设置沿轴向布置的转轴进水通道和转轴出水通道,转轴进水通道的一端设置转轴进水口,转轴进水通道的另一端通过阀板连接部的连接部水流通道Ⅰ,与转动阀板的阀板水流通道的入口相连;同时,转动阀板的阀板水流通道的出口,通过阀板连接部的连接部水流通道Ⅱ与转轴出水通道的一端相连,转轴出水通道的另一端设置转轴出水口;阀体内腔内、水冷隔离阀板的下方设置过渡传送装置的结构形式,所以其设计合理,结构简单紧凑,能够确保水冷隔离阀板上的密封胶圈在高温状态下长时间正常使用,封闭性能稳定可靠;并且,利用过渡传送装置摆动气缸的伸缩,来带动摆动传送辊绕着固定传送辊的轴线上、下摆动,进而实现对装料托盘的输送和水冷隔离阀板开启时的避让。该真空隔离门阀的整体占用空间小,可有效节约真空镀膜的生产成本,且输送效率高,安装调节方便,使用灵活,运行稳定可靠。
附图说明
图1是本实用新型的一种结构示意图。
图2是图1中的水冷隔离阀板的A向视图。
图3是图2的俯视图。
图4是图2沿B-B线的剖视图。
图5是图4中的门阀转轴带动转动阀板旋转、封闭门阀出口的一种使用状态示意图。
图6是图2中的转动阀板的一种结构示意图。
图7是图1中的过渡传送装置的A向视图。
图8是图7中C处的局部结构放大图。
图9是图7沿D-D线的剖视图。
图10是图9中的摆动气缸带动摆动连接板以及摆动传动辊一同向上摆动(水冷隔离阀板已开启)、对装料托盘进行输送的一种使用状态示意图。
图中序号说明:1门阀阀体、2阀体内腔、3门阀进口、4门阀出口、5水冷隔离阀板、6过渡传送装置、7阀板气缸、8驱动连杆、9转轴进水口、10门阀转轴、11转轴轴承座、12转动轴承、13转轴密封部件、14转轴进水通道、15连接部水流通道Ⅰ、16阀板连接部、17中空过渡转轴、18旋转密封部件、19阀板水流通道、20转动阀板、21连接部水流通道Ⅱ、22转轴出水通道、23转轴出水口、24密封胶圈、25阀体水流通道、26阀板主体、27铰接耳板、28阀板进水连接部、29阀板出水连接部、30铰支端轴承座、31主动链轮、32固定传送辊、33链轮传动机构、34摆动连接板、35摆动传送辊、36摆动板连接长杆、37滑动支耳、38驱动块、39导向侧轮、40滑动连接轴、41摆动气缸、42伸缩杆密封圈、43摆动滑槽、44固定座板、45调节螺钉。
具体实施方式
根据图1~10详细说明本实用新型的具体结构。该新型真空隔离门阀包括中空结构的门阀阀体1,门阀阀体1的内部设置有阀体内腔2;阀体内腔2的两侧,分别设置有用于在两个相邻真空室之间传送工件的门阀进口3和门阀出口4。为了对门阀出口4内侧、转动阀板20上的密封胶圈24进行冷却,门阀阀体1位于阀体内腔2的门阀出口4内侧周边的位置处,设置有阀体水流通道25;以有效提升密封胶圈24的使用寿命,保证门阀阀体1的密封效果。
门阀阀体1的阀体内腔2内、靠近门阀出口4一端的上部,设置有用于封闭门阀出口4的水冷隔离阀板5,水冷隔离阀板5由沿门阀阀体1长边方向水平布置的门阀转轴10,门阀转轴10上设置有转动阀板20;转动阀板20通过两个阀板连接部16与门阀转轴10相连接。门阀转轴10伸出到门阀阀体1外部的两端,分别与设置在门阀阀体1外壁上的转轴轴承座11内部的转动轴承12转动连接;且门阀转轴10的一端通过驱动连杆8与阀板气缸7的伸缩端相铰接。为了有效密封门阀转轴10端部与门阀阀体1侧壁之间的结合部位,两端的转轴轴承座11内部与门阀转轴10伸出到门阀阀体1外侧的两端部圆周外壁之间,分别设置有转轴密封部件13,以确保阀体内腔2的真空度。
