CN208455046U - 剥离工艺后金属回收系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于晶圆剥离工艺的技术领域，特别涉及一种剥离工艺后金属回收系统。包括单元腔体、一级过滤装置、二级过滤装置及供液系统，其中一级过滤装置设置于单元腔体的腔体底板上，一级过滤装置通过管路与二级过滤装置连接，二级过滤装置通过供液系统与单元腔体连接，形成循环供液系统。本实用新型大幅提升了剥离工艺的金属回收率，通过药液的循环使用，节约了大量的剥离工艺中使用的化学液，节约成本，减少资源浪费，达到了节约成本的目的。

Description

剥离工艺后金属回收系统

技术领域

本实用新型属于晶圆剥离工艺的技术领域，特别涉及一种剥离工艺后金属回收系统。

背景技术

在LED行业中，晶圆加工分为几道工序，其中，剥离工艺是使用牺牲材料(例如光刻胶)在衬底(例如晶片)的表面上产生靶材料的结构(图案化)的方法。当洗去牺牲层(溶剂中的光刻胶)时，顶部的材料被剥离并与下面的牺牲层一起洗涤，该过程通常使用高温及高压溶剂剥离光刻胶及上层覆盖的贵金属(一般为金，银等)，并需要将这些贵金属进行回收再利用。现有的回收方法金属回收率普遍不高，而且使用过的化学液含有较多的金属杂质，废液很难处理，且流失了大量贵重金属。因此如何提高金属回收率，将化学液重复利用，成为了当前亟待解决的问题。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型的目的在于提供一种剥离工艺后金属回收系统，以解决现有的回收方法金属回收率普遍不高，而且使用过的化学液含有较多的金属杂质，废液很难处理，且流失了大量贵重金属的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种剥离工艺后金属回收系统，包括单元腔体、一级过滤装置、二级过滤装置及供液系统，其中一级过滤装置设置于单元腔体的腔体底板上，所述一级过滤装置通过管路与二级过滤装置连接，所述二级过滤装置通过供液系统与所述单元腔体连接，形成循环供液系统。

所述一级过滤装置包括过滤上罩、滤网及连接组件，其中滤网设置于所述腔体底板上的排废口内，所述过滤上罩设置于所述单元腔体内、且位于所述滤网的上方，所述连接组件设置于所述腔体底板的外侧、且与所述排废口连接。

所述滤网的外圆周上设有围板，所述滤网的中心设有连接柱，所述过滤上罩的中心设有凸起，所述过滤上罩通过凸起与所述连接柱螺纹连接，所述过滤上罩与所述围板之间留有环隙。

所述连接组件包括过滤连接块和排废接头，其中过滤连接块与所述腔体底板固定连接，所述排废接头与所述过滤连接块螺纹连接。

所述二级过滤装置包括供液桶及设置于所述供液桶顶部的过滤盒，所述过滤盒内设有目数从上至下依次递增的多层过滤网，所述供液桶顶部设有与所述过滤盒连通的废液进口，底部设有与所述供液系统连接的出液口。

所述过滤盒内设有三层过滤网，上层过滤网的目数为50-90目，中层过滤网的目数为90-180目，下层过滤网的目数为180-250目。

所述供液桶内设有加热装置。

所述供液桶与化学液自循环系统连接，所述化学液自循环系统包括化学液自循环管路及设置于所述化学液自循环管路上的自循环隔膜泵，所述化学液自循环管路的两端分别与设置于所述供液桶上、下端的循环进液口和循环出液口连接。

所述化学液自循环管路上设有三通阀，所述三通阀与供气管路和排废管路连接。

所述供液系统包括供液管路及设置于所述供液管路上的供液隔膜泵和多级过滤装置，所述供液管路的两端分别与所述二级过滤装置和所述单元腔体连接。

本实用新型的优点和积极效果为：

1.本实用新型与以往技术相比，通过五级过滤装置，其中包含前两级的金属颗粒和细屑的过滤和回收，大幅提高了金属回收率，且回收金属的装置便于安装和拆卸。

2.本实用新型的二级过滤装置中的过滤盒为多层结构，实现了分级过滤，有效的防止了滤网堵塞，减少了滤网的更换频率。

3.本实用新型通过五级过滤装置，可实现化学液微米级精度的过滤，再经过管路的循环系统，可实现化学液的循环使用，大幅提高了药液的使用率，节约了成本，为企业增加了新的增长点。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型中一级过滤装置的结构示意图；

图3是本实用新型中二级过滤装置的结构示意图。

图中：1为一级过滤装置，11为过滤上罩，111为凸起，12为滤网，121为围板，122为连接柱，13为腔体底板，14为单元底板，15为过滤连接块，16为排废接头，17为环隙，2为二级过滤装置，21为废液进口，22为循环进液口，23为加热装置，24为循环出液口，25为出液口，26为供液桶，27为过滤盒，3为三通阀，4为自循环隔膜泵，5为三级过滤装置，6为四级过滤装置，7为五级过滤装置，8为单元腔体，9为供液隔膜泵，10为供液管路，20为化学液自循环管路，30为供气管路，40为排废管路。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述。

