CN208368488U - 一种集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置，用于吸取集成电路材料，包括吸盘主体；所述吸盘主体包括吸合片料的吸合面以及设置在所述吸盘主体上的若干吸嘴；还包括设置在所述吸盘主体上可操作性夹持片料的至少一个夹手组件,该集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置通过在吸盘主体上设置可操作性夹持片料的至少一个夹手组件，在将该集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置垂直放置时，片料因被夹手组件夹住而不易掉落，从而提高了生产效率。

Description

一种集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置

技术领域

本实用新型涉及集成电路材料表面处理技术领域，更具体地说，涉及一种集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置。

背景技术

在集成电路材料表面处理过程中，一般需要采用集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置吸合片料，该集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置上设有吸合面料的吸合面，且该吸合面上设有若干吸嘴，通过抽走该吸嘴的空气，形成真空以吸合片料。当将该集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置垂直放置时，片料容易脱离该集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置，往下掉落。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种改进的集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置，用于吸取集成电路材料制成的片料，包括吸盘主体；所述吸盘主体包括吸合所述片料的吸合面以及设置在所述吸盘主体上的若干吸嘴；其特征在于，还包括设置在所述吸盘主体上可操作性夹持所述片料的至少一个夹手组件。

优选地，所述至少一个夹手组件位于与所述吸合面相背的一面；

每个所述夹手组件包括朝所述吸合面延伸设置以夹持所述片料的夹爪、驱动所述夹爪夹持所述片料的驱动机构、与所述驱动机构连接的传动机构；所述传动机构与所述夹爪连接由所述驱动机构带动传动以带动所述夹爪夹持所述片料或松开所述片料的传动机构。

优选地，所述夹手组件还包括固定在所述吸盘主体上的固定块，设置在所述固定块两侧的第一侧板和第二侧板，设置在所述所述第一侧板和所述第二侧板之间的活动块；所述夹爪设置在所述第一侧板和所述第二侧板之间；所述活动块与所述第一侧板和所述第二侧板可转动连接，且与所述夹爪固定连接以带动所述夹爪夹持所述片料或松开所述片料。

优选地，所述传动机构包括设置在所述驱动机构一端连接件以及穿设在所述连接件上以带动所述夹爪转动的销轴。

优选地，所述活动块上设有凹槽；所述凹槽两侧壁上设置有过孔，所述连接件设置在所述凹槽中，且所述销轴穿设在所述过孔中，以带动所述活动块转动。

优选地，所述驱动机构包括设置在所述第一侧板和所述第二侧板之间的气缸，所述气缸的一端插设在所述连接件上。

优选地，所第一侧板和所述第二侧板之间设有固定所述气缸的气缸固定件，所述气缸固定件上设有可拉动所述气缸以及将所述夹手组件悬挂的拉簧。

优选地，所述夹爪包括与所述活动块固定连接的连接段以及朝所述吸合面延伸以夹持片料的夹持段。

优选地，所述吸盘主体上设有给所述吸嘴供气的气管接头。

优选地，所述至少一个夹手组件包括分开且并排设置的第一夹手组件和第二夹手组件。

实施本实用新型的集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置，具有以下有益效果：该集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置通过在吸盘主体上设置可操作性夹持片料的至少一个夹手组件，在将该集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置垂直放置时，片料因被夹手组件夹住而不易掉落，从而提高了生产效率。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是本实用新型集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置的结构示意图；

图2是本实用新型集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置的夹手组件的结构示意图；

图3是本实用新型集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置的夹手组件的局部结构示意图。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。

图1至图3示出了本实用新型集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置的一个优选实施例。

该集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置可用于吸取集成电路材料制成的片料；其可避免将该集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置转动90度时，吸合在该集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置上的片料掉落而导致片料受损；该集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置可提高生产效率，降低生产成本。

如图1至图3所示，该集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置，包括吸盘主体11以及设置在吸盘主体11上的至少一个夹手组件12；该吸盘主体11可用于吸合片料；该至少一个夹手组件12可用于夹持已吸附在该吸盘主体11上的片料，避免片料掉落。

如图1所示，该吸盘主体11可采用金属板材、塑料板或者木板等材质制成，在本实施例中，优选地，其采用金属板材制成，且其可以为长方体状。在其他一些实施例中，该吸盘主体的形状可以不限于长方体状。该吸盘主体包括吸合面111以及设置在该吸盘主体11上的若干吸嘴，该吸合面111可用于吸合片料；该若干吸嘴设置在该吸合面111上，其可用于吸合片料。该吸盘主体11上还设有气管接头112，该气管接头112与该若干吸嘴连通，其可用于连接气管给该吸嘴供气以使得吸嘴松开片料或者抽走该吸嘴的气体使得该吸嘴可以吸合片料。

该至少一个夹手组件12位于与该吸合面111相背的一面，其可包括一个夹手组件12或者多个夹手组件；在本实施例中，该至少一个夹手组件12包括第一夹手组件和第二夹手组件；该第一夹手组件和该第二夹手组件分开且并排设置，其可用于夹持工件。