水冷隔离阀板5的门阀转轴10上设置的转动阀板20由阀板主体26构成,阀板主体26与门阀阀体1的门阀出口4相接触的一侧的周边,设置有用于封闭门阀出口4的密封胶圈24。阀板主体26内部、与外侧部周边的密封胶圈24相对应的位置处,设置有环状的阀板水流通道19。并且,环状阀板水流通道19的入口,与阀板主体26上没有布置密封胶圈24的另一侧的中上部设置的阀板进水连接部28相连接。环状阀板水流通道19的出口,则与阀板主体26上没有布置密封胶圈24的另一侧的中下部设置的阀板出水连接部29相连接。同时,门阀转轴10两端的内部,分别设置有沿轴向布置的转轴进水通道14和转轴出水通道22,门阀转轴10的转轴进水通道14的一端设置有转轴进水口9,转轴进水通道14的另一端通过阀板连接部16内部设置的连接部水流通道Ⅰ15,与同转动阀板20的阀板进水连接部28连通的阀板水流通道19的入口相连接;而转动阀板20的阀板水流通道19的出口,则通过同阀板出水连接部29连通的阀板连接部16的连接部水流通道Ⅱ21、与转轴出水通道22的一端相连接,转轴出水通道22的另一端设置有转轴出水口23。
门阀转轴10上设置的两个阀板连接部16,分别通过转动轴与转动阀板20的阀板主体26上没有布置密封胶圈24一侧设置的两个铰接耳板27相铰接。同时,阀板主体26的阀板进水连接部28与上部阀板连接部16的连接部水流通道Ⅰ15之间、以及阀板出水连接部29与下部阀板连接部16的连接部水流通道Ⅱ21之间,分别通过中空过渡转轴17相连接;且各个中空过渡转轴17与阀板进水连接部28和阀板出水连接部29之间,均设置有旋转密封部件18。从而通过阀板进水连接部28将阀板水流通道19的入口与同连接部水流通道Ⅰ15相连接的转轴进水通道14连通,并通过阀板出水连接部29将阀板水流通道19的出口与同连接部水流通道Ⅱ21相连接的转轴出水通道22连通。进而让冷却液从转轴进水口9进入到转轴进水通道14,再经由连接部水流通道Ⅰ15进入到阀板水流通道19内,随后冷却液通过连接部水流通道Ⅱ21和转轴出水通道22、从转轴出水口23排出,实现对转动阀板20的循环冷却;并通过阀板气缸7的伸缩来带动驱动连杆8转动,以驱使门阀转轴10以及其上铰接的转动阀板20一同旋转,灵活地实现对门阀出口4的开启和封闭。
门阀阀体1的阀体内腔2内、水冷隔离阀板5的下方,设置有可上下摆动的过渡传送装置6。过渡传送装置6包括沿水平方向设置在门阀阀体1的阀体内腔2内、靠近门阀进口3一端的固定传送辊32,固定传送辊32转动轴的两端,分别通过铰支端轴承座30与阀体内腔2的两侧内壁相连接。为了增强装置的使用灵活性,固定传送辊32两端设置的铰支端轴承座30的上方、阀体内腔2的内侧壁上,分别设置有固定座板44;且固定座板44与相应的铰支端轴承座30之间,分别通过调节螺钉45活动连接;进而通过对调节螺钉45的旋转,来调整铰支端轴承座30以及其上转动布置的固定传送辊32的高度。阀体内腔2内、靠近门阀出口4的一端,则设置有与固定传送辊32相平行布置的摆动传送辊35。
过渡传送装置6的摆动传送辊35的两端,分别通过摆动连接板34与固定传送辊32的两端相连。并且,两端的摆动连接板34之间,设置有长柱状的摆动板连接长杆36,摆动板连接长杆36的两端分别与两个摆动连接板34固定连接。同时,摆动板连接长杆36的中部设置有用于带动摆动连接板34上下摆动的滑动支耳37,滑动支耳37的下方设置有竖直向上布置的摆动气缸41。摆动气缸41下部的缸体位于门阀阀体1的外部,摆动气缸41上部的伸缩杆则穿过阀体侧壁、伸入到阀体内腔2内,且摆动气缸41伸缩杆与阀体侧壁相结合的部位设置有伸缩杆密封圈42。从而有效密封摆动气缸41伸缩杆与门阀阀体1侧壁的结合部位,确保阀体内腔2的真空度。能够理解的是,根据具体的使用需要,摆动气缸41可以采用可调行程气缸,以调整摆动气缸41的伸缩行程。
