CN208210333U - 一种热处理装置及显影机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种热处理装置及显影机，涉及半导体设备技术领域。热处理装置包括机体、热板及吹气组件，所述机体内设置有腔室，其特征在于，所述腔室具有开口；所述热板设置于所述腔室内；所述吹气组件包括喷头，所述喷头设置于所述腔室内，且所述喷头与所述腔室的开口分别位于热板相对的两侧。热处理装置通过设置吹气组件，且吹气组件的喷头和腔室的开口位于热板相对的两侧，即喷头由内向外吹气，气流经过热板并与热板换热后，将热板的热量带出腔室外，从而加快了热板的冷却速率，从而提高不同的热处理工艺的切换效率，提高显影机的生产效率。

Description

一种热处理装置及显影机

技术领域

本实用新型涉及机械设备技术领域，尤其涉及一种热处理装置及显影机。

背景技术

工业制造过程中很多工艺步骤都需要进行热处理，而热板是对进行热处理的常见装置。在显影机中，热板是使用频率极为频繁的一项装置，而不同的工艺步骤所需的热板温度也不同。

为满足热处理要求，现有的显影机中存在两种情况：一种是设置有多个热板，每个热板设置有一个固定的热处理温度，即每个热处理工序对应设置有一个热板。这种方式虽然能够满足热处理需求，但热板数量较多，热处理成本高。另一种则是设置有能够调节加热温度的热板。通过调整热板的加热温度，适应不同的热处理工艺要求。这种方式能够在满足热处理的需求的基础上减少热板的数量，但涉及热板温度的升降问题。

现有的热板升温一般通过电阻丝的加热实现，降温一般通过自然冷却，而热板自然冷却速率较慢，严重影响显影机的生产效率。

实用新型内容

本实用新型的一个目的在于提出一种热处理装置，能够提高热板的冷却速率，有利于提高热板的热处理效率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种热处理装置，包括：

机体，所述机体内设置有腔室，所述腔室具有开口；

热板，所述热板设置于所述腔室内；

吹气组件，所述吹气组件包括喷头，所述喷头设置于所述腔室内，且所述喷头与所述腔室的开口分别位于所述热板相对的两侧。

其中，所述喷头的吹气角度可调。

其中，所述喷头位于所述热板的斜上方。

其中，所述吹气组件还包括：

管道，所述管道的一端与供气装置连接，另一端与喷头连接。

其中，所述管道内嵌于所述腔室的侧壁内，所述管道的两端伸出所述侧壁并分别与所述喷头和所述供气装置连接。

其中，所述吹气组件还包括：

开关阀，所述开关阀设置于所述管道上，用于控制所述管道的通断。

其中，所述腔室的数量为多个，每个所述腔室均对应设置有所述开关阀。

其中，所述热处理装置还包括：

控制组件，所述控制组件控制所述开关阀的开闭。

其中，所述热处理装置还包括：

测温组件，所述测温组件用于检测所述热板的温度，所述测温组件与所述控制组件电连接。

其中，所述热处理装置还包括：

检测组件，所述检测组件与所述控制组件电连接，所述检测组件用于检测所述热板上是否承载有目的物。

其中，所述检测组件包括位置传感器，所述位置传感器设置于所述腔室内，所述位置传感器的信号接收端和信号发射端相对设置，且分别位于所述目的物的两侧。

其中，所述腔室内设置有多个所述喷头，且多个所述喷头环绕所述热板远离所述开口的一侧边缘分布。

本实用新型的另一个目的在于提出一种显影机，该显影机中热板的冷却快，有利于提高显影机的生产效率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种显影机，包括如上述的热处理装置。

有益效果：本实用新型提供了一种热处理装置及显影机。热处理装置通过设置吹气组件，且吹气组件的喷头和腔室的开口位于热板相对的两侧，即喷头由内向外吹气，气流经过热板并与热板换热后，将热板的热量带出腔室外，从而加快了热板的冷却速率，从而提高不同的热处理工艺的切换效率，提高显影机的生产效率。

附图说明

图1是本实用新型提供的热处理装置的结构示意图；

图2是本实用新型提供的热处理装置的透视图一；

图3是图2中部分结构示意图；

图4是本实用新型提供的热处理装置的透视图二；

图5是图4中部分结构示意图。

其中：

1、机体；11、腔室；2、热板；3、吹气组件；31、管道；32、开关阀；33、喷头；34、接头。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

本实施例提供了一种显影机，显影机可以用于将晒制好的印版通过半自动或全自动的程序，将显影、冲洗、涂胶、烘干等工序一次性部分或全部完成的印刷处理设备。显影机包括传动系统、显影系统、冲洗系统、烘干系统和程序控制系统。本实施例中显影机可以为涂胶显影机，其中，烘干系统可以包括热处理装置。

如图1所示，热处理装置包括机体1和热板2。机体1内设置有腔室11，热板2设置于腔室11内，热板2内设置有加热组件，热板2用于承载及加热目的物。进行热处理时，目的物固定于热板2上。热板2内的加热组件工作加热热板2，通过控制热板2的加热温度，完成热处理。

