CN208028081U - 一种匹配链式扩散的喷涂机硅片预热装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种匹配链式扩散的喷涂机硅片预热装置，包括连接在一起的预热罩和内反光罩，所述预热罩用于对经过的硅片进行预热，所述内反光罩内设置有加热灯管和散热吹风管，所述散热吹风管上设置有若干均匀排列的出风孔，所述出风孔朝向预热罩。本实用新型能够迅速提升硅片温度，有利于扩散源的快速固定，使得喷涂时喷涂源可以被迅速的固定在硅片上，避免由于喷涂源由于张力而产生的向硅片边缘聚集的现象，确保扩散出的方阻的均匀性，减少了由于扩散源流动导致的扩散不良。
Description
技术领域
本实用新型属于光伏太阳能电池技术领域，具体涉及一种匹配链式扩散的喷涂机硅片预热装置。
背景技术
太阳能电池片扩散制程通常分为链式扩散和管式扩散，其中链式扩散需要先将扩散源均匀的喷涂在硅片表面，喷涂的具体效果和多方面因素有关，如液态扩散源的雾化效果、喷涂后硅片烘干效果、液态扩散源本身的特性、硅片表面的特性、喷涂参数的具体设置情况等。
扩散源喷在硅片表面后并不会迅速干燥，会向特定的位置流动，如边缘或表面线痕密集处，就导致这些地方的扩散源偏多，链式扩散的扩散后方阻均匀度与表面扩散源的均匀度直接相关，扩散源不确定移动会导致硅片表面部分区域方阻均匀度差，导致电性能降低，工艺窗口缩窄，同时可能导致EL异常。
现有喷涂机通常在喷涂之后设置烘干，以保证硅片表面扩散源干燥，可是实际上扩散源还是会随着喷涂助剂在烘干的过程中移动，导致方阻不均匀。
发明内容
发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，提供一种能够加快扩散源在硅片表面的干燥速度，有利于形成均匀的扩散方阻的匹配链式扩散的喷涂机硅片预热装置。
技术方案：为实现上述目的，本实用新型提供一种匹配链式扩散的喷涂机硅片预热装置，包括连接在一起的预热罩和内反光罩，所述预热罩用于对经过的硅片进行预热，所述内反光罩内设置有加热灯管和散热吹风管，所述散热吹风管上设置有若干均匀排列的出风孔，所述出风孔朝向预热罩。
本实用新型的设计原理为：减小扩散源的流动性的基本原理主要是让扩散源快速固定，可以增加喷涂助剂的挥发性，也可以预热硅片让喷涂助剂快速挥发，本实用新型中内反光罩利用反光杯设计，保证将加热灯管的光反射至网带携带的硅片上，可以让硅片温度上升更加迅速，使得喷涂时喷涂源可以被迅速的固定在硅片上，避免由于喷涂源由于张力而产生的向硅片边缘聚集的现象，确保扩散出的方阻的均匀性；另外散热吹风管能够将内反光罩内的热气吹至预热罩，对经过预热罩的硅片首先进行预热，略微提升温度，烘干硅片表面可能的残液。
进一步地，所述预热罩的顶面设置有若干用于出气的孔洞，这样预热罩内的热气能够通过孔洞上升跑出预热罩，从而防止了这些热气在预热罩内凝结导致的滴液。
进一步地，所述散热吹风管连接着喷涂机台的压缩氮气，压缩氮气的形式不但可保证吹气的洁净度，同时可以调整内反光罩内的温度，防止发生由于温度不断升高导致的异常。
进一步地，所述内反光罩的顶部为圆弧形结构。
有益效果：本实用新型与现有技术相比，具备如下优点：
1、能够对经过预热罩的硅片首先进行预热，略微提升温度，烘干硅片表面可能的残液，通过喷涂前烘干，可减少由于硅片表面带液，喷涂网带泛液引起的EL不良，减少PECVD后镀膜的不良反应；
2、能够迅速提升硅片温度，有利于扩散源的快速固定，使得喷涂时喷涂源可以被迅速的固定在硅片上，避免由于喷涂源由于张力而产生的向硅片边缘聚集的现象，确保扩散出的方阻的均匀性，减少了由于扩散源流动导致的扩散不良；
3、整体升高了喷涂机台内的温度，可以防止扩散源在喷涂机台内的凝结，防止凝结的扩散液滴落在硅片上。
附图说明
图1为本实用新型的立体图；
图2为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本实用新型，应理解这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围，在阅读了本实用新型之后，本领域技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。
如图1和图2所示，本实用新型提供一种匹配链式扩散的喷涂机硅片预热装置，包括连接在一起的预热罩1和内反光罩2，所述预热罩1用于对经过的硅片进行预热，所述内反光罩2内设置有加热灯管5和散热吹风管4，所述散热吹风管4上设置有若干均匀排列的出风孔5，所述出风孔5朝向预热罩1，所述预热罩1的顶面设置有若干用于出气的孔洞11，所述散热吹风管4连接着喷涂机台的压缩氮气，所述内反光罩2的顶部为圆弧形结构，所述加热灯管5通过喷涂机台提供电源。
本实用新型的使用流程为：首先启动加热灯管5提升内反光罩2内的温度，启动散热吹风管4，散热吹风管4通过出风孔5向内反光罩2内吹热气，硅片在履带上自右向左移动，首先从预热罩1下方经过，预热罩1内的热气与硅片接触将硅片表面携带的小水珠吹干，热气通过孔洞11跑出预热罩1进入喷涂机台内部，然后硅片在履带的带动下向内反光罩2移动，硅片出了预热罩1后立刻对硅片进行喷涂，喷涂后的硅片在内反光罩2中时加热灯管5的光反射至硅片上，迅速提升硅片温度，使得喷涂时喷涂源可以被迅速的固定在硅片上。
Claims (4)
1.一种匹配链式扩散的喷涂机硅片预热装置，其特征在于：包括连接在一起的预热罩和内反光罩，所述预热罩用于对经过的硅片进行预热，所述内反光罩内设置有加热灯管和散热吹风管，所述散热吹风管上设置有若干均匀排列的出风孔，所述出风孔朝向预热罩。
2.根据权利要求1所述的一种匹配链式扩散的喷涂机硅片预热装置，其特征在于：所述预热罩的顶面设置有若干用于出气的孔洞。
3.根据权利要求1所述的一种匹配链式扩散的喷涂机硅片预热装置，其特征在于：所述散热吹风管连接着喷涂机台的压缩氮气。
4.根据权利要求1所述的一种匹配链式扩散的喷涂机硅片预热装置，其特征在于：所述内反光罩的顶部为圆弧形结构。
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