CN208529449U - 一种硅片脱胶用承载架 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及硅片脱胶技术领域，尤其是一种硅片脱胶用承载架。该种硅片脱胶用承载架，包括左侧架体、右侧架体和对称设置于左侧架体和右侧架体底端之间的矩形连杆，左侧架体和右侧架体均呈由多根矩形杆固定形成的倒置的“凸”字型框架结构，左侧架体和右侧架体的倒置的“凸”字型框架结构下端均设置有限位挡片，两限位限位挡片的底部之间对称设置有“L”型晶托限位承载板，两限位挡片的顶部之间对称设置有晶托限位承载杆，左侧架体和右侧架体之间设置有硅片隔板位置调节机构。本实用新型的一种硅片脱胶用承载架通过硅片隔板位置调节机构灵活调节硅片隔板的位置，并对硅片隔板进行限位固定，便于硅片隔板的取放。

Description

一种硅片脱胶用承载架

技术领域

本实用新型涉及硅片脱胶技术领域，尤其是一种硅片脱胶用承载架。

背景技术

目前单晶硅棒加工成硅片都是采用多线锯切割，切割前需要通过专用粘胶将硅棒、树脂板和呈“工”字型的晶托粘接在一起，切割后需要进行冲洗和脱胶，将硅片从树脂板上脱离开，在此过程中，切割好的硅片很容易因倾倒而造成破裂，破裂后的硅片就无法进行下步工序，造成硅片生产成品率不高等问题。为解决这一问题，多采用在脱胶前往硅片间插入硅片隔板，借以起到防止硅片倾倒产生破裂的作用。但是目前的硅片脱胶用承载架大多不包括硅片隔板位置调节机构，对硅片隔板位置调节精确性差，且硅片隔板大多独立于硅片脱胶用承载架，且在脱胶完成后需要取下单独存放，易丢失，造成后续使用的不便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片脱胶用承载架，克服前述现有技术存在的不足，通过硅片隔板位置调节机构灵活调节硅片隔板的位置，并对硅片隔板进行限位固定，便于硅片隔板的取放。

本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案是：一种硅片脱胶用承载架，包括左侧架体、右侧架体和对称设置于左侧架体和右侧架体底端之间的矩形连杆，其特征在于：所述左侧架体和右侧架体均呈由多根矩形杆固定形成的倒置的“凸”字型框架结构，脱胶机中的承载架起升抓手通过倒置的“凸”字型框架结构顶端抓起硅片脱胶用承载架，且倒置的“凸”字型框架结构顶端在承载架搬运移动时可作为手持端；左侧架体和右侧架体的倒置的“凸”字型框架结构下端均设置有用于限制“工”字型的晶托位置的限位挡片，两限位限位挡片的底部之间对称设置有“L”型晶托限位承载板，“L”型晶托限位承载板用于限制“工”字型的晶托底板的位置，两限位挡片的顶部之间对称设置有晶托限位承载杆，晶托限位承载杆用于支撑“工”字型的晶托顶板并限制其位置，左侧架体和右侧架体之间设置有硅片隔板位置调节机构，硅片隔板位置调节机构用于灵活调节硅片隔板的位置，对硅片隔板起到限位固定作用，并用于支撑脱胶后的硅片。

进一步的，所述硅片隔板位置调节机构包括对称设置于左侧架体内部左右两侧和对称设置与右侧架体内部左右两侧的“U”型板、设置于各“U”型板上的“U”型开口、对称设置于左侧架体与右侧架体“U”型板的“U”型开口内的两个硅片隔板支撑杆，硅片隔板支撑杆能够在“U”型开口内灵活移动。

进一步的，所述“U”型板倒置设置于左侧架体和右侧架体的倒置的“凸”字型框架结构的框架弯折过渡端，“U”型板的一侧竖板固定于框架弯折过渡端的上端矩形杆上，“U”型板的另一侧竖板固定于框架弯折过渡端的下端矩形杆上。

进一步的，所述硅片隔板支撑杆左右两端均伸出“U”型开口，且其伸出“U”型开口部分的外壁设置有螺纹，螺纹上设置有锁紧螺母，锁紧螺母用于将隔板支撑杆锁紧于“U”型板上，固定隔板支撑杆的位置。

