CN208172037U - 一种可防撞针卡的探针台 - Google Patents

Abstract

一种可防撞针卡的探针台，涉及探针台技术领域，其探针台包括中心盘装置，中心盘装置用于装取晶圆卡盘，中心盘装置设有用于控制中心盘装置从竖直方向和水平方向之间切换的锁具，测试晶圆时，利用锁具将中心盘装置固定于水平方向，测试完，则扭动开关进行解锁，将中心盘装置从水平方向转到竖直方向，其特征在于：该探针台包括防撞针卡装置，防撞针卡装置包括感应器、顶起装置和控制器，感应器设于中心盘装置，顶起装置设于锁具的一侧，感应器感应晶圆若位于中心盘装置，则控制器控制顶起装置顶住锁具使锁具处于锁定状态，本实用新型的探针台可提高生产效率和减少圆形卡盘撞伤。

Description

一种可防撞针卡的探针台

技术领域

本实用新型涉及探针台技术领域，特别是涉及一种可防撞针卡的探针台。

背景技术

在探针台测试晶圆的过程中，需要将圆形卡盘转到水平方向，放上针卡，伸出探针针卡对晶圆进行测试后，取出针卡，再扭动按钮将圆形卡盘转到竖直位置进行下一步工序，但是，经常因为操作不当，比如在针卡未取出就扭动按钮，圆形卡盘转动的过程中将导致探针针卡撞击机台，而配套的圆形卡盘非常昂贵，因此，操作不当导致机台和探针针卡相互撞击就会造成更大的损失，而且，造成损失的同时，也会对生产效率有着较大的影响。

发明内容

本实用新型的目的在于避免现有技术中的不足之处而提供一种可防撞针卡的探针台，可供软件工程师编程后，进而可实现提高生产效率和减少圆形卡盘撞伤。

本实用新型的目的通过以下技术方案实现：

提供一种可防撞针卡的探针台，探针台包括中心盘装置，中心盘装置用于装取晶圆卡盘，中心盘装置设有用于控制中心盘装置从竖直方向和水平方向之间切换的锁具，测试晶圆时，利用锁具将中心盘装置固定于水平方向，测试完，则扭动开关进行解锁，将中心盘装置从水平方向转到竖直方向，该探针台包括防撞针卡装置，防撞针卡装置包括感应器、顶起装置和控制器，感应器设于中心盘装置，顶起装置设于锁具的一侧，感应器感应晶圆若位于中心盘装置，则控制器控制顶起装置顶住锁具使锁具处于锁定状态。

其中，所述锁具包括第一气缸和连杆，第一气缸的输出杆通过连杆和中心盘装置连接。

其中，中心盘装置设有连杆固定座，第一气缸的输出杆通过连杆和中心盘装置的连杆固定座连接。

其中，所述第一气缸和连杆均设有两个，两个第一气缸对称设置，两个连杆对称设置。

其中，所述顶起装置设为第二气缸，所述第二气缸的输出杆和第一气缸的输出杆相交设置。

其中，所述第二气缸的输出杆和第一气缸的输出杆垂直设置。

其中，所述第二气缸为双作用气缸模块，其一端接气压，另一端接真空。

其中，所述第二气缸通过固定块固定于中心盘装置的背面。

本实用新型的有益效果：本实用新型通过设置感应器、顶起装置和控制器，可供给软件工程师在控制器进行编程，进而实现在感应器感应到中心盘装置还有针卡时，令控制器控制顶起装置顶住锁具使锁具处于锁定状态，这样就可以防止误操作扭动开关而引起的生产事故发生，即在针卡未取走，探针针卡还处于测试位置时就转动中心盘装置，使得中心盘装置的圆形卡盘和探针针卡相撞，进而损坏价格昂贵的针卡，可减少损失和提高生产效率。

附图说明

利用附图对实用新型作进一步说明，但附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制，对于本领域的普通技术人员，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据以下附图获得其它的附图。

图1是本实用新型的一种可防撞针卡的探针台的局部结构示意图。

图中包括有：

中心盘装置1、第一气缸的输出杆2、连杆3、第二气缸的输出杆4、固定块5。

具体实施方式

结合以下实施例对本实用新型作进一步描述。

本实施例的一种可防撞针卡的探针台，如图1所示，探针台包括中心盘装置1，中心盘装置1用于装取晶圆卡盘，中心盘装置1设有用于控制中心盘装置1从竖直方向和水平方向之间切换的锁具，测试晶圆时，利用锁具将中心盘装置1固定于水平方向，取走晶圆以及探针针卡离开测试位后，锁具解锁使得中心盘装置1从水平方向转到竖直方向。

