CN208328096U - 一种中高温太阳能选择性吸收涂层 - Google Patents
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- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 25
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 10
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- QDOXWKRWXJOMAK-UHFFFAOYSA-N chromium(III) oxide Inorganic materials O=[Cr]O[Cr]=O QDOXWKRWXJOMAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 abstract description 14
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 8
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract description 5
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 abstract description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 56
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 19
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 18
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 18
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 14
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 12
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 10
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000005030 aluminium foil Substances 0.000 description 9
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 9
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 6
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910010037 TiAlN Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 4
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010169 TiCr Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 2
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910005855 NiOx Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- DOTMOQHOJINYBL-UHFFFAOYSA-N molecular nitrogen;molecular oxygen Chemical compound N#N.O=O DOTMOQHOJINYBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 239000013535 sea water Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种中高温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法，包括现有金属基底，其特征在于：在金属基底上，从下到上还分别有三层：红外反射层、吸收层和减反射层；所述的红外反射层为Al、Au、Ag或Ni任一种金属的涂层，复合吸收层自下而上依次包括TiN膜和TiCrN膜，减反射层自下而上依次包括Cr2O3膜、AlN膜和Al2O3膜；采用磁控溅射法进行镀膜。本实用新型的有益效果：1.本实用新型制得的涂层，具有吸收效率高、发射率低、热稳定性好的特点；2.太阳光谱吸收率α与发射率ε(T)之比高，适合200℃以上的中高温应用；3.制作工艺简便。
Description
技术领域
本实用新型属太阳能光热转换利用技术领域，涉及一种中高温太阳能选择性吸收涂层。
背景技术
太阳能选择性吸收涂层是在可见-近红外波段（300-2500nm）具有高吸收率，在红外波段（2500-20000nm）具有低发射率的功能薄膜，是用于太阳能集热器，提高光热转换效率的关键。随着太阳能热利用需求和技术的不断发展，太阳能集热器的应用范围从低温应用(≤200℃)向中温应用(200℃-400℃) 和高温应用(≥400℃)发展，以不断满足海水淡化、太阳能发电等中高温应用领域的使用要求。对于太阳能集热器使用的太阳能选择性吸收涂层也要求具备高温热稳定性，适应中高温环境的服役条件。
目前市场上出现的选择性吸收涂层中吸收层材料主要有AlN-Al(NiOx、 TiN)、Al(Mo、W、Ni、Co)-Al2O3、Al2O3-Mo-Al2O3、NiCrNxOy，TiNxOy等，其中NiCrNxOy、TiNxOy使用较多。中国专利公开号CN1584445A中采用成分渐变NiCrNxOy，太阳光谱吸收率最高为92％，辐射率最低为10％，α/ε最大9.2；中国专利公开号CN101240944A、CN201196495Y中，通过精确调控氮氧比，获得吸收率96％，辐射率4％的基于多层梯度TiNxOy吸收的选择性涂层，α/ε(80℃)最大24，主要适合200℃以下的低温应用。在中高温条件下，由于其红外发射率随温度上升明显升高，导致集热器热损失明显上升，热效率显著下降。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有中高温太阳能选择性涂热效率低的问题，提供一种中高温太阳能选择性吸收涂层。