进一步的，所述硅片隔板支撑杆的左右两端伸出“U”型开口的部分和硅片隔板支撑杆的中部均设置有限位槽，脱胶用硅片隔板通过硅片隔板支撑杆上的限位槽卡接固定。

进一步的，所述脱胶用硅片隔板为矩形板，硅片隔板的底部对称设置有两个第一开口槽和两个第二开口槽。

进一步的，所述位于同一侧的第一开口槽和第二开口槽之间的距离与“U”型开口的两竖向开口间的距离相配合。

进一步的，所述限位挡片上设置有通孔，便于脱胶液左侧架体和右侧架体的内外流通。

本实用新型的有益效果是：与现有技术相比，本实用新型的一种硅片脱胶用承载架结构设计新颖，使用方便，将多线切割后的“工”字型晶托、树脂板和硅片一同放入本实用新型的硅片脱胶用承载架中，通过“L”型晶托限位承载板限制“工”字型晶托底板的位置，通过晶托限位承载杆支撑“工”字型晶托顶板并限制其位置；根据脱胶机的脱胶槽宽度和“工”字型晶托的长度按需求设置本实用新型的硅片脱胶用承载架的长度，在脱胶支撑架中可根据需求放置多个“工”字型晶托，“工”字型晶托上的硅片通过硅片隔板隔开，防止其倾倒；通过设置硅片隔板位置调节机构方便得在承载架使用时精确防止硅片隔板，在承载架使用完成后卡接固定硅片隔板，便于硅片隔板的取放；通过硅片隔板位置调节机构的硅片隔板支撑杆对脱胶后的硅片起到限位支撑作用。

附图说明

图1为本实用新型总体结构示意图；

图2为本实用新型使用时硅片隔板位置调节机构的位置示意图；

图3为本实用新型图2的左视放大图；

图4为本实用新型“L”型晶托限位承载板和晶托限位承载杆的位置关系示意图；

其中，1左侧架体、2右侧架体、3矩形连杆、4限位挡片、5“L”型晶托限位承载板、6晶托限位承载杆、7“U”型板、8“U”型孔、9硅片隔板支撑杆、10框架弯折过渡端、11上端矩形杆、12下端矩形杆、13锁紧螺母、14限位槽、15硅片隔板、16第一开口槽、17第二开口槽、18通孔。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

如图1-4所示实施例中，一种硅片脱胶用承载架，包括左侧架体1、右侧架体2和对称设置于左侧架体1和右侧架体2底端之间的矩形连杆3，所述左侧架体1和右侧架体2均呈由多根矩形杆固定形成的倒置的“凸”字型框架结构，左侧架体1和右侧架体2的倒置的“凸”字型框架结构下端均设置有限位挡片4，所述限位挡片4上设置有通孔1，两限位限位挡片4的底部之间对称设置有“L”型晶托限位承载板5，两限位挡片4的顶部之间对称设置有晶托限位承载杆6，左侧架体1和右侧架体2之间设置有硅片隔板位置调节机构；所述硅片隔板位置调节机构包括对称设置于左侧架体1内部左右两侧和对称设置与右侧架体2内部左右两侧的“U”型板7、设置于各“U”型板7上的“U”型孔8、对称设置于左侧架体1与右侧架体2“U”型板7的“U”型孔8内的两个硅片隔板支撑杆9；所述“U”型板7倒置设置于左侧架体1和右侧架体2的倒置的“凸”字型框架结构的框架弯折过渡端10，“U”型板7的一侧竖板固定于框架弯折过渡端10的上端矩形杆11上，“U”型板7的另一侧竖板固定于框架弯折过渡端10的下端矩形杆12上；所述硅片隔板支撑杆9左右两端均伸出“U”型孔8，且其伸出“U”型孔8部分的外壁设置有螺纹，螺纹上设置有锁紧螺母13；所述硅片隔板支撑杆9的左右两端伸出“U”型孔8的部分和硅片隔板支撑杆9的中部均设置有限位槽14，脱胶用硅片隔板15通过硅片隔板支撑杆9上的限位槽14卡接固定；所述脱胶用硅片隔板15为矩形板，硅片隔板15的底部对称设置有两个第一开口槽16和两个第二开口槽17，所述位于同一侧的第一开口槽16和第二开口槽17之间的距离与“U”型孔8的两竖向开口间的距离相配合。