如图2及图3所示，每个夹手组件包括固定块121、第一侧板122、第二侧板123、夹爪124、驱动机构125、活动块126、传动机构127；该固定块121固定在该吸盘主体11上，其可通过螺钉与该吸盘主体11连接，可起到固定的作用；该第一侧板122和该第二侧板123分别设置在该固定块121的两侧，与该固定块121固定连接，其可用于安装该夹爪124；该夹爪124设置在该第一侧板122和该第二侧板123之间，与该第一侧板122和该第三侧板123的侧边活动连接，且朝该吸合面111延伸设置以夹持片料；该驱动机构125设置在该固定块121上方，且位于该第一侧板122和该第二侧板123之间，其可用于驱动该夹爪124夹持片料。该活动块126设置在该第一侧板122和该第二侧板123之间，其与该第一侧板122和该第二侧板123可转动连接，且与该夹爪124固定连接以带动该夹爪124夹持片料或松开片料。该传动机构127与该驱动机构125连接，其可由该驱动机构125带动传动，进而带动该夹爪124夹持片料或松开片料。

该夹爪124包括与该活动块126固定连接的连接段1241以及朝该吸合面111延伸的夹持段1242；该连接段1241设置在该第一侧板122和该第二侧板123之间；其可带动该夹持段1242做松开或者夹持动作；该夹持段1242其可与由该连接段1241带动夹持片料。

在本实施例中，该驱动机构125包括设置在第一侧板122和该第二侧板123之间的气缸，该气缸与该传动机构127连接，以带动该传动机构127传动，在其他一些实施例中，该驱动机构125不限于气缸。

该活动块126上设有凹槽1261；该传动机构127可设置在该凹槽126中，该凹槽1261两侧壁上设置有过孔1262，该传动机构127可与该过孔1262连接，以带动该活动块126活动。

该传动机构127包括设置在该驱动机构125一端的连接件1271以及穿设在该连接件1271上以带动该夹爪124转动的销轴1272。该气缸一端插设在该连接件1271中，该连接件1271置于该凹槽1261中，该销轴1272穿设在该过孔1262中，该气缸转动可带动该连接件1271转动，进而带动该活动块126转动，从而带动该夹爪124做夹持或者松开片料。

在本实施例中，该第一侧板122和该第二侧板123之间设有气缸固定件128，该气缸固定件128的两侧与该第一侧板122和该第二侧板123可转动连接，其可用于固定该气缸；该气缸从该气缸固定件128穿出与该连接件1271连接。该气缸固定件128上设有拉簧129，该拉簧129一端可与该气缸固定件128连接，另一端可与机架连接，其可用于拉动该气缸以及将该该夹手组件12悬挂。

可以理解的，以上实施例仅表达了本实用新型的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制；应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，可以对上述技术特点进行自由组合，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围；因此，凡跟本实用新型权利要求范围所做的等同变换与修饰，均应属于本实用新型权利要求的涵盖范围。

Claims (10)

1.一种集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置，用于吸取集成电路材料制成的片料，包括吸盘主体(11)；所述吸盘主体(11)包括吸合所述片料的吸合面(111)以及设置在所述吸盘主体(11)上的若干吸嘴；其特征在于，还包括设置在所述吸盘主体(11)上可操作性夹持所述片料的至少一个夹手组件(12)。

2.根据权利要求1所述的集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置，其特征在于，所述至少一个夹手组件(12)位于与所述吸合面(111)相背的一面；

每个所述夹手组件(12)包括朝所述吸合面(111)延伸设置以夹持所述片料的夹爪(124)、驱动所述夹爪(124)夹持所述片料的驱动机构(125)、与所述驱动机构(125)连接的传动机构(127)；所述传动机构(127)与所述夹爪(124)连接由所述驱动机构(125)带动传动以带动所述夹爪(124)夹持所述片料或松开所述片料的传动机构(127)。

3.根据权利要求2所述的集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置，其特征在于，所述夹手组件(12)还包括固定在所述吸盘主体(11)上的固定块(121)，设置在所述固定块(121)两侧的第一侧板(122)和第二侧板(123)，设置在所述第一侧板(122)和所述第二侧板(123)之间的活动块(126)；所述夹爪(124)设置在所述第一侧板(122)和所述第二侧板(123)之间；所述活动块(126)与所述第一侧板(122)和所述第二侧板(123)可转动连接，且与所述夹爪(124)固定连接以带动所述夹爪(124)夹持所述片料或松开所述片料。

4.根据权利要求3所述的集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置，其特征在于，所述传动机构(127)包括设置在所述驱动机构(125)一端的连接件(1271)以及穿设在所述连接件(1271)上以带动所述夹爪(124)转动的销轴(1272)。

5.根据权利要求4所述的集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置，其特征在于，所述活动块(126)上设有凹槽(1261)；所述凹槽(1261)两侧壁上设置有过孔(1262)，所述连接件(1271)设置在所述凹槽(1261)中，且所述销轴(1272)穿设在所述过孔(1262)中，以带动所述活动块(126)转动。

6.根据权利要求4所述的集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置，其特征在于，所述驱动机构(125)包括设置在所述第一侧板(122)和所述第二侧板(123)之间的气缸，所述气缸的一端插设在所述连接件(1271)上。

7.根据权利要求6所述的集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置，其特征在于，所第一侧板(122)和所述第二侧板(123)之间设有固定所述气缸的气缸固定件(128)，所述气缸固定件(128)上设有可拉动所述气缸以及将所述夹手组件(12)悬挂的拉簧(129)。

8.根据权利要求3所述的集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置，其特征在于，所述夹爪(124)包括与所述活动块(126)固定连接的连接段(1241)以及朝所述吸合面(111)延伸以夹持所述片料的夹持段(1242)。

9.根据权利要求1所述的集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置，其特征在于，所述吸盘主体(11)上设有给所述吸嘴供气的气管接头(112)。

10.根据权利要求1所述的集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置，其特征在于，所述至少一个夹手组件(12)包括分开且并排设置的第一夹手组件和第二夹手组件。