CN220926903U - 一种可修正镀膜厚度均匀性的蒸发设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种可修正镀膜厚度均匀性的蒸发设备，属于真空镀膜技术领域，包括真空腔体，真空腔体的下端固定连接有蒸发源，电机固定连接在真空腔体的上端，电机的输出端固定连接有公转吊具，公转吊具上开设有多个安装槽，基板分别嵌入对应的安装槽；公转吊具上端沿着周向等间距连接有与安装槽一一对应的阻挡组件，阻挡组件与基板的顶部连接；真空腔体的腔体内壁上沿着周向等间距固定连接有防着板，真空腔体的左右两侧均开设有连接孔，真空腔体在连接孔内安装有挡料组件。通过上述方式，本实用新型可以根据不同基板更换不同的修正挡板的形状，从而保证每一层蒸发镀膜的均匀性。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种可修正镀膜厚度均匀性的蒸发设备。
背景技术
蒸发镀膜技术始于20世纪早期，经过数十年的发展，蒸发镀膜技术目前广泛用于装饰、通讯、光学和半导体等领域。真空镀膜技术是指在真空环境中，使金属等材料通过物理或者化学沉积手段在产品物件的表面并产生一层均匀的薄膜，以达到增强产品的抗腐蚀性、美观性以及改善产品的光学性能等目的。蒸发镀膜技术因其原理简单，沉积速率快，是目前较为主流的镀膜技术。
中国实用新型CN208776825U公开了一种旋转工位真空蒸发镀膜机，包括真空室，真空室内壁间隔设有两道与真空室上底面及下底面连接挡板，挡板朝真空室中心一面弧形凸起并对称设有两导向斜面，两挡板之间形成镀膜工位，镀膜工位下表面安装有蒸发源；真空室顶部安装有与转筒连接的主电机，转筒侧面安装若干导杆，每一导杆端部滑动套装有可伸入至镀膜工位的工件安装板，工件安装板上开孔安装有轴承，轴承内安装有正对蒸发源的工件放置块；工件放置块下表面用于固定工件，转动过程中，工件安装板会与挡板的导向斜面接触，沿导向斜面移动，并在导杆上前后移动，弹簧控制伸缩与复位。
但是该专利转动时，工件安装板会与挡板的导向斜面接触，沿导向斜面移动，并在导杆上前后移动，移动时，工件放置块下表面的工件可能会因为旋转和移动脱离工件放置块，同时，因为挡板与真空室上底面及下底面固定连接，两挡板之间形成镀膜工位，镀膜工位下表面安装有蒸发源，镀膜时，可能会将工件放置块也一起镀膜，然后在下一次转动时，被斜面刮落到真空室中，堵塞蒸发源。
基于此，本实用新型设计了一种可修正镀膜厚度均匀性的蒸发设备以解决上述问题。
实用新型内容
针对现有技术所存在的上述缺点，本实用新型提供了一种可修正镀膜厚度均匀性的蒸发设备。
为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：
一种可修正镀膜厚度均匀性的蒸发设备，包括真空腔体；
真空腔体的下端内壁上固定连接有蒸发源，电机固定连接在真空腔体的上端，电机的输出端固定连接有公转吊具，公转吊具上开设有多个安装槽，基板分别嵌入对应的安装槽；
公转吊具上端沿着周向等间距连接有与安装槽一一对应的阻挡组件，阻挡组件与基板的顶部连接；
真空腔体的腔体内壁上沿着周向等间距固定连接有防着板，多个防着板依次接触连接；
真空腔体的侧壁上开设有多个连接孔，连接孔与真空腔体的空腔连通，真空腔体在连接孔内安装有挡料组件；
真空腔体的右端下侧开设有真空抽气口，外部的真空泵通过真空抽气口与真空腔体的内腔连通。
更进一步的，真空腔体内底部安装有加热装置，且蒸发源位于加热装置内。
更进一步的，所述阻挡组件包括挡板、固定座、扭簧和连接杆，公转吊具上端均固定连接有多个连接杆，连接杆的下端均转动连接有固定座，固定座侧壁上固定连接有挡板，扭簧的一端与连接杆固定连接，扭簧的另一端与固定座固定连接。
更进一步的，挡板与基板贴合接触。
更进一步的，挡板位于安装槽的正上方。
更进一步的，所述挡料组件包括修正挡板、升降气缸、波纹管、真空法兰、升降支杆和快连组件，升降气缸的外壳内端固定连接有波纹管，波纹管的内端固定连接有真空法兰，波纹管及真空法兰均安装于真空腔体外侧且真空法兰的内端与真空腔体固定连接，升降气缸的驱动端与升降支杆连接，真空法兰与升降支杆连接，升降支杆与快连组件连接，快连组件与修正挡板连接。
