CN208282901U - 一种液位侦测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种液位侦测装置，包括：侦测容器，侦测容器的底部设置有第一连接端，第一连接端用于与被侦测容器连通并使被侦测容器中的液面与侦测容器的液面齐平；漂浮件，漂浮件位于所述侦测容器内，包括浮子和导电杆，导电杆固定连接于所述浮子远离所述液面的一侧，所述导电杆的长度方向垂直于液面；信号接收设备，所述信号接收设备包括第一电接触端，所述第一电接触端固定设置于所述浮子上方并与所述导电杆活动连接。本实用新型采用浮子带动导电杆做上升或下降的运动。每次液位发生变化，所述信号接收设备接收所述导电杆上的电信号以获取液位高度。所述液位侦测装置内部结构简单，便于读数，且完全置于被侦测容器之外，有利于拆装和维修。

Description

一种液位侦测装置

技术领域

本实用新型涉及侦测装置，尤其涉及一种液位侦测装置。

背景技术

人类的生产和生活离不开各种液体例如水的使用，并且经常需要对液位进行侦测。

以应用于光刻设备的水冷却系统(TCU)为例，目前侦测液位主要是通过在被侦测容器的塑料透明板上设置刻度或者刻度计来判断液位，但是随着使用时间的延长，在塑料透明板以及刻度计表面会形成污垢，使得刻度模糊，导致看不清液面高度。有些情况下会利用机械式液位计或者光电传感器侦测液位，但是机械式液位计容易破损，其内表面在受沾污之后会造成读数困难，不便于信号调节，而光电传感器对抗油或尘埃对镜头的污染性弱，例如在光电传感器的镜头上粘染的油污会使遮挡入射光线或者使入射光线散乱，影响光电感应效果，也容易导致自动化设备判断失误。

因此，期望提供一种不受被侦测容器内污染影响，并且方便读数的液位侦测装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种液位侦测装置，以解决现有技术中侦测设备易污染易损坏，导致液位侦测不准的问题。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种液位侦测装置，包括：

侦测容器，所述侦测容器的底部设置有第一连接端，所述第一连接端用于与被侦测容器连通并使所述被侦测容器中的液面与所述侦测容器的液面齐平；

漂浮件，所述漂浮件位于所述侦测容器内，包括浮子和导电杆，所述导电杆固定连接于所述浮子远离所述液面的一侧，所述导电杆的长度方向垂直于液面；

信号接收设备，所述信号接收设备包括第一电接触端，所述第一电接触端固定设置于所述浮子上方并与所述导电杆活动连接。

可选的，在所述液位侦测装置中，所述信号接收设备还包括第二电接触端，所述第二电接触端与所述导电杆靠近浮子的端部连接；当所述被侦测容器中的液位发生变化时，所述信号接收设备通过测试所述第一电接触端和所述第二电接触端之间的电阻变化以侦测所述导电杆的位移。

可选的，在所述液位侦测装置中，在所述导电杆的长度方向设置有多个间隔排布的导电区和非导电区。

可选的，在所述液位侦测装置中，当所述被侦测容器中的液位发生变化时，所述信号接收设备中的计数器接收所述导电杆上升或下降时与所述第一电接触端接触的次数。

可选的，在所述液位侦测装置中，所述侦测容器内还包括浮子限位装置，所述浮子限位装置包括上限杆和下限杆。

可选的，在所述液位侦测装置中，所述信号接收设备上设置有显示器和报警器，当所述浮子与所述上限杆或所述下限杆接触时，所述报警器发出报警信号。

可选的，在所述液位侦测装置中，所述侦测容器内还包括稳固结构，所述稳固结构用于提供第一电接触端稳固点。

可选的，在所述液位侦测装置中，所述侦测容器的侧壁还设置有第二连接端，所述侦测容器通过所述第一连接端和所述第二连接端与所述被侦测容器相对固定。

可选的，在所述液位侦测装置中，所述第一连接端包括阀门结构。

可选的，在所述液位侦测装置中，所述被侦测容器包括水冷却系统。

在本实用新型提供的液位侦测装置中，包括浮子和导电杆的漂浮件位于所述侦测容器内，所述导电杆固定连接于所述浮子的远离所述液面的一侧，所述导电杆的长度方向垂直于液面。从而当液位发生变化时，浮子带动所述导电杆做上升或下降的运动，而信号接收设备可以接收所述导电杆上的电信号以获取液位变化。

