CN208023116U - 一种双层石英清洗槽 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种双层石英清洗槽，包括内槽、外槽、内槽喷淋液进口和底部排液口，所述外槽设置在内槽的上部，所述内槽内设置有喷淋管，所述外槽上设置有外槽排液口，所述内槽的上部设置有益出齿。本实用新型所提供的一种双层石英清洗槽，减少清洗液的更换频率，降低清洗液的用量，降低了清洗成本，操作简单，提高了化学液体冷却的安全性，同时耐腐蚀性好。
Description
技术领域
本实用新型涉及石英技术领域，特别涉及一种双层石英清洗槽。
背景技术
石英是地球表面分布最广的矿物之一，石英是硅石矿的主要矿物组分，含硅46.70％。有三方晶系的低温石英(α－石英)和六方晶系的高温石英(β－石英) 之分。一般所称石英均指低温石英。三方晶系，晶体呈六方柱状，双晶很普遍。通常呈晶簇状、料状、块状集合体。呈多种颜色，无色透明者称为水晶，乳白色者称为乳石英，紫色者称为紫水晶，浅玫瑰色者称为蔷薇石英，烟色者称为烟水晶，褐色者称为茶晶等。玻璃光泽。硬度7，密度2.65g/cm3。不溶于除氢氟酸以外的任何酸。地壳中分布最广的矿物之一，为多种岩石和矿床的矿物组分。用于制造硅胶、水玻璃及各种硅化物和硅酸盐，用作塑料、橡胶的填料。还广泛用于玻璃、陶瓷、石油、冶金、铸造、建材等部门。
在对半导体或者化工产品进行清洗时，通常需要使用高温或者高腐蚀的液体。目前半导体或这化工产品大多还使用普通的清洗槽，普通清洗槽通常的耐腐蚀性差，而且清洗结束后脏污和清洗水一起排出，导致清洗液更换频率较高，非常浪费清洗液，同时环保性比较差。
实用新型内容
针对上述半导体或者化工产品进行清洗时，通常需要使用高温或者高腐蚀的液体。目前半导体或这化工产品大多还使用普通的清洗槽，普通清洗槽通常的耐腐蚀性差，而且清洗结束后脏污和清洗水一起排出，导致清洗液更换频率较高，非常浪费清洗液，同时环保性比较差的问题，本实用新型要解决的技术问题是提供一种双层石英清洗槽。
为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：
一种双层石英清洗槽，包括内槽、外槽、内槽喷淋液进口和底部排液口，所述外槽设置在内槽的上部，所述内槽内设置有喷淋管，所述外槽上设置有外槽排液口，所述内槽的上部设置有溢出口。
上述方案的优选方案为：所述喷淋管为2个、分别连接内槽喷淋液进口，可用于淋式清洗，满足不同需求。
上述方案的优选方案为：所述内槽内和外槽内均设置有测温装置，通过测温装置监测高温化学液体温度的变化，以及时的调整内槽内的高温化学清洗液体，提高清洁的效果。
上述方案的优选方案为：所述外槽内设置有进出水管，通过进出水管进行出水和进水，方便对外槽的清洁。
有益效果：本实用新型的一种双层石英清洗槽在工作过程中，高温或高腐蚀性的液体从内槽喷淋液进口进入，通过设置在内槽内的喷淋管对半导体产品或化工产品进行清洗，喷淋管为2个、分别连接内槽喷淋液进口，可用于淋式清洗，满足不同需求。内槽的上部设置有溢出口，可将漂浮在清洗液上层的脏污溢出到外槽内，然后通过设置在外槽上的外槽排液口排出，减少清洗液的更换频率，降低清洗液的用量，降低了清洗成本。本实用新型所提供的一种双层石英清洗槽，减少清洗液的更换频率，降低清洗液的用量，降低了清洗成本，操作简单，提高了化学液体冷却的安全性，同时耐腐蚀性好。
附图说明
图1为本实用新型一种双层石英清洗槽的剖视图；
图2为本实用新型一种双层石英清洗槽的俯视图；
图3为本实用新型一种双层石英清洗槽的立体图。
图中：1－内槽，2－外槽，3－溢出口，4－内槽喷淋液进口，5－底部排液口，6－喷淋管，7－外槽排液口，8－测温装置，9－进出水管。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
如图1、2、3所示，本实用新型提供了一种双层石英清洗槽，包括内槽1、外槽2、内槽喷淋液进口4和底部排液口5，外槽2设置在内槽1的上部，内槽 1内设置有喷淋管6，外槽2上设置有外槽排液口7，内槽1的上部设置有溢出口3。
其中，喷淋管6为2个、分别连接内槽喷淋液进口4，可用于淋式清洗，满足不同需求。
其中，内槽1内和外槽内均设置有测温装置8，通过测温装置8监测高温化学液体温度的变化，以及时的调整内槽内的高温化学清洗液体，提高清洁的效果。
其中，外槽2内设置有进出水管9，通过进出水管9进行出水和进水，方便对外槽2的清洁。
由上所述，本实用新型达到了如下技术效果：减少清洗液的更换频率，降低清洗液的用量，降低了清洗成本，操作简单，提高了化学液体冷却的安全性，同时耐腐蚀性好。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (4)
1.一种双层石英清洗槽，其特征在于，包括内槽、外槽、内槽喷淋液进口和底部排液口，所述外槽设置在内槽的上部，所述内槽内设置有喷淋管，所述外槽上设置有外槽排液口，所述内槽的上部设置有溢出口。
2.根据权利要求1所述的双层石英清洗槽，其特征在于，所述喷淋管为2个、分别连接内槽喷淋液进口。
3.根据权利要求1所述的双层石英清洗槽，其特征在于，所述内槽内和外槽内均设置有测温装置。
4.根据权利要求1所述的双层石英清洗槽，其特征在于，所述外槽内设置有进出水管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820264559.9U CN208023116U (zh) | 2018-02-23 | 2018-02-23 | 一种双层石英清洗槽 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820264559.9U CN208023116U (zh) | 2018-02-23 | 2018-02-23 | 一种双层石英清洗槽 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN208023116U true CN208023116U (zh) | 2018-10-30 |
Family
ID=63905993
Family Applications (1)
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| CN201820264559.9U Active CN208023116U (zh) | 2018-02-23 | 2018-02-23 | 一种双层石英清洗槽 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN208023116U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110670141A (zh) * | 2019-11-13 | 2020-01-10 | 云南北方驰宏光电有限公司 | 高纯度锗晶体材料的表面处理装置及处理方法 |
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2018
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| CN110670141A (zh) * | 2019-11-13 | 2020-01-10 | 云南北方驰宏光电有限公司 | 高纯度锗晶体材料的表面处理装置及处理方法 |
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