由于烘干、软烘、后烘、硬烘等多项热处理工艺，每项热处理工艺需要的热板2温度不同，因此需要根据先后热处理工艺的要求，调整热板2的加热温度。

当前序热处理工艺所需温度低于后序热处理工艺所需温度时，在完成前序热处理工艺后，可以直接通过提高加热组件的功率提高热板2的温度，以便进行后序热处理工艺，此时两个热处理工艺之间的间隔时间较短。

当前序热处理工艺所需温度高于后序热处理工艺所需温度时，在完成前序热处理工艺后，需要先将热板2的温度降低至后序热处理所需温度，此时两个热处理工艺之间的间隔时间较长。

为了提高热板2的冷却速率，从而提高热处理效率，如图2和图3所示，本实施例中的热处理装置还设置了吹气组件3。吹气组件3包括设置于腔室11内的喷头33和管道31，管道31用于连接喷头33以及供气装置。当热板2需要降温时，吹气组件3工作，气流经过热板2并与热板2热交换，从而加快热板2的冷却速率。

为保证喷头33吹出的气流与热板2充分接触，喷头33可以设置于热板2的斜上方，即喷头33由斜上方向下喷淋热板2，可以增大热板2与气流的接触面积，气流经过热板2并与热板2换热后，将热板2的热量带出腔室外，从而加快了热板2的冷却速率，从而提高不同的热处理工艺的切换效率，提高显影机的生产效率。

具体地，喷头33可以设置于腔室11的侧壁上，且喷头33距腔室11底面的高度可以为腔室11高度的0.6-0.8倍。本实施例中，选取喷头33距腔室11底面的高度为腔室11高度的0.75倍，可以保证气流喷淋在热板2的中心，提高散热效率。

为了进一步提高吹气组件3的冷却效果，喷头33设置于腔室11内，且分头与腔室11的开口位于热板2相对的两侧。为方便介绍，以腔室11的前侧设置有开口为例，喷头33设置于腔室11的后侧，喷头33与开口相对设置，保证了气流流通顺畅，便于气流将热板2的热量散发到腔室11外。

为了保证喷头33具有适合的吹气角度，喷头33的吹气角度可调，使用时，可以调整喷头33的吹气角度，保证喷头33的吹气方向正对热板2的中心，从而提高热板2的冷却效率。具体地，喷头33与管道31可以通过万向管连接。万向管也称为金属定型软管、鹅颈管、蛇形管，是由金属弹簧钢线和镀锌铁线或其他金属线材旋绕包覆而成的复合型金属管，中空外有螺旋纹，管孔内可以穿过一定大小的电线，是一种可以在立体空间中任意弯曲成一定形状并能保持其形状的软管。

由于目的物有多种尺寸，针对较小尺寸(3-4寸)目的物，因承载小尺寸目的物的热板2面积较小，腔室11内可以仅设置一个喷头33，即可进行有效的降温。当的尺寸较大(例如6寸、8寸或12寸)时，为保证热板2的冷却效率以及冷却的均匀性，腔室11内设置的喷头33的数量可以为多个，多个喷头33可以在同一高度内水平分布。由于热板2一般为圆形，多个喷头33可以位于热板2的后侧，并环绕热板2后侧的边缘呈弧形分布，使得气流与热板2均匀接触，提高热板2的冷却效率以及均匀性。

在其他实施例中，腔室11内的喷头33也可以为一个，且喷头33的形状弧形，弧形的喷头33朝向热板2的表面均匀设置有多个喷淋孔。通过将喷头33设置成弧形，弧形的喷头33可以环绕热板2的部分边缘设置，也可以增大气流与热板2的接触面积，从而提高热板2的冷却效率以及冷却均匀性。

本实施例中，如图4所示，吹气组件3中的管道31可以内嵌于腔室11的侧壁内，使得热处理装置结构更加简洁。具体地，腔室11的侧壁内可以设置有夹层，管道31容置在夹层内，且管道31的两端伸出侧壁外，并分别与喷头33和供气装置连接。通过将管道31设置在侧壁的夹层内，可以避免管道31外露，不仅可以使热处理装置简洁、美观，而且还可以保护管道31，提高热处理装置的使用寿命。

为了在某一热处理工艺完成后，对热板2进行冷却，与喷头33连接的管道31上还设置有开关阀32，开关阀32可以控制管道31的通断。当热板2需要冷却时，开关阀32打开，喷头33流动的气流对热板2进行冷却；当热板2不需要冷却或处于热处理工艺过程中时，开关阀32关闭，避免气流影响热板2上目的物的固定。

为了提高热处理装置的智能化，热处理装置还包括控制组件，控制组件与开关阀32电连接，用于控制开关阀32的通断。其中开关阀32可以为电磁阀。

热处理装置还可以包括测温组件，测温组件用于检测热板2的温度，测温组件与控制组件电连接。当吹气组件3工作时，测温组件检测热板2的温度，并向控制组件发送温度信号，当热板2的温度降低至指定温度后，控制组件控制电磁阀关闭，从而控制吹气组件3停止工作，热处理装置可以进入下一热处理工艺。其中，测温组件可以为测温传感器。