本实用新型的液位侦测装置的优点在于，液位侦测装置位于被侦测容器之外，不易被所述液位侦测装置内液体介质污染，便于读数；且所述液位侦测装置内部结构简单，有利于拆装和维修。

附图说明

图1为本实用新型的一个实施例提供的液位侦测装置的示意图；

图2为本实用新型的另一实施例提供的液位侦测装置的示意图；

其中，1-液位侦测装置；11-侦测容器；2-浮子；3-导电杆；31-稳固结构；4-信号接收设备；5-第一连接端；51-阀门；61-上限杆；62-下限杆；7-第二连接端；8-被侦测容器；81-补给口。

具体实施方式

下面将结合示意图对本实用新型的液位侦测装置的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本实用新型的液位侦测装置的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

请参考图1和图2，图1为本实用新型的一个实施例提供的液位侦测装置的示意图；图2为本实用新型的另一实施例提供的液位侦测装置的示意图

如图1、2所示，本实用新型提供了一种液位侦测装置1，包括：

侦测容器11，所述侦测容器11的底部设置有第一连接端5，所述第一连接端5用于与被侦测容器8连通并使所述被侦测容器8中的液面与所述侦测容器11的液面齐平；

漂浮件，所述漂浮件位于所述侦测容器11内，包括浮子2和导电杆3，所述导电杆3固定连接于所述浮子2远离所述液面的一侧，所述导电杆3的长度方向垂直于液面；

信号接收设备4，所述信号接收设备4包括第一电接触端，所述第一电接触端固定设置于所述浮子2上方并与所述导电杆3活动连接。

上述液位侦测容器11在用于对被侦测容器8的液面进行侦测时，通过第一连接端5与侦测容器8连通之后，从而所述被侦测容器8中的液体介质会流到侦测容器11中并使得被侦测容器8的液面与所述侦测容器11的液面齐平(高于第一连接端5)，从而被侦测容器8中的液面的变化可以通过侦测容器11中的液面变化体现。

所述漂浮件漂浮于所述侦测容器11内液体介质表面，所述侦测容器11通过第一连接端5与被侦测容器8连通并使所述被侦测容器8中的液面与所述侦测容器11的液面齐平；所述浮子2可以为块状，也可以为球状，其浮力大于所述浮子2和所述导电杆3的重力。当被侦测容器8和侦测容器11中的液面发生变化时，漂浮件会随着液面上升和下降，并且，本领域技术人员容易理解，漂浮件上升和下降的距离与液面增加和减少的距离一致。如图1和2所示，所述导电杆3与所述浮子2远离液体介质的一侧固定连接，从而，液面的变化可以通过导电杆3的位移体现。利用所述浮子2的浮力承受所述导电杆3的重力，使所述浮子2不被所述导电杆3的重力压下去，所述导电杆3下端一般不接触到液体介质，避免出现漏电的情况。较佳的，所述浮子2漏出顶面在液体介质上面，使得所述导电杆3下端高于液面，有利于提高侦测的精准度。

所述信号接收设备4包括第一电接触端，所述第一电接触端与所述导电杆3活动接触，并且相对于所述侦测容器11位置不变，即，当所述导电杆3在垂直于液面方向的运动时，所述第一电接触端与所述导电杆3接触但并不阻止导电杆3运动，从而可以根据所述第一电接触端测量所述导电杆3在垂直于液面方向上的位移。

通常的，所述侦测容器11设置有第一连接端5，所述第一连接端5用于与所述被侦测容器8连通。所述侦测容器11和所述被侦测容器8内的压强相等(侦测容器11不是密封的)，因此所述第一连接端5设置于靠近所述侦测容器11底面的侧壁上。优选的，所述第一连接端5处设置有阀门51，以方便拆卸所述侦测容器11。

