CN208104515U - 一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，包括第一芯轴、第二芯轴和背管锁紧装置，第一芯轴的内端部活动插接于第二芯轴的内端部，以实现调节第一芯轴和第二芯轴的总长度；第一芯轴的内端部或第二芯轴的内端部设置有芯轴锁紧装置，用于将第一芯轴锁紧于第二芯轴；第一芯轴的外端部和第二芯轴的外端部分别安装有一背管锁紧装置，其中的芯轴具有伸缩结构，能够适用于不同长度的基材背管，结构简单且冷却效果好。

Description

一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具

技术领域

本实用新型涉及旋转靶材的工装夹具的技术领域，尤其是涉及一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具。

背景技术

目前，旋转靶材常用不锈钢管作为基材背管，使用等离子喷涂机制备靶材，喷涂作业的过程中需要对背管进行冷却，背管还需要保持旋转，一般采用的办法是，在背管内套装一根钢管，两端用螺母固定，然后在钢管中通入冷却水，通过钢管管壁的热传导对背管进行冷却，此办法存在冷却效果不理想、靶材涂层容易开裂和容易损伤背管内壁的密封面的问题，影响了产品的成品率和质量，而在加工不同长度的靶材背管时，由于工装夹具的装夹长度是固定的，每一个工装夹具只能装夹一种长度规格的背管，对于不同长度规格的背管不能通用，因此，对于每一种不同长度规格的旋转靶材的背管都需要定制一套专用工装夹具，生产车间需准备的工装夹具的数量非常多，十分浪费，因此有必要予以改进。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的第一目的是提供一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，其中的芯轴具有伸缩结构，能够适用于不同长度的基材背管，结构简单，具有较强的通用性。

针对现有技术存在的不足，本实用新型的第二目的是提供一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，能够装夹不同长度的基材背管，装夹长度的调节和装夹过程的拆装都很方便，且具有较好的冷却效果。

一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，包括第一芯轴、第二芯轴和背管锁紧装置，第一芯轴的内端部活动插接于第二芯轴的内端部，以实现调节第一芯轴和第二芯轴的总长度；第一芯轴的内端部或第二芯轴的内端部设置有芯轴锁紧装置，用于将第一芯轴锁紧于第二芯轴；第一芯轴的外端部和第二芯轴的外端部分别安装有一背管锁紧装置，具有伸缩功能的芯轴，能够适用于不同长度的靶材背管。

在进一步的技术方案中，该芯轴锁紧装置包括成型于该第一芯轴内端部的凹部、成型于该第二芯轴内端部的凸部和定位螺丝杆，凸部活动插设于凹部；在凹部的开口端开设有定位螺孔，定位螺孔贯穿凹部的内壁和外壁，定位孔中螺接有一定位螺丝杆，定位螺丝杆的前端活动抵顶于凸部，用于将第一芯轴锁紧于第二芯轴。

该背管锁紧装置包括紧固螺母和用于夹紧靶材背管的压紧环，该第一芯轴和第二芯轴的外端部分别成型有肩位，位于第一芯轴和第二芯轴的两个肩位分别活动套设有一压紧环，压紧环的前端朝第一芯轴和第二芯轴的内端部方向延伸设定长度，紧固螺母螺栓连接于第一芯轴和第二芯轴的外端部并且抵顶于压紧环的后端。

在进一步的技术方案中，该背管锁紧装置的内端部设置有密封机构，包括挡水环、小密封圈和大密封圈，该第一芯轴和第二芯轴的外端部分别开设有安装肩位，安装肩位分别活动套设有一挡水环，小密封圈紧密套设于挡水环的安装肩位的底部，挡水环的内侧紧密抵压于小密封圈；

挡水环的外壁开设有防漏肩位，大密封圈紧密套设于防漏肩位的底部，该压紧环的前端与防漏肩位间隙配合并紧密抵压于大密封圈，防漏肩位的宽度比大密封圈的径宽略小，用于密封夹紧相应靶材背管的内壁，小密封圈和大密封圈优选为橡胶一体成型的橡胶密封圈，大密封圈受挤压后，其径宽增大，以紧密抵压至相应靶材背管的内壁，在该背管工装夹具进行喷涂工作时，其温度上升，致使小密封圈和大密封圈体积膨胀，进一步夹紧相应靶材背管的内壁和增加其密封性。

在进一步的技术方案中，该第一芯轴和第二芯轴的内端部或中部分别设置有一尼龙环，用于防止相应靶材背管安装于该背管工装夹具时发生刚性碰撞。

在进一步的技术方案中，该第一芯轴的内部和该第二芯轴的内部沿其轴向方向都开设有一接水管道，接水管道仅贯穿第一芯轴和第二芯轴的外侧端，第一芯轴和第二芯轴都至少分别开设有一径向通孔，径向通孔沿其径向方向分别贯穿第一芯轴和第二芯轴并穿过接水管道，径向通孔位于该尼龙环和该小密封圈之间。