为了避免目的物仍在热板2上时，吹气组件3工作而导致目的物位置发生移动，甚至与热板2脱离，热处理装置还包括检测组件，检测组件与控制组件电连接，检测组件用于检测热板2上是否承载有目的物。当检测组件检测到热板2上承载有目的物时，检测组件向控制组件发送信号，控制组件控制电磁阀维持关闭状态，避免吹气组件3工作影响目的物的固定。

具体地，检测组件可以包括位置传感器，位置传感器设置于腔室11内，且位置传感器的信号接收端和信号发射端相对设置，并分别位于目的物的两侧。当目的物位于热板2上时，目的物位于信号接收端和信号发射端之间，目的物阻挡信号发射端与信号接收端之间的信号传递，此时位置传感器向控制组件发送检测信号，控制组件判断目的物位于热板2上，从而控制电磁阀关闭，吹气组件3停止工作。

本实施例中，信号接收端和信号发射端可以设置于腔室11相对的两个侧壁上，且信号接收端和信号发射端与热板2上的目的物位于同一水平面上，当放置在热板2上时，目的物位于信号接收端和信号发射端之间。在其他实施例中，信号发射端可以设置在热板2上，信号接收端可以设置在腔室11的顶面。当目的物放置在热板2上时，目的物遮挡信号发射端，也可以检测到热板2上是否承载目的物。当然，也可以是信号发生端设置在腔室11的顶面，信号接收端设置在热板2上。

为避免腔室11内吹气组件3工作时，目的物被传送至腔室11内，控制系统还可以实时检测吹气组件3的工作状态，只有当吹气组件3停止工作时，才允许目的物的输入或输出。

为提高热处理装置的处理效率，机体1可以设置有多个腔室11，每个腔室11内均设置有一个热板2，且每个腔室11内均设置有喷头33。通过设置多个腔室11，可以提高热处理装置内同时进行热处理目的物的个数，可以提高热处理效率。

为了保证腔室11之间独立工作、不会相互影响，每个腔室11均对应设置有开关阀32，即每个腔室11内喷头33均对应设置有开关阀32控制其通断，不同的腔室11之间的气流通断是独立控制的，保证某一腔室11内热板2进行热处理时，其他腔室11可以根据情况进行冷却。具体地，如图4和图5所示，每个腔室11的喷头22均连接有一个管道31，多个管道31均与开关阀32连接，开关阀32可以独立控制每个管道31的通道，开关阀32连接有接头34，接头34伸出机体1的侧壁外，用于与供气装置连通。其中，供气装置提供的气体可以为车间内干燥压缩空气，从而节省热处理成本。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种热处理装置，包括：

机体(1)，所述机体(1)内设置有腔室(11)，其特征在于，所述腔室(11)具有开口；

热板(2)，所述热板(2)设置于所述腔室(11)内；

吹气组件(3)，所述吹气组件(3)包括喷头(33)，所述喷头(33)设置于所述腔室(11)内，且所述喷头(33)与所述腔室(11)的开口分别位于所述热板(2)相对的两侧。

2.如权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述喷头(33)的吹气角度可调。

3.如权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述吹气组件(3)还包括：管道(31)，所述管道(31)的一端与供气装置连接，另一端与喷头(33)连接；所述管道(31)内嵌于所述腔室(11)的侧壁内，所述管道(31)的两端伸出所述侧壁并分别与所述喷头(33)和所述供气装置连接。

4.如权利要求3所述的热处理装置，其特征在于，所述吹气组件(3)还包括：

开关阀(32)，所述开关阀(32)设置于所述管道(31)上，用于控制所述管道(31)的通断。

5.如权利要求4所述的热处理装置，其特征在于，所述腔室(11)的数量为多个，每个所述腔室(11)均对应设置有所述开关阀(32)。

6.如权利要求4所述的热处理装置，其特征在于，所述热处理装置还包括：

控制组件，所述控制组件控制所述开关阀(32)的开闭。

7.如权利要求6所述的热处理装置，其特征在于，所述热处理装置还包括：

测温组件，所述测温组件用于检测所述热板(2)的温度，所述测温组件与所述控制组件电连接。

8.如权利要求6所述的热处理装置，其特征在于，所述热处理装置还包括：

检测组件，所述检测组件与所述控制组件电连接，所述检测组件用于检测所述热板(2)上是否承载有目的物；所述检测组件包括位置传感器，所述位置传感器设置于所述腔室(11)内，所述位置传感器的信号接收端和信号发射端相对设置，且分别位于所述目的物的两侧。

9.如权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述腔室(11)内设置有多个所述喷头(33)，且多个所述喷头(33)环绕所述热板(2)远离所述开口的一侧边缘分布。

10.一种显影机，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的热处理装置。