更进一步的，所述升降支杆包括支撑杆和连接块，升降支杆的驱动端与连接块的外端转动连接，连接块的内端与快连组件连接，支撑杆的一端固定连接在真空法兰的内端，支撑杆的另一端与快连组件连接。
更进一步的，所述快连组件包括锁紧件、滑轨和滑块，连接块的内端与滑块的外端转动连接，支撑杆的内端与滑块的外端端部转动连接，滑块与滑轨滑动连接，滑轨固定连接在修正挡板的上方，锁紧件与滑块螺纹连接，锁紧时，锁紧件的内端与滑轨贴合接触。
更进一步的，真空腔体内安装有膜厚仪。
更进一步的，连接孔为圆孔。
有益效果
本实用新型工作时，将基板放入安装槽内，打开外部的真空泵将真空腔体抽至真空状态，启动电机，电机带动公转吊具转动，公转吊具带动基板转动，公转吊具始终以恒定转速进行旋转，打开蒸发源和加热装置对材料进行加热蒸发，产生蒸发物质，在需要复合镀膜时，调节其中的一个挡料组件，进行某一材料的镀膜，调节另一个挡料组件，进行另一种材料的镀膜，直至完成全部镀膜要求；
本实用新型的防着板保证真空腔体内部的洁净，从而保证工艺的顺利进行，同时还防止蒸发的材料沾染到真空腔体上，然后掉落在蒸发源上，堵塞蒸发源；
本实用新型安装基板时，转动阻挡组件的挡板，转动到偏离安装槽的正上方，将基板从上方放入安装槽，松开挡板，在扭簧的弹性作用下挡板回到安装槽的正上方，在安装槽和挡板的共同作用下，对基板进行限位；
在需要复合镀膜时，启动其中一侧挡料组件的升降气缸，升降气缸带动连接块移动，在支撑杆、连接块和滑块的共同作用下，修正挡板移动到水平状态，这时另外的修正挡板处于竖直状态，不对蒸发物质起作用，在水平修正挡板的作用下进行某一材料的镀膜，再调节另一个挡料组件的升降气杆，进行另一种材料的镀膜，直至完成全部镀膜要求；
根据所要蒸发材料的蒸发速率来更换挡料组件的修正挡板时，转松快连组件的锁紧件，使得滑轨和滑块脱离，将滑块插入新的修正挡板上的滑轨，拧紧锁紧件，完成更换；
波纹管及真空法兰安装于真空腔体外侧，保证了真空腔体内的真空环境，能够针对不同材料，更换不同的修正挡板的形状，从而保证每一层蒸发镀膜的均匀性，可升降修正挡板进一步的保证镀膜的均匀性。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型的一种可修正镀膜厚度均匀性的蒸发设备结构图；
图2为本实用新型的一种可修正镀膜厚度均匀性的蒸发设备结构正视图；
图3为本实用新型的一种可修正镀膜厚度均匀性的蒸发设备的挡料组件结构立体图一；
图4为本实用新型的一种可修正镀膜厚度均匀性的蒸发设备的挡料组件结构立体图二；
图5为本实用新型的一种可修正镀膜厚度均匀性的蒸发设备的阻挡组件结构立体图一。
图中的标号分别代表：
1、基板；2、真空腔体；3、修正挡板；4、蒸发源；5、真空抽气口；6、蒸发物质；7、膜厚仪；8、公转吊具；9、阻挡组件；91、挡板；92、固定座；93、扭簧；94、连接杆；10、防着板；11、升降气缸；12、波纹管；13、真空法兰；14、升降支杆；141、支撑杆；142、连接块；15、快连组件；151、锁紧件；152、滑轨；153、滑块；16、连接孔；17、安装槽；18、电机。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
下面结合实施例对本实用新型作进一步的描述。
实施例1
请参阅说明书附图1-5，一种可修正镀膜厚度均匀性的蒸发设备，包括真空腔体2；
真空腔体2的下端内壁上固定连接有蒸发源4，电机18固定连接在真空腔体2的上端，电机18的驱动端固定连接有公转吊具8，公转吊具8上开设有多个安装槽17，基板1分别嵌入对应的安装槽17；
公转吊具8上端沿着周向等间距连接有与安装槽17一一对应的阻挡组件9，阻挡组件9与基板1的顶部连接；
真空腔体2的腔体内壁上沿着周向等间距固定连接有防着板10，多个防着板10依次接触连接；
真空腔体2的左右两侧均开设有连接孔16，连接孔16与真空腔体2的空腔连通，真空腔体2在连接孔16内安装有挡料组件；
真空腔体2的右端下侧开设有真空抽气口5，外部的真空泵通过真空抽气口5与真空腔体2的内腔连通；
优选的，真空腔体2内底部安装有加热装置，且蒸发源4位于加热装置内，能对材料进行加热，使材料气化为蒸发物质6；