参照图1，在一个实施例中，所述导电杆3包括沿其长度方向间隔排布的多个导电区和非导电区；从而在导电杆3随着液面变化在垂直于液面方向上发生位移时，第一电接触端与导电杆3的接触点会在所述导电区和所述非导电区之间变化，即所述第一电接触端与导电杆3的导通状况发生变化，所述导通状况可以被记录并得到所述导电杆3的位移。

具体的，所述信号接收设备4包括一计数器，以记录所述导电杆3上升或下降时与所述第一电接触端接触的次数。液位发生变化时，所述导电杆3进行上升或下降运动，所述导电杆3上多个间隔导电区会接触到所述第一电接触端，当所述第一电接触端接触到非导电区时，所述信号接收设备4无法接收到电信号，从而，所述计数器统计所述导电杆3上导电区与所述第一电接触端接触的次数。本实施例中，当液位带动所述导电杆3上升时，所述计数器统计的次数值可以正，当液位带动所述导电杆3下降时，所述计数器统计的次数值可以负，以准确的侦测待测液体介质的位置高度。

参照图2，在另一个实施例中，所述导电杆3为导电区不间断的导电杆3，进一步的，所述信号接收设备4还包括第二电接触端(未示出)，所述第二电接触端固定设置于所述导电杆3靠近浮子2的端部；在导电杆3随着液面变化在垂直于液面方向上发生位移时，所述第一电接触端在所述导电杆3上的位置是发生变化，从而第一电接触端和第二电接触端之间的电信号发生了变化。具体的，所述信号接收设备4可以通过测试所述第一电接触端和所述第二电接触端之间的电阻变化以侦测所述导电杆3的位移变化。

进一步的，当液面上升(液位增加)引起所述导电杆3上升时，所述第一电接触端在所述导电杆3上逐渐靠近所述第二电接触端，即二者之间的导电杆3的长度减小，从而第一电接触端和第二电接触端之间的电阻值减小；当液位带动所述导电杆3下降时，所述第一电接触端在所述导电杆3上逐渐远离所述第二电接触端，即二者之间的导电杆3的长度减大，从而逐渐增大所述导电杆3上的电阻值；所述信号接收设备4通过测试所述第一电接触端和所述第二电接触端之间的电阻变化以侦测所述导电杆3的位移变化。

可见，利用上述实施例中的液位侦测装置1，可以实时监控液位的变化，及时将液位信号传递至所述信号接收设备4，提高了侦测的精准度。

较佳的，所述侦测容器11内设置有稳固结构31，所述稳固结构31用于使所述导电杆3稳定。所述稳固结构31使所述导电杆3向所述信号接收设备4发出的信号更加准确。所述稳固结构31还用于为第一电接触端提供一个稳固点，使所述第一电接触端在所述侦测容器11上的位置不变，有利于使所述导电杆3与之接触。

参照图1和图2，所述液位侦测装置1还包括浮子限位装置，所述浮子限位装置包括上限杆61和下限杆62。所述限位装置用于限制浮子2的上升和下降的范围，以避免导电杆3碰到装置的顶部、浮子2碰到装置底部、以及漂浮件的漂浮状况发生明显变化等情况导致测试不准，上限杆61和下限杆62的位置可以根据被侦测容器8的需要而定。

进一步的，可以设置所述浮子2在到达限定位置后发出报警信号，以提醒工作人员被侦测容器8内的液体介质的液位到达了上限值或下限值，或提醒工作人员向被侦测容器8内补液或者停止加液。所述被侦测容器8设置有液体介质补给口81，当液位低于所述下限杆62时，则通过所述液体介质补给口81补充液体介质。

具体的，所述信号接收设备4上设置有显示器和报警器。通常的，工作人员会日常巡查所述被侦测容器8的液位，安装显示器之后，液位显示更加精确，工作人员可以直接根据显示器上的读数得知液位的高度。所述信号接收设备4上设置有报警器，所述信号接收设备4接收信号并判断出液位过高或过低时，就自动报警，通知工作人员。

