CN208366034U - 集成电路材料表面处理设备可调风刀口组件 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及集成电路材料表面处理设备领域，尤其是涉及一种集成电路材料表面处理设备可调风刀口组件，包括进风部件、出风管以及套管，连接管的一端与进风部件通过卡扣可周向转动地连接，并与进风部件连通；出风管上开设有沿轴向的长形的出风口，以形成风刀；套管套在出风管上，挡住部分出风口，以控制风刀宽度。实施本实用新型的技术方案，可以通过套管，控制风刀的宽度，以适应不同的需要吹风的物体的尺寸，避免浪费能源；并且通过卡扣可周向转动的连接方式，能够方便地调整风刀的角度，同时保证连接的可靠性。

Description

集成电路材料表面处理设备可调风刀口组件

技术领域

本实用新型涉及集成电路材料表面处理设备，尤其是涉及一种集成电路材料表面处理设备用的风刀宽度可调、并且便于调整风刀角度的风刀组件。

背景技术

风刀组件可以从细长的出风口喷出风从而形成风刀，风刀在工业生产中可以用作干燥手段，也可以喷到物体表面以去除液体或尘粒。然而，由于风刀的宽度是一定的，对于一些尺寸较小的物体，风刀就显得过宽，造成能源的浪费。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术中的上述缺陷，提供一种风刀宽度可调、并且便于调整风刀角度的风刀组件。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种风刀组件，包括进风部件、出风管以及套管，连接管的一端与进风部件通过卡扣可周向转动地连接，并与进风部件连通；出风管上开设有沿轴向的长形的出风口，以形成风刀；套管套在出风管上，挡住部分出风口，以控制风刀宽度。

优选地，套管可轴向滑动地套在出风管上。

优选地，进风部件包括基部以及与基部连通的连接管，连接管和出风管中的一者上设有卡槽，另一者上设有与卡槽匹配的凸起部，以实现进风部件与连接管通过卡扣可周向转动地连接。

优选地，出风管插在连接管中。

优选地，卡槽包括轴向的并向连接管一端开放的第一部分以及周向的第二部分。

优选地，基部包括主体和盖子，主体上设有纵向的第一进风通道以及第二进风通道，第二进风通道在侧壁处跟第一进风通道和连接管连通，第二进风通道的一端通向主体外并由盖子堵住。

优选地，第一进风通道和连接管分别设在第二进风通道的两侧。

优选地，出风管和连接管中的一者的内侧设有台阶，台阶与出风管的端面之间设有第一密封件。

优选地，套管的内侧与出风管的侧壁之间设有第二密封件。

优选地，出风管包括至少两个间隔并排的出风管，至少两个出风管的出风口朝向内侧；套管包括套在每一出风管上的至少两个套管。

实施本实用新型的技术方案，至少具有以下的有益效果：本实用新型的风刀组件，可以通过套管，控制风刀的宽度，以适应不同的需要吹风的物体的尺寸，避免浪费能源。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是本实用新型一优选实施例中的风刀装置的立体图。

图2是图1中的风刀组件以及被吹风物体的立体图。

图3是图1中的风刀组件的主视图。

图4是图4中A-A位置的剖视图。

图5是图1中的风刀组件的左视图。

图6是图1中的风刀组件的爆炸图。

图7是图5中B-B位置的剖视图。

图8是图7中P部位的局部放大图。

图9是图1中的风刀组件的进风部件的立体图。

图10是图1中的风刀组件的出风管的立体图。

图11是图1中的风刀组件的出风管的另一视角的立体图。

图中的标号表示：1.进风部件，11.基部，111.主体，111a.第一进风通道，111b.第二进风通道，112.盖子，12.连接管，121.台阶，121a.第一密封件，2.出风管，21.出风口，3.套管，3a.第二密封件，4.卡扣，4a.卡槽，4a-1.第一部分，4a-2.第二部分，4b.凸起部，5.被吹风的物体。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。在本实用新型的风刀组件的描述中，需要理解的是，“前”、“后”、“上”、“下”、“正面”、“背面”等术语仅是为了便于描述本实用新型的技术方案，而不是指示所指的装置或元件必须具有特定的方位，因此不能理解为对本实用新型的限制。

如图1-11所示，一种风刀宽度可调、并且便于调整风刀角度的风刀组件，包括进风部件1、出风管2以及套管3，出风管2的一端与进风部件1通过卡扣4可周向转动地连接，并与进风部件1连通；出风管2上开设有沿轴向的长形的出风口21，以形成风刀；套管3套在出风管2上，挡住部分出风口21，以控制风刀宽度。当该风刀组件工作时，风从进风部件1进入出风管2，然后从出风口21喷出形成风刀；由于套管3挡住部分出风口21，所以可以通过更换不同长度的套管3，改变出风口21的露出长度，进而控制风刀的宽度，以适应不同的需要吹风的物体的尺寸，避免浪费能源。例如在电镀工艺中，对集成电路材料电镀完后，集成电路材料上还残留有电镀液，于是可以在集成电路材料表面处理设备上采用该风刀组件对物体进行吹风，使残留的电镀液流出并回收，节约资源。此外，通过卡扣可周向转动的连接方式，能够方便地调整风刀的角度，同时保证连接的可靠性；而若采用常见的螺纹连接方式，在周向转动出风管2时，螺纹连接就要么变得过松、要么变得过紧，并且出风管2会产生轴向位移，都不便于调整风刀的角度。

优选地，套管3可轴向滑动地套在出风管2上，从而可以通过滑动套管3，改变其遮挡出风口21的长度，进而改变出风口21的露出长度，改变风刀的宽度。相对于更换不同长度的套管3，滑动的方式更方便。

