CN208495282U - 碎片自动清扫装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种碎片自动清扫装置，述装置包括气缸(1)、推拉杆(2)、清扫刮板(3)、过渡支架(4)和旋转支架(5)；所述推拉杆(2)通过过渡支架(4)可活动地连接在桨杆(7)上；所述气缸(1)的伸缩杆连接推拉杆(2)的一端，推拉杆(2)另一端连接清扫刮板(3)的上部；所述旋转支架(5)固定在桨杆(7)上，旋转支架(5)上设有旋转中心(6)，清扫刮板(3)的顶端连接在旋转中心(6)上并可绕旋转中心(6)旋转；本技术方案的碎片清扫装置只需要随桨杆进出炉体，就可以实现设备自动清理碎片，操作者只需定期清理碎片收集盒就可以，节省了很多维护时间，能够有效的提高设备产能。
Description
技术领域
本实用新型涉及到清扫装置，具体涉及到镀膜设备中的碎片自动清扫装置。
背景技术
现有的管式PECVD系统中，在炉管内的碎硅片，需要定期人工清理，需要操作者拿特定的耙子，手动把碎片扒出来。上述操作方式存在以下缺点：影响设备产能；登高作业存在安全隐患。
专利号为201220415034.3，名称为板式PECVD硅片碎片清理装置，公开了一种硅片碎片的清理装置，该装置包括手柄(1)和清洁部(2)，所述清洁部(2)与手柄(1)固定连接，所述清洁部(2)包括左分叉(21)和右分叉(22)，左分叉和右分叉之间分别穿设有主动轴(3)和从动轴(4)，所述主动轴(3)一端设有用于驱动主动轴(3)转动的电机(31)，所述从动轴(4)上绕设有胶面向外的胶带卷(5)，所述胶带卷(5)的自由端(51)与主动轴(3)固定，所述手柄(1)上设有用于控制电机(31)转动的开关(7)。该专利其采用滚动的胶带粘附硅片碎片，最后将用胶带包覆住的硅片碎片从炉体内取出。
该方式存在以下问题，其仍需要人工操作，操作者手握手柄，通过控制手柄上的控制电机控制清洁部的动作；并且进行该项清理工作的时候，还需要设备停止运行，影响设备产能。
发明内容
为了解决现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种在线式碎片自动清扫装置，清扫过程实现自动化。
桨杆7为管式PECVD的自动上下料系统中的一部分，桨杆7是将待镀膜的衬底放入设备的炉体中，或者将镀膜后的衬底从炉体中取出，利用桨杆7在炉体中循环往复的动作，本技术方案想到在桨杆7附加一个清扫刮板3，在桨杆7退出炉体时，顺便将碎片在炉体中扫出，这样既避免了人工清扫碎片，又不用停止设备专门清扫碎片，提高了产能。
碎片自动清扫装置，包括气缸1、推拉杆2、清扫刮板3、过渡支架4和旋转支架5；所述气缸1的伸缩杆连接推拉杆2的一端，推拉杆2另一端连接清扫刮板3的上部；所述推拉杆2通过过渡支架4可活动地连接在桨杆7上，推拉杆2可以相对桨杆7运动；所述旋转支架5固定在桨杆7上，旋转支架5上设有旋转中心6，清扫刮板3的顶端连接在旋转中心6上并可绕旋转中心6旋转。
所述推拉杆2与清扫刮板3通过可活动关节连接。
所述过渡支架4固定在桨杆7的底部，过渡支架4设有若干个；推拉杆2放置在过渡支架4内，推拉杆2可以沿过渡支架4前后运动。
当桨杆7进入炉体时，气缸1的伸缩杆伸出，推动推拉杆2，清扫刮板3绕着旋转中心6顺时针旋转一定角度，此时清扫刮板3与炉体底部不接触。
当桨杆7退出炉体时，气缸1的伸缩杆回缩，拉动推拉杆2，清扫刮板3绕着旋转中心6逆时针旋转一定角度，此时清扫刮板3与炉体底部接触。
桨杆7退出炉体时，清扫刮板3保持与炉体底部接触的状态，清扫刮板3和推拉杆2随桨杆7一同运动，清扫刮板3将炉体底部的碎片刮出去，把碎片刮到炉口的收集盒内。
采用本技术方案的有益效果：
(1)碎片清扫装置只需要随桨杆进出炉体，就可以实现设备自动清理碎片，操作者只需定期清理碎片收集盒就可以，节省了很多维护时间，能够有效的提高设备产能。