如图1所示，本实用新型提供的一种剥离工艺后金属回收系统，包括单元腔体8、一级过滤装置1、二级过滤装置2及供液系统，其中一级过滤装置1设置于单元腔体8的腔体底板13上，一级过滤装置1通过管路与二级过滤装置2连接，二级过滤装置2通过供液系统与单元腔体8连接，形成循环供液系统。

如图2所示，一级过滤装置1包括过滤上罩11、滤网12及连接组件，其中滤网12设置于腔体底板13上的排废口内，过滤上罩11设置于单元腔体8内、且位于滤网12的上方，连接组件设置于腔体底板13的外侧、且与排废口连接，腔体底板13与单元底板14连接。

进一步地，滤网12的外圆周上设有围板121，滤网12的中心设有连接柱122，过滤上罩11的中心设有凸起111，过滤上罩11通过凸起111与连接柱122螺纹连接，过滤上罩11与围板121之间留有环隙17。

连接组件包括过滤连接块15和排废接头16，其中过滤连接块15与腔体底板13固定连接，排废接头16与过滤连接块15螺纹连接。

滤网12浮坐在过滤连接块15上，便于拆卸，滤网12的围板121高于腔体底板13的高度为4-6mm，可回收大颗粒金属。过滤上罩11与滤网12螺纹连接，且与腔体底板13之间的间隙为2-4mm，腔体底板13、滤网12、过滤上罩11之间的高度差可保证废液通过排废接头16进入二级过滤装置2内，而大颗粒金属被过滤在单元腔体8内和滤网12内。

如图3所示，二级过滤装置2包括供液桶26及设置于供液桶26顶部的过滤盒27，过滤盒27内设有目数从上至下依次递增的多层过滤网，供液桶26顶部设有与过滤盒27连通的废液进口21，底部设有与供液系统连接的出液口25。

本实用新型的实施例中，过滤盒27内设有三层过滤网，上层过滤网的目数为50-90目，中层过滤网的目数为90-180目，下层过滤网的目数为180-250目。过滤盒27内置于供液桶26上部，便于拆卸利于金属的回收，过滤盒27内三层过滤网的设置可有效防止过滤网的堵塞，减少滤网更换的频率，同时过滤盒27可将0.1mm以上的金属细屑过滤在盒内。

供液桶26的底部内置有加热装置23，可以将桶内的温度保持在恒定高温状态。为了保持供液桶26内化学液温度加热均匀，二级过滤装置2设置有化学液自循环系统。供液桶26的上、下端分别设有循环进液口22和循环出液口24，循环进液口22和循环出液口24与化学液自循环系统连接。

如图1所示，供液桶26与化学液自循环系统连接，化学液自循环系统包括化学液自循环管路20及设置于化学液自循环管路20上的自循环隔膜泵4，化学液自循环管路20的两端分别与设置于供液桶26上、下端的循环进液口22和循环出液口24连接。化学液自循环系统可保证供液桶26内的化学液保持流动，使供液桶26内底部和上部的化学液温度均匀。

化学液自循环管路20上设有三通阀3，三通阀3与供气管路30和排废管路40连接。

供液系统包括供液管路10及设置于供液管路10上的供液隔膜泵9和多级过滤装置，供液管路10的两端分别与二级过滤装置2和单元腔体8连接。

本实用新型的实施例中，供液管路10上设有三级过滤装置5、四级过滤装置6和五级过滤装置7，三级过滤装置5、四级过滤装置6和五级过滤装置7均为微米级过滤装置，过滤级别依次递增，用于药液回收。

本实用新型的工作原理是：

使用时，溶液自单元腔体8进入到一级过滤装置1，一级过滤装置1将大颗粒贵重金属杂质过滤在单元腔体8内。一级过滤装置1与二级过滤装置2通过排废接头16和废液进口21相连，废液进入到供液桶26内。首先，经过过滤盒27进行过滤，过滤盒27设置有三层过滤网，每层过滤网的过滤级别依次递增，可将0.1mm以上的贵重金属杂质过滤在过滤盒27内，过滤后的溶液进入供液桶26用于循环。为了使化学液循环使用，二级过滤装置2底部设置有加热装置23，使供液桶26内的化学液温度恒定保持在60-80℃。为了使供液桶26内的化学液加热均匀，二级过滤装置2设置了化学液自循环系统，供液桶26的补液和化学液自循环之间通过三通阀3进行切换。自循环时，通过自循环隔膜泵4抽取化学液，循环出液口24出液，经由管路后从循环进液口22回到供液桶26内。供液时，由供液隔膜泵9抽取化学液，供液桶26内的化学液由出液口25流出并进入供液管路10内，化学液进入供液管路10后经过三级过滤装置5、四级过滤装置6、五级过滤装置7，过滤级别依次递增，三级过滤装置5的过滤等级为40-60μm，四级过滤装置6的过滤等级为2-8μm，五级过滤装置7的过滤等级为0.1-0.5μm，经过三级过滤的化学液可保证纯度，满足工艺使用要求。化学液经过三级过滤后，通过管路进入单元喷嘴，用于晶圆的剥离工艺，工艺中流入腔体的废液再次进入一级过滤装置1，实现了化学液的循环使用。三级过滤装置5、四级过滤装置6、五级过滤装置7可采用现有技术中能实现上述过滤等级的任何一种过滤器。