在进一步的技术方案中，该背管锁紧装置包括保护套，保护套分别安装于该第一芯轴和第二芯轴的外端部，保护套设置为“U”截面的环套，保护套的外环的径宽比相应靶材背管的外径略大，保护套的外环朝第一芯轴和第二芯轴的内端部延伸设定长度，用于覆盖遮蔽相应靶材背管的端部；在保护套的外环或内环中设置有轴向调节机构，用于调节保护套的外环相对相应靶材背管的端部的覆盖面积。

采用上述结构后，本实用新型和现有技术相比所具有的优点是：

1.本实用新型通过对插配合的第一芯轴和第二芯轴实现调节总装夹长度，具有调节总装夹长度的功能，能够装夹不同长度规格的靶材背管；

2.本实用新型中，通过简单的结构改造能够使冷却水和相应靶材背管的内壁直接接触，冷却效果好；

3.本实用新型的两端部设置有具有调节遮蔽长度的保护套，实用方便，适应不同的产品生产规格。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的截面图；

图2是图1中的A处放大图。

图中：

1-第一芯轴、11-接水管道、111-接水口、12-保护套、13-紧固螺母、14-

压紧环、15-小密封圈、16-大密封圈、17-挡水环、171-防漏肩位、18-径

向通孔、19-尼龙环；

2-第二芯轴、21-定位螺孔；

3-靶材背管。

具体实施方式

以下所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不因此而限定本实用新型的保护范围。

实施例，见图1和图2所示，一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，包括第一芯轴1、第二芯轴2和背管锁紧装置，第一芯轴1的内端部活动插接于第二芯轴2的内端部，以实现调节第一芯轴1和第二芯轴2的总长度；第一芯轴1的内端部或第二芯轴2的内端部设置有芯轴锁紧装置，用于将第一芯轴1锁紧于第二芯轴2；第一芯轴1的外端部和第二芯轴2的外端部分别安装有一背管锁紧装置。

上述芯轴锁紧装置包括成型于上述第一芯轴1内端部的凹部、成型于上述第二芯轴2内端部的凸部和定位螺丝杆21，凸部活动插设于凹部；在凹部的开口端开设有定位螺孔，定位螺孔贯穿凹部的内壁和外壁，定位孔中螺接有一定位螺丝杆21，定位螺丝杆21的前端活动抵顶于凸部，用于将第一芯轴1锁紧于第二芯轴2。

上述背管锁紧装置包括紧固螺母13和用于夹紧靶材背管3的压紧环14，上述第一芯轴1和第二芯轴2的外端部分别成型有肩位，位于第一芯轴1和第二芯轴2的两个肩位分别活动套设有一压紧环14，压紧环14的前端朝第一芯轴1和第二芯轴2的内端部方向延伸设定长度，具体长度设定为10cm，紧固螺母13螺栓连接于第一芯轴1和第二芯轴2的外端部并且抵顶于压紧环14的后端。

上述背管锁紧装置的内端部设置有密封机构，包括挡水环17、小密封圈15和大密封圈16，上述第一芯轴1和第二芯轴2的外端部分别开设有安装肩位，安装肩位分别活动套设有一挡水环17，小密封圈15紧密套设于挡水环17的安装肩位的底部，挡水环17的内侧紧密抵压于小密封圈15；挡水环17的外壁开设有防漏肩位171，大密封圈16紧密套设于防漏肩位171的底部，上述压紧环14的前端与防漏肩位171间隙配合并紧密抵压于大密封圈16，防漏肩位171的宽度比大密封圈16的径宽略小，用于密封夹紧相应靶材背管3的内壁。

上述第一芯轴1和第二芯轴2的内端部或中部分别设置有一尼龙环19，用于防止相应靶材背管3安装于上述背管工装夹具时发生刚性碰撞。

上述第一芯轴1的内部和上述第二芯轴2的内部沿其轴向方向都开设有一接水管道11，接水管道11仅贯穿第一芯轴1和第二芯轴2的外侧端，第一芯轴1和第二芯轴2都至少分别开设有一径向通孔18，径向通孔18沿其径向方向分别贯穿第一芯轴1和第二芯轴2并穿过接水管道11，径向通孔18位于上述尼龙环19和上述小密封圈15之间。

上述背管锁紧装置包括保护套12，保护套12分别安装于上述第一芯轴1和第二芯轴2的外端部，保护套12设置为“U”截面的环套，保护套12的外环的径宽比相应靶材背管3的外径略大，保护套12的外环朝第一芯轴1和第二芯轴2的内端部延伸设定长度，用于覆盖遮蔽相应靶材背管3的端部；保护套12的内环设置有轴向调节机构，用于调节保护套12的外环相对相应靶材背管3的端部的覆盖面积。

