CN208023104U - 一种双控温晶体生长炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于晶体生长炉技术领域,具体为一种双控温晶体生长炉,包括炉体,所述炉体的下端设有减震装置,所述炉体的内部设有空腔,所述空腔的内底端固定连接有第一电热板,所述第一电热板的上方设有坩埚,所述空腔的侧壁设有滑槽,所述滑槽内相对的侧壁均固定连接有垫块,两个所述垫块之间设有螺杆,所述螺杆上螺纹套接有升降杆,所述升降杆的一端固定连接有第二电热板,所述炉体的外侧壁固定连接有伺服电机,所述伺服电机的输出轴末端固定套接有第二齿轮。本实用新型结构新颖,通过简单的结构便捷的实现了双控温晶体生长炉可以满足不同类型晶体的生长,同时溫场与温度梯度可以很好的控制。
Description
技术领域
本实用新型属于晶体生长炉技术领域,具体为一种双控温晶体生长炉。
背景技术
一种双控温晶体生长炉,它通常采用将所需生长晶体的组成物质熔于一合适的助熔剂中,通过缓慢降温来得到所需的晶体,在生长晶体的过程中降温速率的快慢和温度控制的精度以及温场控制精度的确定,对晶体生长尤为重要。
但是目前的晶体生长炉大多数均为单控温的生长炉,使用范围小、难于控制温度梯度,无法保证晶体的生长质量。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种双控温晶体生长炉,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种双控温晶体生长炉,包括炉体,所述炉体的下端设有减震装置,所述炉体的内部设有空腔,所述空腔的内底端固定连接有第一电热板,所述第一电热板的上方设有坩埚,所述空腔的侧壁设有滑槽,所述滑槽内相对的侧壁均固定连接有垫块,两个所述垫块之间设有螺杆,所述螺杆上螺纹套接有升降杆,所述升降杆的一端固定连接有第二电热板,所述炉体的外侧壁固定连接有伺服电机,所述伺服电机的输出轴末端固定套接有第二齿轮,所述滑槽内设有转动杆,所述转动杆的一端与螺杆相啮合,所述转动杆的另一端贯穿炉体并固定套接有与第二齿轮相啮合的第一齿轮,所述炉体的上端设有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆向下贯穿炉体并与坩埚固定连接。
作为优选,所述减震装置包括固定连接在炉体下端的连接块,所述连接块的下端设有套筒,所述套筒与连接块之间固定连接有多个弹簧。
作为优选,所述电动伸缩杆与炉体之间通过固定架固定连接。
作为优选,所述所述电动伸缩杆上滑动套接有密封圈,所述密封圈与炉体的上端固定连接。
作为优选,所述转动杆上固定套接有两个限位块,两个所述限位块分别位于炉体的内位两侧。
作为优选,两个所述垫块相对的侧壁均设有转动槽,所述螺杆的两端分别与两个转动槽转动连接。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:使用时将待结晶的原料放置在坩埚中,接通电源并启动第一电热板和第二电热板,对坩埚进行加热并使原料融化,然后启动电动伸缩杆,使得坩埚缓慢上升,并使得坩埚内的溶液降温并结晶,通过伺服电机转动后通过第二齿轮和第一齿轮带动转动杆转动,然后带动与之啮合的螺杆转动,从而使得升降杆带动第二发热板可以上下移动,改变第二电热板与第一电热板之间的距离,可以得到合适的变炉膛内温场与温度梯度的,从而满足不同种类的晶体生长的需求。本实用新型结构新颖,通过简单的结构便捷的实现了双控温晶体生长炉可以满足不同类型晶体的生长,同时溫场与温度梯度可以很好的控制。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种双控温晶体生长炉的结构示意图;
图2为本实用新型提出的一种双控温晶体生长炉的A处结构放大示意图。
图中:1-炉体,2-坩埚,3-第一电热板,4-连接块,5-弹簧,6-套筒,7-伺服电机,8-转动杆,9-螺杆,10-升降杆,11-垫块,12-第二电热板,13-电动伸缩杆,14-固定架,15-密封圈,16-限位块,17-第一齿轮,18-第二齿轮。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