将基板1放入安装槽17内，打开外部的真空泵将真空腔体2抽至真空状态，启动电机18，电机18带动公转吊具8转动，公转吊具8带动基板1转动，公转吊具8始终以恒定转速进行旋转，打开蒸发源4和加热装置对材料进行加热蒸发，产生蒸发物质6，在需要复合镀膜时，调节其中的一个挡料组件，进行某一材料的镀膜，调节另一个挡料组件，进行另一种材料的镀膜，直至完成全部镀膜要求；
防着板10保证真空腔体2内部的洁净，从而保证工艺的顺利进行，同时还防止蒸发的材料沾染到真空腔体2上，然后掉落在蒸发源4上，堵塞蒸发源4；
所述阻挡组件9包括挡板91、固定座92、扭簧93和连接杆94，公转吊具8上端均固定连接有多个连接杆94，连接杆94的下端均转动连接有固定座92，固定座92侧壁上固定连接有挡板91，扭簧93的一端与连接杆94固定连接，扭簧93的另一端与固定座92固定连接；
优选的，挡板91与基板1贴合接触；
优选的；挡板91位于安装槽17的正上方；
安装基板1时，转动阻挡组件9的挡板91，转动到偏离安装槽17的正上方，将基板1从上方放入安装槽17，松开挡板91，在扭簧93的弹性作用下挡板91回到安装槽17的正上方，在安装槽17和挡板91的共同作用下，对基板1进行限位；
所述挡料组件包括修正挡板3、升降气缸11、波纹管12、真空法兰13、升降支杆14和快连组件15，升降气缸11的外壳内端固定连接有波纹管12，波纹管12的内端固定连接有真空法兰13，波纹管12及真空法兰13均安装于真空腔体2外侧且真空法兰13的内端与真空腔体2固定连接，升降气缸11的驱动端与升降支杆14连接，真空法兰13与升降支杆14连接，升降支杆14与快连组件15连接，快连组件15与修正挡板3连接；
所述升降支杆14包括支撑杆141和连接块142，升降支杆14的驱动端与连接块142的外端转动连接，连接块142的内端与快连组件15连接，支撑杆141的一端固定连接在真空法兰13的内端，支撑杆141的另一端与快连组件15连接；
所述快连组件15包括锁紧件151、滑轨152和滑块153，连接块142的内端与滑块153的外端转动连接，支撑杆141的内端与滑块153的外端端部转动连接，滑块153与滑轨152滑动连接，滑轨152固定连接在修正挡板3的上方；锁紧件151与滑块153螺纹连接，锁紧时，锁紧件151的内端与滑轨152贴合接触；
在需要复合镀膜时，启动其中一侧挡料组件的升降气缸11，升降气缸11带动连接块142移动，在支撑杆141、连接块142和滑块153的共同作用下，修正挡板3移动到水平状态，这时另外的修正挡板3处于竖直状态，不对蒸发物质6起作用，在水平修正挡板3的作用下进行某一材料的镀膜，再调节另一个挡料组件的升降气杆11，进行另一种材料的镀膜，直至完成全部镀膜要求；
根据所要蒸发材料的蒸发速率来更换挡料组件的修正挡板3时，转松快连组件15的锁紧件151，使得滑轨152和滑块153脱离，将滑块153插入新的修正挡板3上的滑轨152，拧紧锁紧件151，完成更换；
波纹管12及真空法兰13安装于真空腔体外侧，保证了真空腔体2内的真空环境，能够针对不同材料，更换不同的修正挡板3的形状，从而保证每一层蒸发镀膜的均匀性，可升降修正挡板3进一步的保证镀膜的均匀性。
实施例2
在一些实施例中，如图1-5所示，作为本实用新型的一种优选实施例，优选的，真空腔体2内安装有膜厚仪7；
可以通过膜厚仪7检测基板1上镀膜的厚度。
实施例3
在一些实施例中，如图1-5所示，作为本实用新型的一种优选实施例，优选的，连接孔16为圆孔。
以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不会使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (10)
1.一种可修正镀膜厚度均匀性的蒸发设备，包括真空腔体(2)，其特征在于：
真空腔体(2)的下端内壁上固定连接有蒸发源(4)，电机(18)固定连接在真空腔体(2)的上端，电机(18)的驱动端固定连接有公转吊具(8)，公转吊具(8)上开设有多个安装槽(17)，基板(1)分别嵌入对应的安装槽(17)；
公转吊具(8)上端沿着周向等间距连接有与安装槽(17)一一对应的阻挡组件(9)，阻挡组件(9)与基板(1)的顶部连接；
真空腔体(2)的腔体内壁上沿着周向等间距固定连接有防着板(10)，多个防着板(10)依次接触连接；