本实用新型的片脱胶用承载架在制造时，根据脱胶机的脱胶槽宽度和“工”字型晶托的长度按需求灵活设置硅片脱胶用承载架的长度，在脱胶支撑架中可根据需求放置多个“工”字型晶托，本实施例中，脱胶用承载架的长度可放置两个“工”字型晶托。

工作原理：本实用新型的一种硅片脱胶用承载架，使用时，将两组多线切割后的“工”字型晶托、树脂板和硅片放置于硅片脱胶用承载架内，通过“L”型晶托限位承载板5限制“工”字型晶托底板的位置，通过晶托限位承载杆6支撑“工”字型晶托顶板并限制其位置，工”字型晶托上的硅片通过硅片隔板15隔开，脱胶机中的承载架起升抓手通过倒置的“凸”字型框架结构顶端抓起硅片脱胶用承载架并将其放入脱胶池中脱胶，硅片隔板支撑杆9对脱胶后的硅片起到限位支撑作用。

上述具体实施方式仅是本实用新型的具体个案，本实用新型的专利保护范围包括但不限于上述具体实施方式的产品形态和式样，任何符合本实用新型权利要求书且任何所属技术领域的普通技术人员对其所做的适当变化或修饰，皆应落入本实用新型的专利保护范围。

Claims (8)

1.一种硅片脱胶用承载架，包括左侧架体（1）、右侧架体（2）和对称设置于左侧架体（1）和右侧架体（2）底端之间的矩形连杆（3），其特征在于：所述左侧架体（1）和右侧架体（2）均呈由多根矩形杆固定形成的倒置的“凸”字型框架结构，左侧架体（1）和右侧架体（2）的倒置的“凸”字型框架结构下端均设置有限位挡片（4），两限位限位挡片（4）的底部之间对称设置有“L”型晶托限位承载板（5），两限位挡片（4）的顶部之间对称设置有晶托限位承载杆（6），左侧架体（1）和右侧架体（2）之间设置有硅片隔板位置调节机构。

2.如权利要求1所述的一种硅片脱胶用承载架，其特征在于：所述硅片隔板位置调节机构包括对称设置于左侧架体（1）内部左右两侧和对称设置与右侧架体（2）内部左右两侧的“U”型板（7）、设置于各“U”型板（7）上的“U”型孔（8）、对称设置于左侧架体（1）与右侧架体（2）“U”型板（7）的“U”型孔（8）内的两个硅片隔板支撑杆（9）。

3.如权利要求2所述的一种硅片脱胶用承载架，其特征在于：所述“U”型板（7）倒置设置于左侧架体（1）和右侧架体（2）的倒置的“凸”字型框架结构的框架弯折过渡端（10），“U”型板（7）的一侧竖板固定于框架弯折过渡端（10）的上端矩形杆（11）上，“U”型板（7）的另一侧竖板固定于框架弯折过渡端（10）的下端矩形杆（12）上。

4.如权利要求2所述的一种硅片脱胶用承载架，其特征在于：所述硅片隔板支撑杆（9）左右两端均伸出“U”型孔（8），且其伸出“U”型孔（8）部分的外壁设置有螺纹，螺纹上设置有锁紧螺母（13）。

5.如权利要求4所述的一种硅片脱胶用承载架，其特征在于：所述硅片隔板支撑杆（9）的左右两端伸出“U”型孔（8）的部分和硅片隔板支撑杆（9）的中部均设置有限位槽（14），脱胶用硅片隔板（15）通过硅片隔板支撑杆（9）上的限位槽（14）卡接固定。

6.如权利要求5所述的一种硅片脱胶用承载架，其特征在于：所述脱胶用硅片隔板（15）为矩形板，硅片隔板（15）的底部对称设置有两个第一开口槽（16）和两个第二开口槽（17）。

7.如权利要求6所述的一种硅片脱胶用承载架，其特征在于：所述位于同一侧的第一开口槽（16）和第二开口槽（17）之间的距离与“U”型孔（8）的两竖向开口间的距离相配合。

8.如权利要求1所述的一种硅片脱胶用承载架，其特征在于：所述限位挡片（4）上设置有通孔（18）。