过渡传送装置6的摆动气缸41伸缩杆的上端部,设置有用于与摆动板连接长杆36中部的滑动支耳37相连的驱动块38;驱动块38上设置有便于滑动连接轴40往复滑动的倾斜摆动滑槽43。摆动板连接长杆36上的滑动支耳37,通过滑动连接轴40与驱动块38上的摆动滑槽43滑动连接。进而通过摆动气缸41的伸缩,并利用驱动块38的摆动滑槽43与摆动板连接长杆36的滑动支耳37的配合传动,来带动摆动传送辊35绕着固定传送辊32的轴线上、下摆动,以实现对装料托盘的输送、和水冷隔离阀板5转动阀板20开启时的避让。出于有效提升输送效率的目的,过渡传送装置6的固定传送辊32以及摆动传送辊35的两端,分别设置有导向侧轮39;以利用两端的导向侧轮39,对装料托盘在固定传送辊32和摆动传送辊35上的输送,进行限位和导向。固定传送辊32转动轴的一端设置有主动链轮31,主动链轮31通过传动机构与传送辊驱动电机相连;固定传送辊32转动轴的另一端,则通过链轮传动机构33与摆动传送辊35转动轴的一端相连接,以驱使摆动传送辊35和固定传送辊32同步转动。
该新型真空隔离门阀使用时,在磁芯电感真空镀膜设备正常密闭镀膜的过程中,水冷隔离阀板5的阀板气缸7和过渡传送装置6的摆动气缸41均处于收回状态,即:水冷隔离阀板5的转动阀板20封闭门阀出口4。同时,用于冷却水冷隔离阀板5转动阀板20的冷却液,从转轴进水口9进入到转轴进水通道14,再经由连接部水流通道Ⅰ15和中空过渡转轴17、从阀板进水连接部28进入到转动阀板20的阀板水流通道19内;之后,阀板水流通道19内的冷却液,通过阀板出水连接部29和连接部水流通道Ⅱ21,从转轴出水通道22和转轴出水口23排出,以利用循环流动的冷却液对转动阀板20进行冷却,使转动阀板20上的密封胶圈24能够在高温状态下长时间正常使用,确保隔离门阀封闭性能的稳定性和可靠性。
当需要在相邻的两个真空室之间输送待镀膜工件时,首先,伸出水冷隔离阀板5的阀板气缸7,进而带动驱动连杆8转动,以驱使门阀转轴10以及其上铰接的转动阀板20一同旋转,从而开启门阀阀体1的门阀出口4。然后,过渡传送装置6摆动气缸41的伸缩端伸出,利用伸缩端驱动块38的摆动滑槽43与摆动板连接长杆36中部的滑动支耳37的配合传动,来带动摆动连接板34以及摆动传送辊35绕着固定传送辊32的轴线、向上摆动到水平位置(如图10所示);之后,启动过渡传送装置6的传送辊驱动电机,驱动摆动传送辊35和固定传送辊32同步转动,以将装料托盘从门阀进口3输送到门阀出口4。在完成待镀膜工件于两个真空室之间的传输后,收回过渡传送装置6摆动气缸41的伸缩端,驱使摆动连接板34和摆动传送辊35向下摆动回初始状态(如图9所示),为水冷隔离阀板5转动阀板20的关闭进行避让;随后,水冷隔离阀板5的阀板气缸7收回,带动转动阀板20向下旋转、封闭门阀出口4,真空镀膜设备进行后续的镀膜加工。该真空隔离门阀占用空间小,能够有效节约生产成本,输送效率高,使用灵活,运行稳定可靠。

Claims (9)

1.一种新型真空隔离门阀,包括门阀阀体(1),其特征在于:所述门阀阀体(1)的内部设置有阀体内腔(2),阀体内腔(2)的两侧分别设置有门阀进口(3)和门阀出口(4);所述阀体内腔(2)内、靠近门阀出口(4)一端的上部设置有水冷隔离阀板(5),水冷隔离阀板(5)包括沿门阀阀体(1)长边水平方向布置于门阀出口(4)上方的门阀转轴(10),门阀转轴(10)上设置有用于封闭门阀出口(4)的转动阀板(20),转动阀板(20)通过阀板连接部(16)与门阀转轴(10)相连;所述门阀转轴(10)伸出到门阀阀体(1)外部的两端,分别与设置在门阀阀体(1)外壁上的转轴轴承座(11)内部的转动轴承(12)转动连接,且门阀转轴(10)的一端通过驱动连杆(8)与阀板气缸(7)的伸缩端相铰接;同时,所述门阀转轴(10)两端的内部,分别设置有沿轴向布置的转轴进水通道(14)和转轴出水通道(22),转轴进水通道(14)的一端设置有转轴进水口(9),转轴进水通道(14)的另一端通过阀板连接部(16)内部设置的连接部水流通道Ⅰ(15),与转动阀板(20)内部设置的阀板水流通道(19)的入口相连;而转动阀板(20)的阀板水流通道(19)的出口,则通过阀板连接部(16)的连接部水流通道Ⅱ(21)与所述转轴出水通道(22)的一端相连,转轴出水通道(22)的另一端设置有转轴出水口(23);所述阀体内腔(2)内、水冷隔离阀板(5)的下方设置有可上下摆动的过渡传送装置(6)。