为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：
一种中高温太阳能选择性吸收涂层，包括现有金属基底，其特征在于：在金属基底上，从下到上还分别有三层：红外反射层、吸收层和减反射层；
所述的红外反射层为Al、Au、Ag或Ni任一种金属的涂层，厚度为30-50nm；
所述的吸收层自下而上依次包括TiN膜和TiCrN膜，TiN膜的厚度为80-100nm，TiCrN膜的厚度为50-80nm；
所述减反射层自下而上依次包括Cr2O3膜、AlN膜和Al2O3膜，Cr2O3膜的厚度为30-50nm，AlN膜的厚度为50-70nm，Al2O3膜的厚度为20-60nm。
其中，在300-2500nm范围内，Cr2O3膜的折射率为2.29-2.61，AlN膜折射率为2.00-2.25，Al2O3膜的折射率为1.58-1.79。
TiN膜和TiCrN膜在中高温环境中热稳定性良好，TiN膜和TiCrN膜作为吸收层，两种薄膜的热膨胀系数相近，使其在中高温环境中界面应力小，提高了涂层的附着力和中高温环境中性能的稳定性；
减反射层采用Cr2O3膜、AlN膜和Al2O3膜依次叠加组成，薄膜的折射率依次递减，具有更加优异的减反效果；
中高温太阳能选择性吸收涂层具有优异的光谱选择性。吸收-反射过渡区陡峭，选择性吸收涂层的中高温(200℃-400℃)发射率ε＜4％，吸收率α＞92％，α/ε高于现有商业产品，适用于低倍聚焦的中高温太阳能集热器。
本实用新型的有益效果：1.本实用新型制得的涂层，具有吸收效率高、发射率低、热稳定性好的特点；2.太阳光谱吸收率α与发射率ε(T)之比高，适合200℃以上的中高温应用；3.制作工艺简便。
附图说明
图1是一种中高温太阳能选择性吸收涂层的结构示意图；
图2是一种中高温太阳能选择性吸收涂层的制备流程示意图。
具体实施例
结合图1，一种中高温太阳能选择性吸收涂层，包括金属基底，在金属基底上，从下到上还分别有三层：红外反射层、吸收层和减反射层；红外反射层为Al、Au、Ag或Ni任一种金属的涂层，厚度为30-50nm；吸收层自下而上依次包括TiN膜和TiCrN膜，TiN膜的厚度为80-100nm，TiCrN膜的厚度为50-80nm；减反射层自下而上依次包括Cr2O3膜、AlN膜和Al2O3膜，Cr2O3膜的厚度为30-50nm，AlN膜的厚度为50-70nm，Al2O3膜的厚度为20-60nm。其中，在300-2500nm范围内，Cr2O3膜的折射率为2.29-2.61，AlN膜折射率为2.00-2.25，Al2O3膜的折射率为1.58-1.79。
结合图2，一种中高温太阳能选择性吸收涂层，具体实施步骤如下：
实施例1
（1）选用厚度为0.3mm的铜箔片；
（2）金属基片表面的清洗：把铜箔片放入超声波清洗机内，先用丙酮超声20min，再用酒精超声20min，最后用去离子水超声20min，用高压N2吹干；
（3）取出铜箔片，放入磁控溅射设备中沉积红外反射层Al薄膜，制备工艺参数如下：
靶材：Al靶（4N）；本底真空≤9×10-4 Pa；工作压强：5×10-1 Pa；溅射功率：80W；溅射工艺气体Ar流量：30sccm；沉积厚度：30nm，得涂覆有红外反射层Al薄膜的铜箔片；
（4）磁控溅射设备中沉积吸收层TiN薄膜，制备工艺参数如下：
靶材：Ti靶（4N）；本底真空≤8×10-4 Pa；工作压强：4.5×10-1 Pa；溅射功率：100W；溅射工艺气体Ar流量：30sccm；反应气体N2流量：8sccm；沉积厚度：100nm，得涂覆有吸收层TiN薄膜的铜箔片；
（5）磁控溅射设备中沉积吸收层TiCrN薄膜，制备工艺参数如下：
靶材：TiCr合金靶（4N，Ti：Cr（at%）=4:1）；本底真空≤9×10-4 Pa；工作压强：5×10-1 Pa；溅射功率：100W；溅射工艺气体Ar流量： 30sccm；反应气体N2流量：10sccm；沉积厚度：60nm，得涂覆有吸收层TiCrN薄膜的铜箔片；
（6）磁控溅射设备中沉积减反射层Cr2O3薄膜，制备工艺参数如下：
靶材：Cr靶（4N）；本底真空≤9×10-4 Pa；工作压强：5×10-1 Pa；溅射功率：75W；溅射工艺气体Ar流量：30sccm；反应气体O2流量：8sccm；沉积厚度：40nm，得涂覆有减反射层Cr2O3薄膜的铜箔片；
（7）磁控溅射设备中沉积减反射层AlN薄膜，制备工艺参数如下：
靶材：Al靶（4N）；本底真空≤9×10-4 Pa；工作压强：5×10-1 Pa；
溅射功率：80W；溅射工艺气体Ar流量： 30sccm；反应气体N2流量：10sccm；
沉积厚度：60nm，得涂覆有减反射层AlN薄膜的铜箔片；
（8）磁控溅射设备中沉积Al2O3薄膜，制备工艺参数如下：
靶材：Al靶（4N）；本底真空≤9×10-4 Pa；工作压强：5×10-1 Pa；溅射功率：70W；溅射工艺气体Ar流量：30sccm；反应气体O2流量：6sccm；沉积厚度：50nm，得涂覆有沉积Al2O3薄膜的铜箔片即为一种中高温太阳能选择性吸收涂层。
实施例2
（1）选用厚度为0.2mm的铝箔片；
（2）金属基片表面的清洗：把铝箔片放入超声波清洗机内，先用丙酮超声20min，再用酒精超声20min，最后用去离子水超声20min，用高压N2吹干；
（3）取出铝箔片，放入磁控溅射设备中沉积红外反射层Ag薄膜，制备工艺参数如下：
靶材：Ag靶（4N）；本底真空≤9×10-4 Pa；工作压强：5×10-1 Pa；溅射功率：80W；溅射工艺气体Ar流量：30sccm；沉积厚度：25nm，得涂覆有红外反射层Ag薄膜的铝箔片；
（4）磁控溅射设备中沉积吸收层TiN薄膜，制备工艺参数如下：