进一步的，所述液位侦测装置1还包括第二连接端7，所述第二连接端7设置于所述侦测容器11的上部的外侧壁上，用于使所述侦测容器11相对于所述被侦测容器8的位置更稳固，有利于提高侦测的准确性。

进一步的，所述被侦测容器8内可以加入任何液体介质，因此所述液位侦测装置1可以侦测任何被侦测容器8内液体介质的高度。

通常的，所述被侦测容器8包括水冷却系统。现有技术中，光刻设备是通过温度控制设备(TCU)散热，本发明中的被侦测容器8可以为所述温度控制设备(TCU)，通过本发明的液位侦测装置1，随时侦测所述温度控制设备(TCU)的液位高度，以达到控制光刻设备温度的目的。

综上，在本实用新型提供的液位侦测装置中，包括：侦测容器，所述侦测容器的底部设置有第一连接端，所述第一连接端用于与被侦测容器连通并使所述被侦测容器中的液面与所述侦测容器的液面齐平；漂浮件，所述漂浮件位于所述侦测容器内，包括浮子和导电杆，所述导电杆固定连接于所述浮子远离所述液面的一侧，所述导电杆的长度方向垂直于液面；信号接收设备，所述信号接收设备包括第一电接触端，所述第一电接触端固定设置于所述浮子上方并与所述导电杆活动连接。本实用新型采用浮子带动所述导电杆做上升或下降的运动。所述导电杆本身具有导电功能，每次上升或下降都会发出电信号，被侦测容器内液体介质高度的变化促使所述导电杆发出电信号，所述信号接收设备通过接受电信号而侦测液位。

本实用新型的优点就在于，所述液位侦测装置内部结构简单，安装快捷，便于维修，可以完全置于被侦测容器之外；且能够拆装，不会影响被侦测容器正常工作；提高了所述液位侦测装置的更换速度和维修速度。

上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种液位侦测装置，其特征在于，包括：

侦测容器，所述侦测容器的底部设置有第一连接端，所述第一连接端用于与被侦测容器连通并使所述被侦测容器中的液面与所述侦测容器的液面齐平；

漂浮件，所述漂浮件位于所述侦测容器内，包括浮子和导电杆，所述导电杆固定连接于所述浮子远离所述液面的一侧，所述导电杆的长度方向垂直于液面；

信号接收设备，所述信号接收设备包括第一电接触端，所述第一电接触端固定设置于所述浮子上方并与所述导电杆活动连接。

2.如权利要求1所述的液位侦测装置，其特征在于，所述信号接收设备还包括第二电接触端，所述第二电接触端与所述导电杆靠近浮子的端部连接；当所述被侦测容器中的液位发生变化时，所述信号接收设备通过测试所述第一电接触端和所述第二电接触端之间的电阻变化以侦测所述导电杆的位移。

3.如权利要求1所述的液位侦测装置，其特征在于，在所述导电杆的长度方向设置有多个间隔排布的导电区和非导电区。

4.如权利要求3所述的液位侦测装置，其特征在于，当所述被侦测容器中的液位发生变化时，所述信号接收设备中的计数器接收所述导电杆上升或下降时与所述第一电接触端接触的次数。

5.如权利要求1所述的液位侦测装置，其特征在于，所述侦测容器内还包括浮子限位装置，所述浮子限位装置包括上限杆和下限杆。

6.如权利要求5所述的液位侦测装置，其特征在于，所述信号接收设备上设置有显示器和报警器，当所述浮子与所述上限杆或所述下限杆接触时，所述报警器发出报警信号。

7.如权利要求1所述的液位侦测装置，其特征在于，所述侦测容器内还包括稳固结构，所述稳固结构用于提供第一电接触端稳固点。

8.如权利要求1所述的液位侦测装置，其特征在于，所述侦测容器的侧壁还设置有第二连接端，所述侦测容器通过所述第一连接端和所述第二连接端与所述被侦测容器相对固定。

9.如权利要求1所述的液位侦测装置，其特征在于，所述第一连接端包括阀门结构。

10.如权利要求1所述的液位侦测装置，其特征在于，所述被侦测容器包括水冷却系统。