CN208406521U - 一种真空系统的排气装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空系统的排气装置，包括气体处理罐和真空泵，所述气体处理罐的底部开设出气孔，出气孔通过管道连接真空泵的抽气端口，从而实现在气体处理罐造成成真空，以便于真空系统的排气，所述气体处理罐的内部自上而下设置有气体过滤装置和异味吸附装置。本实用能够实现对真空系统持续真空环境的保持，同时能够讲排出的气体进行最大限度的处理，从而有利于生产环境的建设，同时本实用采用的排气装置能够高效的保持内部真空度的稳定。

Description

一种真空系统的排气装置

技术领域

本实用新型涉及真空系统，具体是一种真空系统的排气装置。

背景技术

真空系统是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。目前，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。

真空系统在实际工作过程中，由于真空度极高，会有部分的水汽和易挥发物质被排气装置带出，从而容易造成空气污染，不利于生产环境的建设。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空系统的排气装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种真空系统的排气装置，包括气体处理罐和真空泵，所述气体处理罐的底部开设出气孔，出气孔通过管道连接真空泵的抽气端口，从而实现在气体处理罐造成成真空，以便于真空系统的排气，所述气体处理罐的内部自上而下设置有气体过滤装置和异味吸附装置；所述气体处理罐的顶部侧面开设有进气口，进气口通过管道连接气液分离罐顶部开设的出气口，气液分离罐顶部开设的进气口通过管道连接三通管的一个端口，三通管的另一个端口通过管道连接真空系统，且真空系统和三通管之间的管道上安装有只向气液分离罐排气的单向阀，所述真空系统和三通光之间的管道上还安装电子真空计；所述三通管的最后一个端口通过管道连接真空罐的一个进气口，真空罐和三通管之间的管道上连接有电磁阀，该真空罐的出气口通过排气管道联通连接在气体处理罐的顶部，排气管道上安装只向气体处理罐排气的单向阀。

作为本实用新型进一步的方案：所述气体过滤装置主要由钢丝滤网层和过滤网上下复合构成，钢丝滤网层的材质为不锈钢材质，从而提高整体强度，而气体过滤装置通过螺钉螺纹连接在挡环上对应开设的螺纹孔内，而挡环焊接在气体处理罐的内壁上。

作为本实用新型进一步的方案：所述异味吸附装置为蜂窝状活性炭，且蜂窝状活性炭放置在气体处理罐内壁焊接的另一个挡环上。

作为本实用新型进一步的方案：所述气液分离罐的底部出液口通过管道连接收集箱的顶部输入端口，收集箱密封设置，而气液分离罐和三通管之间的管道外表面安装冷凝器。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用能够实现对真空系统持续真空环境的保持，同时能够讲排出的气体进行最大限度的处理，从而有利于生产环境的建设，同时本实用采用的排气装置能够高效的保持内部真空度的稳定。

附图说明

图1为真空系统的排气装置的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实用新型实施例中，一种真空系统的排气装置，包括单向阀1、电磁阀2、三通管3、冷凝器4、气液分离罐5、真空罐6、排气管道7、气体处理罐8、钢丝滤网层9、过滤网10、挡环11、蜂窝状活性炭12、真空泵13、收集箱14和电子真空计15，所述气体处理罐8的底部开设出气孔，出气孔通过管道连接真空泵13的抽气端口，从而实现在气体处理罐8造成成真空，以便于真空系统的排气，所述气体处理罐8的内部自上而下设置有气体过滤装置和异味吸附装置；所述气体处理罐8的顶部侧面开设有进气口，进气口通过管道连接气液分离罐5顶部开设的出气口，气液分离罐5顶部开设的进气口通过管道连接三通管3的一个端口，三通管3的另一个端口通过管道连接真空系统，且真空系统和三通管3之间的管道上安装有只向气液分离罐5排气的单向阀1，从而使得真空系统内的气体可以被真空泵排空，同时排出的气体能够被气体过滤装置和异味吸附装置处理，以避免空气污染，同时避免腐蚀性气体腐蚀真空泵的工作部件，有利于排气装置的长效工作。