2.根据权利要求1所述的新型真空隔离门阀,其特征在于:所述过渡传送装置(6)包括固定传送辊(32),固定传送辊(32)沿水平方向设置在阀体内腔(2)内、靠近门阀进口(3)的一端,固定传送辊(32)转动轴的两端,分别通过铰支端轴承座(30)与阀体内腔(2)的两侧内壁相连;所述阀体内腔(2)内、靠近门阀出口(4)的一端,设置有与所述固定传送辊(32)相平行布置的摆动传送辊(35),摆动传送辊(35)的两端分别通过摆动连接板(34)与所述固定传送辊(32)的两端相连;两端的摆动连接板(34)之间设置有摆动板连接长杆(36),摆动板连接长杆(36)的两端分别与两个摆动连接板(34)固定连接;摆动板连接长杆(36)的中部设置有滑动支耳(37),滑动支耳(37)的下方设置有竖直向上布置的摆动气缸(41),摆动气缸(41)上部的伸缩端设置有驱动块(38),驱动块(38)上设置有摆动滑槽(43);所述摆动板连接长杆(36)上的滑动支耳(37),通过滑动连接轴(40)与驱动块(38)的摆动滑槽(43)滑动连接;且所述固定传送辊(32)转动轴的一端设置有主动链轮(31),固定传送辊(32)转动轴的另一端通过链轮传动机构(33)与所述摆动传送辊(35)转动轴的一端相连。
3.根据权利要求1所述的新型真空隔离门阀,其特征在于:所述水冷隔离阀板(5)的转动阀板(20)由阀板主体(26)构成,阀板主体(26)与门阀出口(4)相接触的一侧的周边设置有密封胶圈(24),阀板主体(26)内部、与所述密封胶圈(24)相对应的位置设置有环状的阀板水流通道(19);环状阀板水流通道(19)的入口,与阀板主体(26)未布置密封胶圈(24)的另一侧中上部设置的阀板进水连接部(28)相连,阀板进水连接部(28)与连接部水流通道Ⅰ(15)相连接;阀板水流通道(19)的出口,则与阀板主体(26)未布置密封胶圈(24)的另一侧中下部设置的阀板出水连接部(29)相连,阀板出水连接部(29)与连接部水流通道Ⅱ(21)相连接。
4.根据权利要求3所述的新型真空隔离门阀,其特征在于:所述阀板连接部(16)通过转动轴,与阀板主体(26)上未布置密封胶圈(24)一侧设置的铰接耳板(27)相铰接;同时,所述阀板主体(26)的阀板进水连接部(28)与连接部水流通道Ⅰ(15)之间、以及阀板出水连接部(29)与连接部水流通道Ⅱ(21)之间,分别通过中空过渡转轴(17)相连,且各中空过渡转轴(17)与阀板进水连接部(28)和阀板出水连接部(29)之间,均设置有旋转密封部件(18)。
5.根据权利要求1所述的新型真空隔离门阀,其特征在于:所述水冷隔离阀板(5)的转轴轴承座(11)内部,与门阀转轴(10)伸出到门阀阀体(1)外侧的两端部圆周外壁之间,分别设置有转轴密封部件(13)。
6.根据权利要求1所述的新型真空隔离门阀,其特征在于:所述门阀阀体(1)位于阀体内腔(2)的门阀出口(4)内侧周边的位置处,设置有阀体水流通道(25)。
7.根据权利要求2所述的新型真空隔离门阀,其特征在于:所述过渡传送装置(6)的固定传送辊(32)两端设置的铰支端轴承座(30)的上方、阀体内腔(2)的内侧壁上,分别设置有固定座板(44);且固定座板(44)与相应的铰支端轴承座(30)之间,分别通过调节螺钉(45)活动连接。
8.根据权利要求2所述的新型真空隔离门阀,其特征在于:所述过渡传送装置(6)的固定传送辊(32)以及摆动传送辊(35)的两端,分别设置有导向侧轮(39)。
9.根据权利要求2所述的新型真空隔离门阀,其特征在于:所述过渡传送装置(6)的摆动气缸(41)下部的缸体位于门阀阀体(1)外部,摆动气缸(41)上部的伸缩杆则穿过阀体侧壁、伸入到阀体内腔(2)内,且摆动气缸(41)伸缩杆与阀体侧壁相结合的部位设置有伸缩杆密封圈(42)。
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