由于对于不同的物体通常需要以不同的角度吹风，所以，进风部件1可以包括基部11以及与基部11连通的连接管12，连接管12和出风管2中的一者上设有卡槽4a，另一者上设有与卡槽4a匹配的凸起部4b，以实现进风部件1与连接管12通过卡扣4可周向转动地连接。这样的连接既实现了连接又满足调节出风方向的需要，从而可以通过周向转动出风管2，调整出风口21的朝向，实现出风方向的调整。

出风管2与连接管12的具体连接方式可以是相互套接的，可以是出风管2的一端插在连接管12中，也可以是出风管2的一端套在连接管12上。

为了保证出风管2与进风部件1的连接可靠性的同时，实现出风方向的可调，卡槽4a可以包括轴向的并向连接管12一端开放的第一部分4a-1以及周向的第二部分4a-2。出风管2与进风部件1连接时，出风管2轴向移动，使得卡扣4的凸起部4b进入卡槽4a的第一部分4a-1，然后出风管2周向运动，使得卡扣4的凸起部4b进入卡槽4a的第二部分4a-2。当出风管2在卡槽4a的第二部分4a-2范围内周向转动时，就可以改变出风方向，同时保证与进风部件1可靠地连接。

基部11包括主体111和盖子112，主体111上设有纵向的第一进风通道111a以及第二进风通道111b，第二进风通道111b在侧壁处跟第一进风通道111a和连接管12连通，第二进风通道111b的一端通向主体111外并由盖子112堵住，这样便于进风通道的制造加工(加工时可以直接从外部开孔，然后用盖子112把孔堵住)，也便于检查维修。第二进风通道111b用于改变风的流向，使其流向出风管2。

为了减小风力的损耗，第一进风通道111a和连接管12可以分别设在第二进风通道111b的两侧，减小风流被阻碍造成的损耗。

为了提高能源的利用效率，出风管2和连接管12中的一者的内侧可以设有台阶121，台阶121与出风管2的端面之间设有第一密封件121a，用于防止漏气，保证风流尽量从出风口21喷出形成风刀。

也是为了提高能源的利用效率，套管3的内侧与出风管2的侧壁之间设有第二密封件3a，也是用于防止漏气，保证风流尽量从出风口21喷出形成风刀。

优选地，出风管2包括至少两个间隔并排的出风管2，至少两个出风管2的出风口21朝向内侧，以形成至少两个风刀；套管3包括套在每一出风管2上的至少两个套管3。此处所述的“内侧”所指的是该至少两个出风管2之间的区域。由于出风管2具有至少两个，所以被吹风的物体5可以从至少两个出风管2之间通过，至少两个风刀从不同角度吹向物体5，提高了吹风的效率。例如图5所示，出风管2包括两个间隔并排的出风管2，被吹风的物体5可以从两个出风管2之间通过，风刀吹向物体5的两侧。

综上所述，本实用新型的风刀组件，可以通过套管3，控制风刀的宽度，以适应不同的需要吹风的物体的尺寸，避免浪费能源；并且，通过卡扣4的结构连接出风管2和进风部件1，使得出风的方向可以方便地调整，同时保证连接的可靠性。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改、组合和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的权利要求范围之内。

Claims (10)

1.一种风刀组件，其特征在于，包括进风部件(1)、出风管(2)以及套管(3)，所述出风管(2)的一端与所述进风部件(1)通过卡扣(4)可周向转动地连接，并与所述进风部件(1)连通；所述出风管(2)上开设有沿轴向的长形的出风口(21)，以形成风刀；所述套管(3)套在所述出风管(2)上，挡住部分所述出风口(21)，以控制风刀宽度。

2.根据权利要求1所述的风刀组件，其特征在于，所述套管(3)可轴向滑动地套在所述出风管(2)上。

3.根据权利要求1所述的风刀组件，其特征在于，所述进风部件(1)包括基部(11)以及与所述基部(11)连通的连接管(12)，所述连接管(12)和所述出风管(2)中的一者上设有卡槽(4a)，另一者上设有与所述卡槽(4a)匹配的凸起部(4b)，以实现所述进风部件(1)与所述连接管(12)通过卡扣(4)可周向转动地连接。

4.根据权利要求3所述的风刀组件，其特征在于，所述出风管(2)插在所述连接管(12)中。

5.根据权利要求3所述的风刀组件，其特征在于，所述卡槽(4a)包括轴向的并向所述连接管(12)一端开放的第一部分(4a-1)以及周向的第二部分(4a-2)。

6.根据权利要求3所述的风刀组件，其特征在于，所述基部(11)包括主体(111)和盖子(112)，所述主体(111)上设有纵向的第一进风通道(111a)以及第二进风通道(111b)，所述第二进风通道(111b)在侧壁处跟所述第一进风通道(111a)和所述连接管(12)连通，所述第二进风通道(111b)的一端通向所述主体(111)外并由所述盖子(112)堵住。

7.根据权利要求6所述的风刀组件，其特征在于，所述第一进风通道(111a)和所述连接管(12)分别设在所述第二进风通道(111b)的两侧。

8.根据权利要求3所述的风刀组件，其特征在于，所述出风管(2)和所述连接管(12)中的一者的内侧设有台阶(121)，所述台阶(121)与所述出风管(2)的端面之间设有第一密封件(121a)。

9.根据权利要求3所述的风刀组件，其特征在于，所述套管(3)的内侧与所述出风管(2)的侧壁之间设有第二密封件(3a)。

10.根据权利要求1-9任一项所述的风刀组件，其特征在于，所述出风管(2)包括至少两个间隔并排的出风管(2)，所述至少两个出风管(2)的所述出风口(21)朝向内侧；所述套管(3)包括套在每一所述出风管(2)上的至少两个套管(3)。