CN208398771U - 一种带冷却装置的晶圆测厚仪 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种带冷却装置的晶圆测厚仪，包括测厚仪外壳体，还包括固定装置和收纳装置，所述测厚仪外壳体的前表面固定设置有承重支架，所述承重支架的顶部通过铰链连接设置有透明固定罩，所述测厚仪外壳体的顶部固定设置有测量固定架，所述固定装置包括透明固定罩，所述透明固定罩的底部固定设置有承重连接板，通过设计安装在承重支架顶部的透明固定罩，以及设计安装在透明固定罩底部的承重连接板，实现了对承重支架顶部待测量晶圆的固定，极大的增加了待测量晶圆的稳固性，避免了晶圆在测量时极易晃动导致影响测量数值的问题，极大的增加了测量的准确性，解决了测厚仪在测量晶圆时稳固性较差的问题。

Description

一种带冷却装置的晶圆测厚仪

技术领域

本实用新型属于晶圆测厚装置技术领域，具体涉及一种带冷却装置的晶圆测厚仪。

背景技术

测厚仪是用来测量材料及物体厚度的仪表。而晶圆测厚仪测量晶圆的厚度包括有8英寸晶圆和12英寸晶圆等。

现有的晶圆测厚仪在使用时需将晶圆放置在测量平板上，而由于晶圆表面较为光滑，极易在测量厚度的时候发生打滑而导致测量数据不准确的问题，还有若是需要对多个晶圆进行测量时，多出的晶圆多是需要人工手持，或是放置桌面，极易导致晶圆损坏的问题，为此我们提出一种带冷却装置的晶圆测厚仪。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种带冷却装置的晶圆测厚仪，以解决上述背景技术中提出的晶圆测厚仪在使用时需将晶圆放置在测量平板上，而由于晶圆表面较为光滑，极易在测量厚度的时候发生打滑而导致测量数据不准确的问题，还有若是需要对多个晶圆进行测量时，多出的晶圆多是需要人工手持，或是放置桌面，极易导致晶圆损坏的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种带冷却装置的晶圆测厚仪，包括测厚仪外壳体，还包括固定装置和收纳装置，所述测厚仪外壳体的前表面固定设置有承重支架，所述承重支架的顶部通过铰链连接设置有透明固定罩，所述测厚仪外壳体的顶部固定设置有测量固定架，所述固定装置包括透明固定罩，所述透明固定罩的底部固定设置有承重连接板，所述承重连接板的顶部通过螺栓固定设置有固定弹簧，所述承重连接板的底部固定设置有晶圆固定卡板，所述晶圆固定卡板的底部固定设置有扩张弹簧，所述承重支架的一侧固定设置有固定卡钮。

优选的，所述收纳装置包括固定收纳盒，所述固定收纳盒的内侧固定设置有晶圆收纳卡板，所述晶圆收纳卡板的一侧固定设置有承重弹簧，所述固定收纳盒的一侧固定设置有固定卡块，所述固定卡块的底部固定设置有第一磁性板，所述承重支架的一侧对应固定卡块的位置处通过螺栓连接设置有固定卡槽盒，所述固定卡槽盒的内侧固定设置有第二磁性板，所述固定收纳盒和承重支架通过固定卡槽盒和固定卡块卡合连接。

优选的，所述晶圆固定卡板的顶部固定设置有两个凸型卡块，且所述承重连接板的底部对应凸型卡块的位置处开设有滑动槽，所述承重连接板和晶圆固定卡板通过凸型卡块和滑动槽卡合连接。

优选的，所述晶圆固定卡板的剖面为弧形结构。

优选的，所述第二磁性板的顶部开设有连接凹槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

（1）通过设计安装在承重支架顶部的透明固定罩，以及设计安装在透明固定罩底部的承重连接板，实现了对承重支架顶部待测量晶圆的固定，极大的增加了待测量晶圆的稳固性，避免了晶圆在测量时极易晃动导致影响测量数值的问题，极大的增加了测量的准确性，解决了测厚仪在测量晶圆时稳固性较差的问题；

（2）通过设计安装在承重支架一侧的固定收纳盒，以及设计安装在固定收纳盒内侧的晶圆收纳卡板，实现了对不同型号晶圆的便捷收纳，极大的避免了待测晶圆极易破损的情况，减少了不必要的成本使用，通过设计安装在固定卡块底部的第一磁性板，以及设计安装在固定卡槽盒内侧的第二磁性板，实现了固定收纳盒的便捷拆卸和固定，解决了晶圆不便收纳的问题。

附图说明

图1为本实用新型的测厚仪外壳体结构示意图；

图2为本实用新型的测厚仪外壳体俯视结构示意图；

图3为本实用新型的固定收纳盒结构示意图；

图4为本实用新型的固定卡槽盒和固定卡块剖面结构示意图；

图中：1、承重支架；2、测量固定架；3、透明固定罩；4、固定弹簧；5、承重连接板；6、固定收纳盒；7、固定卡槽盒；8、固定卡块；9、扩张弹簧；10、晶圆固定卡板；11、晶圆收纳卡板；12、承重弹簧；13、第一磁性板；14、第二磁性板；15、测厚仪外壳体；16、固定卡钮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图4，本实用新型提供一种技术方案：一种带冷却装置的晶圆测厚仪，包括测厚仪外壳体15，还包括固定装置和收纳装置，测厚仪外壳体15的前表面固定设置有承重支架1，承重支架1的顶部通过铰链连接设置有透明固定罩3，测厚仪外壳体15的顶部固定设置有测量固定架2，固定装置包括透明固定罩3，透明固定罩3的底部固定设置有承重连接板5，承重连接板5的顶部通过螺栓固定设置有固定弹簧4，承重连接板5的底部固定设置有晶圆固定卡板10，晶圆固定卡板10的底部固定设置有扩张弹簧9，承重支架1的一侧固定设置有固定卡钮16。