综上所述，为了解决当前剥离工艺的金属回收率不高，药液利用率不高的问题，本实用新型提供了一种剥离工艺后金属回收系统，通过五级过滤，其中一级过滤装置位于单元腔体内部，过滤大颗粒贵重金属，用于金属的初步回收，废液口设置有防堵装置，且便于拆卸清理；二级过滤装置设置有可拆卸的过滤盒，过滤盒内置于供液桶内部，用于对大颗粒金属和细屑进行二次过滤，二级过滤装置易于拆卸，便于对金属进行回收；三级过滤装置、四级过滤装置、五级过滤装置设置不同级别的滤芯，位于供液管路中，用于化学液的循环使用。本实用新型与现有技术相比，通过五级过滤装置，大幅提升了剥离工艺的金属回收率，通过药液的循环使用，节约了大量的剥离工艺中使用的化学液，节约成本，减少资源浪费，达到了节约成本的目的。

以上所述仅为本实用新型的实施方式，并非用于限定本实用新型的保护范围。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进、扩展等，均包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种剥离工艺后金属回收系统，其特征在于，包括单元腔体(8)、一级过滤装置(1)、二级过滤装置(2)及供液系统，其中一级过滤装置(1)设置于单元腔体(8)的腔体底板(13)上，所述一级过滤装置(1)通过管路与二级过滤装置(2)连接，所述二级过滤装置(2)通过供液系统与所述单元腔体(8)连接，形成循环供液系统。

2.根据权利要求1所述的剥离工艺后金属回收系统，其特征在于，所述一级过滤装置(1)包括过滤上罩(11)、滤网(12)及连接组件，其中滤网(12)设置于所述腔体底板(13)上的排废口内，所述过滤上罩(11)设置于所述单元腔体(8)内、且位于所述滤网(12)的上方，所述连接组件设置于所述腔体底板(13)的外侧、且与所述排废口连接。

3.根据权利要求2所述的剥离工艺后金属回收系统，其特征在于，所述滤网(12)的外圆周上设有围板(121)，所述滤网(12)的中心设有连接柱(122)，所述过滤上罩(11)的中心设有凸起(111)，所述过滤上罩(11)通过凸起(111)与所述连接柱(122)螺纹连接，所述过滤上罩(11)与所述围板(121)之间留有环隙(17)。

4.根据权利要求2所述的剥离工艺后金属回收系统，其特征在于，所述连接组件包括过滤连接块(15)和排废接头(16)，其中过滤连接块(15)与所述腔体底板(13)固定连接，所述排废接头(16)与所述过滤连接块(15)螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的剥离工艺后金属回收系统，其特征在于，所述二级过滤装置(2)包括供液桶(26)及设置于所述供液桶(26)顶部的过滤盒(27)，所述过滤盒(27)内设有目数从上至下依次递增的多层过滤网，所述供液桶(26)顶部设有与所述过滤盒(27)连通的废液进口(21)，底部设有与所述供液系统连接的出液口(25)。

6.根据权利要求5所述的剥离工艺后金属回收系统，其特征在于，所述过滤盒(27)内设有三层过滤网，上层过滤网的目数为50-90目，中层过滤网的目数为90-180目，下层过滤网的目数为180-250目。

7.根据权利要求5所述的剥离工艺后金属回收系统，其特征在于，所述供液桶(26)内设有加热装置(23)。

8.根据权利要求5所述的剥离工艺后金属回收系统，其特征在于，所述供液桶(26)与化学液自循环系统连接，所述化学液自循环系统包括化学液自循环管路(20)及设置于所述化学液自循环管路(20)上的自循环隔膜泵(4)，所述化学液自循环管路(20)的两端分别与设置于所述供液桶(26)上、下端的循环进液口(22)和循环出液口(24)连接。

9.根据权利要求8所述的剥离工艺后金属回收系统，其特征在于，所述化学液自循环管路(20)上设有三通阀(3)，所述三通阀(3)与供气管路(30)和排废管路(40)连接。

10.根据权利要求1所述的剥离工艺后金属回收系统，其特征在于，所述供液系统包括供液管路(10)及设置于所述供液管路(10)上的供液隔膜泵(9)和多级过滤装置，所述供液管路(10)的两端分别与所述二级过滤装置(2)和所述单元腔体(8)连接。