CN208151470U - 一种减反射镀膜系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及光学镜片加工技术领域，目的在于提供一种减反射镀膜系统。所采用的技术方案是：一种减反射镀膜系统，包括真空室，所述真空室内设置基片安装机构、蒸镀机构，还包括中部设置的烘干机构，所述烘干机构包括安装在真空室侧壁的第一支杆，所述第一支杆的顶端铰接灯罩，所述灯罩内设置有红外线灯；所述蒸镀机构包括由电机驱动的转动盘、电子枪，所述转动盘上环向开设有若干凹槽，所述凹槽内设置有坩埚，所述坩埚与电子枪相对设置，所述转动盘的周侧安装有若干感应杆，所述第二支杆上设置与感应杆适配的位置传感器。本实用新型可快速完成多层减反光膜镀设，生产效率高。

Description

一种减反射镀膜系统

技术领域

本实用新型涉及光学镜片加工技术领域，具体涉及一种减反射镀膜系统。

背景技术

光学镜片加工一般需要经过铣磨、精磨、抛光、镀膜等流程，其中镀膜是镜片加工中重要的步骤。由于镜片的前表面产生的反光产生虚像、炫光等现象，需要对镜片镀减反射膜。在进行真空镀膜时，通常将基片安装在真空室顶部，待真空室抽成真空后，再加热坩埚使高纯度的靶材融合并蒸发或升华，原子团或离子形式的靶材以冷凝方式沉积在基片表面，由此实现基片的镀膜。

镀多层减反射膜可使镜片的减反射效果大大提高，现有技术中，多层镀膜通常逐次进行，如在第一层膜镀好后，将真空室打开，更换坩埚以及坩埚内的靶材，取出镜片将其干燥后，再放入真空室内镀设第二层膜，依此类推。现有技术中镀设多层减反光膜需要进行多次抽真空、更换坩埚等步骤，造成浪费资源的同时，生产效率低下。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种快速完成多层减反光膜镀设的减反射镀膜系统。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种减反射镀膜系统，包括设置在安装架上的真空室，所述真空室内的顶部设置基片安装机构、底部设置蒸镀机构，还包括中部设置的烘干机构，所述烘干机构包括安装在真空室侧壁的第一支杆，所述第一支杆的顶端铰接灯罩，所述灯罩内设置有红外线灯，所述灯罩朝向基片安装机构；所述蒸镀机构包括由电机驱动的转动盘、固定在第二支杆上的电子枪，所述转动盘安装在电机的转轴上，所述第二支杆安装在真空室的底板上，所述转动盘上环向开设有若干凹槽，所述凹槽内设置有坩埚，所述坩埚与电子枪相对设置，所述转动盘的周侧配合凹槽安装有若干感应杆，所述第二支杆上设置与感应杆适配的位置传感器，所述位置传感器的感应端朝向感应杆。

优选的，所述转轴通过法兰与转动盘的中心连接。

优选的，所述凹槽为对称设置的四个。

优选的，所述烘干机构为对称设置的两组。

优选的，所述电机、位置传感器、红外线灯受智能控制器的控制。

本实用新型的有益效果集中体现在，能够快速完成多层减反光膜镀设，生产效率高。具体来说，本实用新型在使用时，首先将不同靶材按镀设顺序依次放入对应的坩埚内，起始位置时，第一种靶材所在的坩埚与电子枪相对，位置由感应杆和位置传感器进行确定，随后启动整个设备，进行第一层膜的镀设，待首层膜镀设完毕后，红外线灯启动进行镀膜的烘干，与此同时，转动盘在电机的驱动下转动，待后一个感应杆运行至位置传感器的对应位置时，电机关闭，使第二种靶材所在的坩埚与电子枪相对，待第一层镀膜烘干完毕后，电子枪启动进行第二层膜的镀设，依此类推，直到完成全部减反光膜的镀设。由于每层膜镀设完毕后即通过烘干机构进行烘干，蒸镀机构进行不同靶材的转换，避免了多层镀膜时重复打开仓门，进行抽真空、人工换靶材等程序，可快速完成多层减反光膜的镀设，生产效率更高，具有很好的实施效果。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型中转动盘的俯视图。