锁具包括两个第一气缸和两个连杆3，两个第一气缸对称设置，两个连杆3对称设置，中心盘装置1设有连杆3固定座，第一气缸的输出杆2通过连杆3和中心盘装置1的连杆3固定座连接，即两个第一气缸的输出杆2均拉紧与各自配对的连杆3，两根连杆3拉紧中心盘装置1，使其固定于水平方向，第一气缸和连杆3均设有两个，且均对称设置，可更好地控制中心盘装置1的转动。

为了避免人员误操作扭动开关而将锁具解锁，导致晶圆未取走，探针针卡仍然处于测试位置，中心盘装置1就从水平方向转到竖直方向而导致探针针卡和圆形卡盘相撞，该探针台设有防撞针卡装置，防撞针卡装置包括感应器(图中未示出)、顶起装置和控制器，顶起装置设为第二气缸，第二气缸通过固定块5固定于中心盘装置1的背面，第二气缸为双作用气缸模块，其一端接气压，另一端接真空，由气压和真空一起控制气缸动作，效果更好，所述第二气缸的输出杆4和其中一个第一气缸的输出杆2相交设置，较优的是第二气缸的输出杆4和第一气缸的输出杆2垂直设置，第二气缸的输出杆4可更好地顶住第一气缸的输出杆2。

感应器设于中心盘装置1，感应器感应晶圆若位于中心盘装置1，则控制器控制第二气缸的输出杆4伸出以顶住第一气缸的输出杆2，使得第一气缸的输出杆2无法伸出，使锁具处于锁定状态，只有在感应器感应到晶圆以及被取走，探针针卡已经离开测试位置，第二气缸的输出杆4才缩回，使得第一气缸的输出杆2可以伸出，锁具解锁，使得中心盘装置1从水平方向转到竖直方向。

本实施例通过设置感应器、顶起装置和控制器，在感应器感应到中心盘装置1还有晶圆时，令控制器控制顶起装置顶住锁具使锁具处于锁定状态，这样就可以防止误操作扭动开关而引起的生产事故发生，即在晶圆未取走，探针针卡还处于测试位置时就转动中心盘装置1，使得中心盘装置1的圆形卡盘和探针针卡相撞，进而损坏价格昂贵的圆形卡盘，可减少损失和提高生产效率。

最后应当说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对本实用新型保护范围的限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型作了详细地说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的实质和范围。

Claims (8)

1.一种可防撞针卡的探针台，探针台包括中心盘装置，中心盘装置用于装取晶圆卡盘，中心盘装置设有用于控制中心盘装置从竖直方向和水平方向之间切换的锁具，测试晶圆时，利用锁具将中心盘装置固定于水平方向，测试完，则扭动开关进行解锁，将中心盘装置从水平方向转到竖直方向，其特征在于：该探针台包括防撞针卡装置，防撞针卡装置包括感应器、顶起装置和控制器，感应器设于中心盘装置，顶起装置设于锁具的一侧，感应器感应晶圆若位于中心盘装置，则控制器控制顶起装置顶住锁具使锁具处于锁定状态。

2.如权利要求1所述的一种可防撞针卡的探针台，其特征在于：所述锁具包括第一气缸和连杆，第一气缸的输出杆通过连杆和中心盘装置连接。

3.如权利要求2所述的一种可防撞针卡的探针台，其特征在于：中心盘装置设有连杆固定座，第一气缸的输出杆通过连杆和中心盘装置的连杆固定座连接。

4.如权利要求2所述的一种可防撞针卡的探针台，其特征在于：所述第一气缸和连杆均设有两个，两个第一气缸对称设置，两个连杆对称设置。

5.如权利要求2所述的一种可防撞针卡的探针台，其特征在于：所述顶起装置设为第二气缸，所述第二气缸的输出杆和第一气缸的输出杆相交设置。

6.如权利要求5所述的一种可防撞针卡的探针台，其特征在于：所述第二气缸的输出杆和第一气缸的输出杆垂直设置。

7.如权利要求5所述的一种可防撞针卡的探针台，其特征在于：所述第二气缸为双作用气缸模块，其一端接气压，另一端接真空。

8.如权利要求5所述的一种可防撞针卡的探针台，其特征在于：所述第二气缸通过固定块固定于中心盘装置的背面。