(2)不用人工清扫炉体，也减少了安全隐患带来的风险。
附图说明
图1为本实用新型的碎片自动清扫装置的示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型的技术方案做进一步的说明。
碎片自动清扫装置，包括气缸1、推拉杆2、清扫刮板3、过渡支架4和旋转支架5；所述气缸1的伸缩杆连接推拉杆2的一端，推拉杆2另一端连接清扫刮板3的上部；所述推拉杆2通过过渡支架4可活动地连接在桨杆7上，推拉杆2可以相对桨杆7运动；所述旋转支架5固定在桨杆7上，旋转支架5上设有旋转中心6，清扫刮板3的顶端连接在旋转中心6上并可绕旋转中心6旋转。
所述推拉杆2与清扫刮板3通过可活动关节连接。
所述过渡支架4固定在桨杆7的底部，过渡支架4设有若干个；推拉杆2放置在过渡支架4内，推拉杆2可以沿过渡支架4前后运动。
当桨杆7进入炉体时，气缸1的伸缩杆伸出，推动推拉杆2，清扫刮板3绕着旋转中心6顺时针旋转一定角度，此时清扫刮板3与炉体底部不接触。
当桨杆7退出炉体时，气缸1的伸缩杆回缩，拉动推拉杆2，清扫刮板3绕着旋转中心6逆时针旋转一定角度，此时清扫刮板3与炉体底部接触。
桨杆7退出炉体时，清扫刮板3保持与炉体底部接触的状态，清扫刮板3和推拉杆2随桨杆7一同运动，清扫刮板3将炉体底部的碎片刮出去，把碎片刮到炉口的收集盒内。
工作原理及方法：
1.当桨杆7要进入炉体时，气缸1伸出，推动推拉杆2，使清扫刮板3绕着旋转中心6旋转一定角度，此时清扫刮板3处于“高位”，处于“高位”是相对于炉体底部，清扫刮板3此时与炉体底部有一定的高度差，不刮扫炉体底部；
2.当桨杆7要退出炉体时，气缸1回缩，拉动推拉杆2，使清扫刮板3绕着旋转中心6旋转一定角度，此时清扫刮板3处于“低位”，处于“低位”是相对于炉体底部，清扫刮板3处于“低位”，可以刮扫炉体底部，随着桨杆7退出炉体时，将炉体底部的碎片一并刮扫出炉体；
3.处于“低位”的清扫刮板(3)在退出炉体时，会把炉体底部的碎片刮出去，把碎片刮到炉口的“碎片收集盒”内。
Claims (6)
1.碎片自动清扫装置，其特征在于：所述装置包括气缸(1)、推拉杆(2)、清扫刮板(3)、过渡支架(4)和旋转支架(5)；所述推拉杆(2)通过过渡支架(4)可活动地连接在桨杆(7)上；所述气缸(1)的伸缩杆连接推拉杆(2)的一端，推拉杆(2)另一端连接清扫刮板(3)的上部；所述旋转支架(5)固定在桨杆(7)上，旋转支架(5)上设有旋转中心(6)，清扫刮板(3)的顶端连接在旋转中心(6)上并可绕旋转中心(6)旋转。
2.根据权利要求1所述的碎片自动清扫装置，其特征在于：所述推拉杆(2)与清扫刮板(3)通过通过可活动的关节连接。
3.根据权利要求1所述的碎片自动清扫装置，其特征在于：所述过渡支架(4)固定在桨杆(7)的底部，过渡支架(4)设有若干个；推拉杆(2)放置在过渡支架(4)内，推拉杆(2)可以沿过渡支架(4)前后运动。
4.据权利要求1或2所述的碎片自动清扫装置，其特征在于：当桨杆(7)进入炉体时，气缸(1)的伸缩杆伸出，推动推拉杆(2)，清扫刮板(3)绕着旋转中心(6)顺时针旋转一定角度，清扫刮板(3)与炉体底部不接触。
5.据权利要求1或2所述的碎片自动清扫装置，其特征在于：当桨杆(7)退出炉体时，气缸(1)的伸缩杆回缩，拉动推拉杆(2)，清扫刮板(3)绕着旋转中心(6)逆时针旋转一定角度，此时清扫刮板(3)与炉体底部接触。
6.据权利要求1或2所述的碎片自动清扫装置，其特征在于：桨杆(7)退出炉体时，清扫刮板(3)保持与炉体底部接触的状态，清扫刮板(3)将炉体底部的碎片刮出去，把碎片刮到炉口的收集盒内。
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