所述气液分离罐5的底部出液口通过管道连接收集箱14的顶部输入端口，收集箱14密封设置，而气液分离罐5和三通管3之间的管道外表面安装冷凝器4(采用现有技术即可)，有助于内部蒸汽冷凝，分离一部分液体。

所述真空系统和三通光3之间的管道上还安装电子真空计15(型号为JJ50-HPM4)，通过电子真空计15实时检测真空系统内的压力变化，便于实时调控真空泵的工作频率，本实用中真空泵的型号可以为现有的阿拉特斯GHS1300VSD+，此真空泵为变频真空泵，可以根据内部真空度实现变频控制，从而根据生产需求保持内部真空度；

所述三通管3的最后一个端口通过管道连接真空罐6的一个进气口，真空罐6和三通管3之间的管道上连接有电磁阀2，该真空罐6的出气口通过排气管道7联通连接在气体处理罐8的顶部，排气管道7上安装只向气体处理罐8排气的单向阀1，从而使得真空泵在进行设备前期抽真空时对真空罐6进行协同抽真空，且电子真空计15的型号输出端通过数据线连接控制电脑的输入端，而控制电脑的输出端电性连接真空泵13和电磁阀2，当内部控制软件采集到电子真空计15的数据信号时，如内部真空度减小到额定值时，即可控制电磁阀2开启工作，同时增大真空泵13的工作频率，使得真空罐6在真空泵13变频的过程中打开，瞬间增大排气效果，过度时能够尽可能减小内部真空度的波动，降低对生产的需求。

所述气体过滤装置主要由钢丝滤网层9和过滤网10上下复合构成，钢丝滤网层9的材质为不锈钢材质，从而提高整体强度，而气体过滤装置通过螺钉螺纹连接在挡环11上对应开设的螺纹孔内，而挡环11焊接在气体处理罐8的内壁上。

所述异味吸附装置为蜂窝状活性炭12，即活性炭被压制成蜂窝状，且蜂窝状活性炭12放置在气体处理罐8内壁焊接的另一个挡环11上，用于对排出气体中异味的消除。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种真空系统的排气装置，包括气体处理罐(8)和真空泵(13)，其特征在于，所述气体处理罐(8)的底部开设出气孔，出气孔通过管道连接真空泵(13)的抽气端口，从而实现在气体处理罐(8)造成真空，所述气体处理罐(8)的内部自上而下设置有气体过滤装置和异味吸附装置；所述气体处理罐(8)的顶部侧面开设有进气口，进气口通过管道连接气液分离罐(5)顶部开设的出气口，气液分离罐(5)顶部开设的进气口通过管道连接三通管(3)的一个端口，三通管(3)的另一个端口通过管道连接真空系统，且真空系统和三通管(3)之间的管道上安装有只向气液分离罐(5)排气的单向阀(1)，所述真空系统和三通管(3)之间的管道上还安装电子真空计(15)；所述三通管(3)的最后一个端口通过管道连接真空罐(6)的一个进气口，真空罐(6)和三通管(3)之间的管道上连接有电磁阀(2)，该真空罐(6)的出气口通过排气管道(7)联通连接在气体处理罐(8)的顶部，排气管道(7)上安装只向气体处理罐(8)排气的单向阀(1)。

2.根据权利要求1所述的真空系统的排气装置，其特征在于，所述气体过滤装置主要由钢丝滤网层(9)和过滤网(10)上下复合构成，钢丝滤网层(9)的材质为不锈钢材质，从而提高整体强度，而气体过滤装置通过螺钉螺纹连接在挡环(11)上对应开设的螺纹孔内，而挡环(11)焊接在气体处理罐(8)的内壁上。

3.根据权利要求1所述的真空系统的排气装置，其特征在于，所述异味吸附装置为蜂窝状活性炭(12)，且蜂窝状活性炭(12)放置在气体处理罐(8)内壁焊接的另一个挡环(11)上。

4.根据权利要求1所述的真空系统的排气装置，其特征在于，所述气液分离罐(5)的底部出液口通过管道连接收集箱(14)的顶部输入端口，收集箱(14)密封设置，而气液分离罐(5)和三通管(3)之间的管道外表面安装冷凝器(4)。