请参阅图1-2,本实用新型提供一种技术方案:一种双控温晶体生长炉,包括炉体1,炉体1的下端设有减震装置,能为装置带来减震的效果,炉体1的内部设有空腔,空腔的内底端固定连接有第一电热板3,第一电热板3的上方设有坩埚2,第一电热板3对坩埚2进行加热使原料融化,空腔的侧壁设有滑槽,滑槽内相对的侧壁均固定连接有垫块11,两个垫块11之间设有螺杆9,螺杆9上螺纹套接有升降杆10,升降杆10的一端固定连接有第二电热板12,炉体1的外侧壁固定连接有伺服电机7,伺服电机7的输出轴末端固定套接有第二齿轮18,滑槽内设有转动杆8,转动杆8的一端与螺杆9相啮合,转动杆8的另一端贯穿炉体1并固定套接有与第二齿轮18相啮合的第一齿轮17,启动伺服电机7转动后通过第二齿轮18和第一齿轮17带动转动杆8转动,然后带动与之啮合的螺杆9转动,从而使得升降杆10带动第二发热板12可以上下移动,炉体1的上端设有电动伸缩杆13,电动伸缩杆13向下贯穿炉体1并与坩埚2固定连接,方便坩埚2的上下移动;进一步的,减震装置包括固定连接在炉体1下端的连接块4,连接块4的下端设有套筒6,套筒6与连接块4之间固定连接有多个弹簧5,结构简单便于实现减震;进一步的,电动伸缩杆13与炉体1之间通过固定架14固定连接,便于实现固定;进一步的,电动伸缩杆13上滑动套接有密封圈15,密封圈15与炉体1的上端固定连接,防止外物进入炉体1;进一步的,转动杆8上固定套接有两个限位块16,两个限位块16分别位于炉体1的内位两侧,防止转动杆8滑脱;进一步的,两个垫块11相对的侧壁均设有转动槽,螺杆9的两端分别与两个转动槽转动连接,垫块11起到防止螺杆9滑脱的作用。
工作原理:使用时将待结晶的原料放置在坩埚2中,接通电源并启动第一电热板3和第二电热板12,对坩埚2进行加热并使原料融化,然后启动电动伸缩杆13,使得坩埚2缓慢上升,并使得坩埚2内的溶液降温并结晶,通过伺服电机7转动后通过第二齿轮18和第一齿轮17带动转动杆8转动,然后带动与之啮合的螺杆9转动,从而使得升降杆10带动第二发热板12可以上下移动,改变第二电热板12与第一电热板3之间的距离,可以得到合适的变炉膛内温场与温度梯度的,从而满足不同种类的晶体生长的需求。本实用新型结构新颖,通过简单的结构便捷的实现了双控温晶体生长炉可以满足不同类型晶体的生长,同时溫场与温度梯度可以很好的控制。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种双控温晶体生长炉,包括炉体(1),其特征在于:所述炉体(1)的下端设有减震装置,所述炉体(1)的内部设有空腔,所述空腔的内底端固定连接有第一电热板(3),所述第一电热板(3)的上方设有坩埚(2),所述空腔的侧壁设有滑槽,所述滑槽内相对的侧壁均固定连接有垫块(11),两个所述垫块(11)之间设有螺杆(9),所述螺杆(9)上螺纹套接有升降杆(10),所述升降杆(10)的一端固定连接有第二电热板(12),所述炉体(1)的外侧壁固定连接有伺服电机(7),所述伺服电机(7)的输出轴末端固定套接有第二齿轮(18),所述滑槽内设有转动杆(8),所述转动杆(8)的一端与螺杆(9)相啮合,所述转动杆(8)的另一端贯穿炉体(1)并固定套接有与第二齿轮(18)相啮合的第一齿轮(17),所述炉体(1)的上端设有电动伸缩杆(13),所述电动伸缩杆(13)向下贯穿炉体(1)并与坩埚(2)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种双控温晶体生长炉,其特征在于:所述减震装置包括固定连接在炉体(1)下端的连接块(4),所述连接块(4)的下端设有套筒(6),所述套筒(6)与连接块(4)之间固定连接有多个弹簧(5)。
3.根据权利要求1所述的一种双控温晶体生长炉,其特征在于:所述电动伸缩杆(13)与炉体(1)之间通过固定架(14)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种双控温晶体生长炉,其特征在于:所述电动伸缩杆(13)上滑动套接有密封圈(15),所述密封圈(15)与炉体(1)的上端固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种双控温晶体生长炉,其特征在于:所述转动杆(8)上固定套接有两个限位块(16),两个所述限位块(16)分别位于炉体(1)的内位两侧。
6.根据权利要求1所述的一种双控温晶体生长炉,其特征在于:两个所述垫块(11)相对的侧壁均设有转动槽,所述螺杆(9)的两端分别与两个转动槽转动连接。
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WO2021212862A1 (zh) * | 2020-04-23 | 2021-10-28 | 山东天岳先进科技股份有限公司 | 用于真空反应炉的减震装置及晶体生长炉 |
CN115029770A (zh) * | 2021-03-04 | 2022-09-09 | 北京一轻研究院有限公司 | 一种坩埚大气下降炉装置及方法 |
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