为了便于对晶圆的收纳，本实施例中，优选的收纳装置包括固定收纳盒6，固定收纳盒6的内侧固定设置有晶圆收纳卡板11，晶圆收纳卡板11的一侧固定设置有承重弹簧12，固定收纳盒6的一侧固定设置有固定卡块8，固定卡块8的底部固定设置有第一磁性板13，承重支架1的一侧对应固定卡块8的位置处通过螺栓连接设置有固定卡槽盒7，固定卡槽盒7的内侧固定设置有第二磁性板14，固定收纳盒6和承重支架1通过固定卡槽盒7和固定卡块8卡合连接。

为了实现晶圆固定卡板10的滑动，本实施例中，优选的晶圆固定卡板10的顶部固定设置有两个凸型卡块，且承重连接板5的底部对应凸型卡块的位置处开设有滑动槽，承重连接板5和晶圆固定卡板10通过凸型卡块和滑动槽卡合连接。

为了实现对不同型号晶圆的固定，本实施例中，优选的晶圆固定卡板10的剖面为弧形结构。

为了增加连接的稳固性，本实施例中，优选的第二磁性板14的顶部开设有连接凹槽。

本实用新型的工作原理及使用流程：此类带冷却装置的晶圆测厚仪在对待测晶圆进行测量时，将晶圆放置在承重支架1上测量固定架2的底部，在铰链的作用下，使得透明固定罩3可以自由转动，将透明固定罩3一侧的固定孔移动到固定卡钮16的位置处，按动固定卡钮16，将固定卡钮16收纳进承重支架1内侧，当透明固定罩3上固定孔与固定卡钮16重合时，在固定卡钮16底部弹簧的作用下，使得透明固定罩3关闭，此时，在承重连接板5顶部弹簧的作用，以及在扩张弹簧9的张力作用下，将晶圆固定卡板10与待测晶圆卡合固定，完成对晶圆的固定；

将固定收纳盒6一侧的固定卡块8沿着固定卡槽盒7向下滑动，将固定卡槽盒7上的第一磁性板13卡合在第二磁性板14顶部的连接凹槽内侧，并在磁铁本来属性的作用下，使得承重支架1和固定收纳盒6固定连接，将晶圆放置在合适的晶圆收纳卡板11内侧，将晶圆下按，在晶圆收纳卡板11底部弹簧的张力作用下，使得晶圆收纳在固定收纳盒6的内侧，完成使用。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种带冷却装置的晶圆测厚仪，包括测厚仪外壳体（15），其特征在于：还包括固定装置和收纳装置，所述测厚仪外壳体（15）的前表面固定设置有承重支架（1），所述承重支架（1）的顶部通过铰链连接设置有透明固定罩（3），所述测厚仪外壳体（15）的顶部固定设置有测量固定架（2），所述固定装置包括透明固定罩（3），所述透明固定罩（3）的底部固定设置有承重连接板（5），所述承重连接板（5）的顶部通过螺栓固定设置有固定弹簧（4），所述承重连接板（5）的底部固定设置有晶圆固定卡板（10），所述晶圆固定卡板（10）的底部固定设置有扩张弹簧（9），所述承重支架（1）的一侧固定设置有固定卡钮（16）。

2.根据权利要求1所述的一种带冷却装置的晶圆测厚仪，其特征在于：所述收纳装置包括固定收纳盒（6），所述固定收纳盒（6）的内侧固定设置有晶圆收纳卡板（11），所述晶圆收纳卡板（11）的一侧固定设置有承重弹簧（12），所述固定收纳盒（6）的一侧固定设置有固定卡块（8），所述固定卡块（8）的底部固定设置有第一磁性板（13），所述承重支架（1）的一侧对应固定卡块（8）的位置处通过螺栓连接设置有固定卡槽盒（7），所述固定卡槽盒（7）的内侧固定设置有第二磁性板（14），所述固定收纳盒（6）和承重支架（1）通过固定卡槽盒（7）和固定卡块（8）卡合连接。

3.根据权利要求1所述的一种带冷却装置的晶圆测厚仪，其特征在于：所述晶圆固定卡板（10）的顶部固定设置有两个凸型卡块，且所述承重连接板（5）的底部对应凸型卡块的位置处开设有滑动槽，所述承重连接板（5）和晶圆固定卡板（10）通过凸型卡块和滑动槽卡合连接。

4.根据权利要求1所述的一种带冷却装置的晶圆测厚仪，其特征在于：所述晶圆固定卡板（10）的剖面为弧形结构。

5.根据权利要求2所述的一种带冷却装置的晶圆测厚仪，其特征在于：所述第二磁性板（14）的顶部开设有连接凹槽。