靶材：Ti靶（4N）；本底真空≤8×10-4 Pa；工作压强：4.5×10-1 Pa；溅射功率：900W；溅射工艺气体Ar流量：30sccm；反应气体N2流量：8sccm；沉积厚度：110nm，得涂覆有吸收层TiN薄膜的铝箔片；
（5）磁控溅射设备中沉积吸收层TiCrN薄膜，制备工艺参数如下：
靶材：TiCr合金靶（4N，Ti：Cr（at%）=3:2）；本底真空≤9×10-4 Pa；工作压强：5×10-1 Pa；溅射功率：110W；溅射工艺气体Ar流量：30sccm；反应气体N2流量：12sccm；沉积厚度：70nm，得涂覆有吸收层TiCrN薄膜的铝箔片；
（6）磁控溅射设备中沉积减反射层Cr2O3薄膜，制备工艺参数如下：
靶材：Cr靶（4N）；本底真空≤9×10-4 Pa；工作压强：5×10-1 Pa；溅射功率：80W；溅射工艺气体Ar流量：30sccm；反应气体O2流量：8sccm；沉积厚度：45nm，得涂覆有减反射层Cr2O3薄膜的铝箔片；
（7）磁控溅射设备中沉积减反射层AlN薄膜，制备工艺参数如下：
靶材：Al靶（4N）；本底真空≤9×10-4 Pa；工作压强：5×10-1 Pa；溅射功率：100W；溅射工艺气体Ar流量：30sccm；反应气体N2流量：9sccm；沉积厚度：50nm，得涂覆有减反射层AlN薄膜的铝箔片；
（8）磁控溅射设备中沉积Al2O3薄膜，制备工艺参数如下：
靶材：Al靶（4N）；本底真空≤9×10-4 Pa；工作压强：5×10-1 Pa；溅射功率：80W；溅射工艺气体Ar流量：30sccm；反应气体O2流量：7sccm；沉积厚度：60nm，得涂覆有沉积Al2O3薄膜的铝箔片即为一种中高温太阳能选择性吸收涂层。
Claims (2)
1.一种中高温太阳能选择性吸收涂层，包括现有金属基底，其特征在于：在金属基底上，从下到上还分别有三层：红外反射层、吸收层和减反射层；
所述的红外反射层为Al、Au、Ag或Ni任一种金属的涂层，厚度为30-50nm；
所述的吸收层自下而上依次包括TiN膜和TiCrN膜，TiN膜的厚度为80-100nm，TiCrN膜的厚度为50-80nm；
所述减反射层自下而上依次包括Cr2O3膜、AlN膜和Al2O3膜，Cr2O3膜的厚度为30-50nm，AlN膜的厚度为50-70nm，Al2O3膜的厚度为20-60nm。
2.根据权利要求1所述一种中高温太阳能选择性吸收涂层，其特征在于：在300-2500nm范围内，Cr2O3膜的折射率为2.29-2.61，AlN膜折射率为2.00-2.25，Al2O3膜的折射率为1.58-1.79。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820863074.1U CN208328096U (zh) | 2018-06-05 | 2018-06-05 | 一种中高温太阳能选择性吸收涂层 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820863074.1U CN208328096U (zh) | 2018-06-05 | 2018-06-05 | 一种中高温太阳能选择性吸收涂层 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN208328096U true CN208328096U (zh) | 2019-01-04 |
Family
ID=64772823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201820863074.1U Withdrawn - After Issue CN208328096U (zh) | 2018-06-05 | 2018-06-05 | 一种中高温太阳能选择性吸收涂层 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN208328096U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108441836A (zh) * | 2018-06-05 | 2018-08-24 | 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 | 一种中高温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法 |
-
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- 2018-06-05 CN CN201820863074.1U patent/CN208328096U/zh not_active Withdrawn - After Issue
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108441836A (zh) * | 2018-06-05 | 2018-08-24 | 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 | 一种中高温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法 |
| CN108441836B (zh) * | 2018-06-05 | 2024-01-23 | 中建材玻璃新材料研究院集团有限公司 | 一种中高温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| AV01 | Patent right actively abandoned |
Granted publication date: 20190104 Effective date of abandoning: 20240123 |
|
| AV01 | Patent right actively abandoned |
Granted publication date: 20190104 Effective date of abandoning: 20240123 |
|
| AV01 | Patent right actively abandoned | ||
| AV01 | Patent right actively abandoned |