本实施例的具体操作如下：根据背管长度调节上述第一芯轴1和第二芯轴2的总长度；把第一芯轴1和第二芯轴2放置到背管内；依次在芯轴1两端安装小密封圈15、挡水环17、大密封圈16、压紧环14和紧固螺母13；安装两端保护套12，根据生产需要调节遮蔽长度；把装好夹具的背管安装到机台上，把其两端接水口111分别固定在三爪盘和承轴固定的尾座上；在其中一接水口111接上出水管和另一接水口111接上进水管以及可旋转水封；启动等离子喷涂机进行喷涂工作。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (7)

1.一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，包括第一芯轴(1)、第二芯轴(2)和背管锁紧装置，其特征在于：

第一芯轴(1)的内端部活动插接于第二芯轴(2)的内端部，以实现调节第一芯轴(1)和第二芯轴(2)的总长度；

第一芯轴(1)的内端部或第二芯轴(2)的内端部设置有芯轴锁紧装置，用于将第一芯轴(1)锁紧于第二芯轴(2)；

第一芯轴(1)的外端部和第二芯轴(2)的外端部分别安装有一背管锁紧装置。

2.根据权利要求1所述的一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，其特征在于：所述芯轴锁紧装置包括成型于所述第一芯轴(1)内端部的凹部、成型于所述第二芯轴(2)内端部的凸部和定位螺丝杆(21)，

凸部活动插设于凹部；

在凹部的开口端开设有定位螺孔，定位螺孔贯穿凹部的内壁和外壁，定位孔中螺接有一定位螺丝杆(21)，定位螺丝杆(21)的前端活动抵顶于凸部，用于将第一芯轴(1)锁紧于第二芯轴(2)。

3.根据权利要求2所述的一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，其特征在于：所述背管锁紧装置包括紧固螺母(13)和用于夹紧靶材背管(3)的压紧环(14)，

所述第一芯轴(1)和第二芯轴(2)的外端部分别成型有肩位，位于第一芯轴(1)和第二芯轴(2)的两个肩位分别活动套设有一压紧环(14)，压紧环(14)的前端朝第一芯轴(1)和第二芯轴(2)的内端部方向延伸设定长度，

紧固螺母(13)螺栓连接于第一芯轴(1)和第二芯轴(2)的外端部并且抵顶于压紧环(14)的后端。

4.根据权利要求3所述的一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，其特征在于：所述背管锁紧装置的内端部设置有密封机构，包括挡水环(17)、小密封圈(15)和大密封圈(16)，

所述第一芯轴(1)和第二芯轴(2)的外端部分别开设有安装肩位，安装肩位分别活动套设有一挡水环(17)，

小密封圈(15)紧密套设于挡水环(17)的安装肩位的底部，挡水环(17)的内侧紧密抵压于小密封圈(15)；

挡水环(17)的外壁开设有防漏肩位(171)，大密封圈(16)紧密套设于防漏肩位(171)的底部，所述压紧环(14)的前端与防漏肩位(171)间隙配合并紧密抵压于大密封圈(16)，防漏肩位(171)的宽度比大密封圈(16)的径宽略小，用于密封夹紧相应靶材背管(3)的内壁。

5.根据权利要求4所述的一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，其特征在于：所述第一芯轴(1)和第二芯轴(2)的内端部或中部分别设置有一尼龙环(19)，用于防止相应靶材背管(3)安装于所述背管工装夹具时发生刚性碰撞。

6.根据权利要求5所述的一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，其特征在于：所述第一芯轴(1)的内部和所述第二芯轴(2)的内部沿其轴向方向都开设有一接水管道(11)，接水管道(11)仅贯穿第一芯轴(1)和第二芯轴(2)的外侧端，

第一芯轴(1)和第二芯轴(2)都至少分别开设有一径向通孔(18)，径向通孔(18)沿其径向方向分别贯穿第一芯轴(1)和第二芯轴(2)并穿过接水管道(11)，径向通孔(18)位于所述尼龙环(19)和所述小密封圈(15)之间。

7.根据权利要求1所述的一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，其特征在于：所述背管锁紧装置包括保护套(12)，保护套(12)分别安装于所述第一芯轴(1)和第二芯轴(2)的外端部，保护套(12)设置为“U”截面的环套，保护套(12)的外环的径宽比相应靶材背管(3)的外径略大，保护套(12)的外环朝第一芯轴(1)和第二芯轴(2)的内端部延伸设定长度，用于覆盖遮蔽相应靶材背管(3)的端部；

保护套(12)的内环设置有轴向调节机构，用于调节保护套(12)的外环相对相应靶材背管(3)的端部的覆盖面积。