具体实施方式

下面结合附图1和2进一步阐述本实用新型。

一种减反射镀膜系统，包括设置在安装架1上的真空室2，所述真空室2内的顶部设置基片安装机构、底部设置蒸镀机构3，如图1所示，还包括中部设置的烘干机构4。所述烘干机构4包括安装在真空室2侧壁的第一支杆41，所述第一支杆41的顶端铰接灯罩42，所述灯罩42内设置有红外线灯43，所述灯罩42朝向基片安装机构。需要说明的是，用红外线灯43烘烤，可快速干燥减反光膜，同时让膜深度渗透，经烘烤后的镀膜硬度大大增加，还能对膜面进行持久的保护。

如图1所示，所述蒸镀机构3包括由电机35驱动的转动盘31、固定在第二支杆32上的电子枪33，所述转动盘31安装在电机35的转轴34上，所述第二支杆32安装在真空室2的底板上，如图2所示，所述转动盘31上环向开设有若干凹槽，所述凹槽内设置有坩埚36，所述坩埚36与电子枪33相对设置，所述转动盘31的周侧配合凹槽安装有若干感应杆37，所述第二支杆32上设置与感应杆37适配的位置传感器38，所述位置传感器38的感应端朝向感应杆37。需要说明的是，在使用时，可将不同的靶材按镀设顺序，由转动盘31的转动方向依次放入坩埚36内，由此在镀膜过程中，转动盘31每转动一下，后一层镀膜靶材所在的坩埚36位置即于电子枪33相对。

下面阐述一下本实用新型的实施方式。本实用新型在使用时，首先将不同靶材按镀设顺序依次放入对应的坩埚36内，起始位置时，第一种靶材所在的坩埚36与电子枪33相对，位置由感应杆37和位置传感器38进行确定，随后启动整个设备，进行第一层膜的镀设，待首层膜镀设完毕后，红外线灯43启动进行镀膜的烘干，与此同时，转动盘31在电机35的驱动下转动，待后一个感应杆37运行至位置传感器38的对应位置时，电机35关闭，使第二种靶材所在的坩埚36与电子枪33相对，待第一层镀膜烘干完毕后，电子枪33启动进行第二层膜的镀设，依此类推，直到完成全部减反光膜的镀设。由于每层膜镀设完毕后即通过烘干机构4进行烘干，蒸镀机构3进行不同靶材的转换，避免了多层镀膜时重复打开仓门，进行抽真空、人工换靶材等程序，可快速完成多层减反光膜的镀设，生产效率更高，具有很好的实施效果。

进一步的，所述转轴34通过法兰39与转动盘31的中心连接。

进一步的，所述凹槽为对称设置的四个，也可为五个、六个等，可按镀膜层数的不同来确定。

进一步的，所述烘干机构4为对称设置的两组。

进一步的，所述电机35、位置传感器38、红外线灯43受智能控制器的控制。

虽然以上描述了本实用新型的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，在不背离本实用新型的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本实用新型的保护范围。

Claims (5)

1.一种减反射镀膜系统，包括设置在安装架（1）上的真空室（2），所述真空室（2）内的顶部设置基片安装机构、底部设置蒸镀机构（3），其特征在于：还包括中部设置的烘干机构（4），所述烘干机构（4）包括安装在真空室（2）侧壁的第一支杆（41），所述第一支杆（41）的顶端铰接灯罩（42），所述灯罩（42）内设置有红外线灯（43），所述灯罩（42）朝向基片安装机构；所述蒸镀机构（3）包括由电机（35）驱动的转动盘（31）、固定在第二支杆（32）上的电子枪（33），所述转动盘（31）安装在电机（35）的转轴（34）上，所述第二支杆（32）安装在真空室（2）的底板上，所述转动盘（31）上环向开设有若干凹槽，所述凹槽内设置有坩埚（36），所述坩埚（36）与电子枪（33）相对设置，所述转动盘（31）的周侧配合凹槽安装有若干感应杆（37），所述第二支杆（32）上设置与感应杆（37）适配的位置传感器（38），所述位置传感器（38）的感应端朝向感应杆（37）。

2.根据权利要求1所述的一种减反射镀膜系统，其特征在于：所述转轴（34）通过法兰（39）与转动盘（31）的中心连接。

3.根据权利要求2所述的一种减反射镀膜系统，其特征在于：所述凹槽为对称设置的四个。

4.根据权利要求3所述的一种减反射镀膜系统，其特征在于：所述烘干机构（4）为对称设置的两组。

5.根据权利要求4所述的一种减反射镀膜系统，其特征在于：所述电机（35）、位置传感器（38）、红外线灯（43）受智能控制器的控制。