真空腔体(2)的侧壁上开设有多个连接孔(16)，连接孔(16)与真空腔体(2)的空腔连通，真空腔体(2)在连接孔(16)内安装有挡料组件；
真空腔体(2)的右端下侧开设有真空抽气口(5)，外部的真空泵通过真空抽气口(5)与真空腔体(2)的内腔连通。
2.根据权利要求1所述的可修正镀膜厚度均匀性的蒸发设备，其特征在于，真空腔体(2)内底部安装有加热装置，且蒸发源(4)位于加热装置内。
3.根据权利要求2所述的可修正镀膜厚度均匀性的蒸发设备，其特征在于，所述阻挡组件(9)包括挡板(91)、固定座(92)、扭簧(93)和连接杆(94)，公转吊具(8)上端均固定连接有多个连接杆(94)，连接杆(94)的下端均转动连接有固定座(92)，固定座(92)侧壁上固定连接有挡板(91)，扭簧(93)的一端与连接杆(94)固定连接，扭簧(93)的另一端与固定座(92)固定连接。
4.根据权利要求3所述的可修正镀膜厚度均匀性的蒸发设备，其特征在于，挡板(91)与基板(1)贴合接触。
5.根据权利要求4所述的可修正镀膜厚度均匀性的蒸发设备，其特征在于，挡板(91)位于安装槽(17)的正上方。
6.根据权利要求5所述的可修正镀膜厚度均匀性的蒸发设备，其特征在于，所述挡料组件包括修正挡板(3)、升降气缸(11)、波纹管(12)、真空法兰(13)、升降支杆(14)和快连组件(15)，升降气缸(11)的外壳内端固定连接有波纹管(12)，波纹管(12)的内端固定连接有真空法兰(13)，波纹管(12)及真空法兰(13)均安装于真空腔体(2)外侧且真空法兰(13)的内端与真空腔体(2)固定连接，升降气缸(11)的驱动端与升降支杆(14)连接，真空法兰(13)与升降支杆(14)连接，升降支杆(14)与快连组件(15)连接，快连组件(15)与修正挡板(3)连接。
7.根据权利要求6所述的可修正镀膜厚度均匀性的蒸发设备，其特征在于，所述升降支杆(14)包括支撑杆(141)和连接块(142)，升降支杆(14)的驱动端与连接块(142)的外端转动连接，连接块(142)的内端与快连组件(15)连接，支撑杆(141)的一端固定连接在真空法兰(13)的内端，支撑杆(141)的另一端与快连组件(15)连接。
8.根据权利要求7所述的可修正镀膜厚度均匀性的蒸发设备，其特征在于，所述快连组件(15)包括锁紧件(151)、滑轨(152)和滑块(153)，连接块(142)的内端与滑块(153)的外端转动连接，支撑杆(141)的内端与滑块(153)的外端端部转动连接，滑块(153)与滑轨(152)滑动连接，滑轨(152)固定连接在修正挡板(3)的上方，锁紧件(151)与滑块(153)螺纹连接，锁紧时，锁紧件(151)的内端与滑轨(152)贴合接触。
9.根据权利要求8所述的可修正镀膜厚度均匀性的蒸发设备，其特征在于，真空腔体(2)内安装有膜厚仪(7)。
10.根据权利要求9所述的可修正镀膜厚度均匀性的蒸发设备，其特征在于，连接孔(16)为圆孔。
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Cited By (1)
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| CN118374774A (zh) * | 2024-06-24 | 2024-07-23 | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 | 一种材料均匀散发的真空镀膜机 |
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2023
- 2023-09-15 CN CN202322505544.0U patent/CN220926903U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN118374774A (zh) * | 2024-06-24 | 2024-07-23 | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 | 一种材料均匀散发的真空镀膜机 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |