CN213397373U - 一种晶体生长炉测温总成 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶体生长炉测温总成，包括炉体，所述炉体底端设置有第一电机，所述第一电机的输出端转动连接有与所述炉体平行的坩埚轴，所述坩埚轴连接有坩埚，所述坩埚的左侧设置有垂直于所述炉体的多个滑轨，多个所述滑轨上均滑动连接有电热板，所述炉体外侧壁上设置有多个第二电机，所述第二电机连接有用于移动所述电热板的第一丝杆，所述坩埚的右侧设置有多个第一红外测温仪，多个所述第一红外测温仪与多个所述电热板分别位于同一高度，所述炉体的顶端设置有第二红外测温仪，所述第二红外测温仪与所述坩埚的顶端相对。本实用新型通过坩埚右侧的第一红外测温仪和坩埚上侧的第二红外测温仪准确的测量相应部位坩埚的温度。

Description

一种晶体生长炉测温总成

技术领域

本实用新型涉及晶体制备技术领域，具体来说，涉及一种晶体生长炉测温总成。

背景技术

随着现今工业的发展，对各种人造晶体的需求量与日俱增，并且随着技术的发展，工业中对于晶体的质量要求也越来越高，晶体一般是在具有特定热场条件的晶体生长炉中来制备的，高品质晶体的制备，对于晶体生长炉中的热场要求尤为苛刻，要使得晶体生长炉中的热场满足要求，就需要随时对热场中的温度进行监测，传统的晶体生长炉在对坩埚加热的过程中，很容易加热不均匀从而影响晶体的质量，也导致对热场的温度测量不准确。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

针对相关技术中的上述技术问题，本实用新型提出一种晶体生长炉测温总成，能够解决上述问题。

为实现上述技术目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种晶体生长炉测温总成，包括炉体，所述炉体底端设置有第一电机，所述第一电机的输出端转动连接有与所述炉体平行的坩埚轴，所述坩埚轴连接有坩埚，所述坩埚的左侧设置有垂直于所述炉体的多个滑轨，多个所述滑轨上均滑动连接有电热板，所述炉体外侧壁上设置有多个第二电机，所述第二电机连接有用于移动所述电热板的第一丝杆，所述坩埚的右侧设置有多个第一红外测温仪，多个所述第一红外测温仪与多个所述电热板分别位于同一高度，所述炉体的顶端设置有第二红外测温仪，所述第二红外测温仪与所述坩埚的顶端相对。

进一步的，炉体内设置有保温仓，所述保温仓内设置有所述电热板和所述坩埚，所述保温仓上设置有多个透光孔，多个所述透光孔分别与所述第一红外测温仪和第二红外测温仪位于同一直线上。

进一步的，所述坩埚轴分别贯穿所述保温仓和所述炉体的底面，所述坩埚轴连接有升降装置。

进一步的，所述升降装置包括与所述坩埚轴固定连接的钢板，所述钢板上连接有垂直于所述钢板的第二丝杆，所述第二丝杆连接有升降电机。

进一步的，所述钢板上滑动连接有垂直于所述钢板的导向杆。

本实用新型的有益效果：

1.本实用新型设有第一电机、坩埚轴、坩埚、电热板、第二电机、第一红外测温仪、第二红外测温仪，通过第一电机使坩埚轴带动坩埚旋转，坩埚左侧不同高度的电热板可以为坩埚的不同部位提供所需的热量，坩埚的旋转使得坩埚热量分布均匀，最后通过坩埚右侧的第一红外测温仪和坩埚上侧的第二红外测温仪准确的测量相应部位坩埚的温度。

2.本实用新型设有的升降装置，使坩埚在竖直方向上移动，并结合电热板在滑轨上的移动，快速调整坩埚所需的受热温度。

3.本实用新型设有保温仓，可以减少坩埚温度的流失，节省能源。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本实用新型实施例所述的一种晶体生长炉测温总成的结构示意图。

图中：1.炉体，2.第一电机，3.坩埚轴，4.坩埚，5.滑轨，6.电热板，7.第二电机，8.第一红外测温仪，9.第二红外测温仪，10.保温仓，11.透光孔，12.第二丝杆，13.升降电机，14.导向杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，根据本实用新型实施例所述的一种晶体生长炉测温总成，包括炉体1，所述炉体1的底端设置有第一电机2，所述第一电机2的输出端转动连接有与所述炉体1平行的坩埚轴3，所述坩埚轴3连接有坩埚4，所述坩埚4的左侧设置有垂直于所述炉体1的多个滑轨5，多个所述滑轨5上均滑动连接有电热板6，所述炉体1外侧壁上设置有多个第二电机7，所述第二电机7连接有用于移动所述电热板6的第一丝杆，所述坩埚4的右侧设置有多个第一红外测温仪8，多个所述第一红外测温仪8与多个所述电热板6分别位于同一高度，所述炉体1的顶端设置有第二红外测温仪9，所述第二红外测温仪9与所述坩埚4的顶端相对。

在本实用新型的一个具体实施例中，所述炉体1内设置有保温仓10，所述保温仓10内设置有所述电热板6和所述坩埚4，所述保温仓10上设置有多个透光孔11，多个所述透光孔11分别与所述第一红外测温仪8和所述第二红外测温仪9位于同一直线上。

在本实用新型的一个具体实施例中，所述坩埚轴3分别贯穿所述保温仓10和所述炉体1的底面，所述坩埚轴3连接有升降装置。

在本实用新型的一个具体实施例中，所述升降装置包括与所述坩埚轴3固定连接的钢板11，所述钢板11上连接有垂直于所述钢板11的第二丝杆12，所述第二丝杆12连接有升降电机13。

在本实用新型的一个具体实施例中，所述钢板11上滑动连接有垂直于所述钢板11的导向杆14,所述导向杆14的一端与所述炉体1的底面焊接。

为了方便理解本实用新型的上述技术方案，以下通过具体使用方式上对本实用新型的上述技术方案进行详细说明。

在具体使用时，根据本实用新型的一种晶体生长炉测温总成，升降装置将坩埚1在竖直方向上移动到合适的位置，并调整电热板6与坩埚1的水平距离，第一电机2带动坩埚1旋转，坩埚1右侧的第一红外测温仪8和坩埚1上侧的第二红外测温仪分别透过透光孔11对坩埚1相应部位的温度进行测量。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种晶体生长炉测温总成，包括炉体（1），其特征在于，所述炉体（1）的底端设置有第一电机（2），所述第一电机（2）的输出端转动连接有与所述炉体（1）平行的坩埚轴（3），所述坩埚轴（3）连接有坩埚（4），所述坩埚（4）的左侧设置有垂直于所述炉体（1）的多个滑轨（5），多个所述滑轨（5）上均滑动连接有电热板（6），所述炉体（1）外侧壁上设置有多个第二电机（7），所述第二电机（7）连接有用于移动所述电热板（6）的第一丝杆，所述坩埚（4）的右侧设置有多个第一红外测温仪（8），多个所述第一红外测温仪（8）与多个所述电热板（6）分别位于同一高度，所述炉体（1）的顶端设置有第二红外测温仪（9），所述第二红外测温仪（9）与所述坩埚（4）的顶端相对。

2.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉测温总成，其特征在于，所述炉体（1）内设置有保温仓（10），所述保温仓（10）内设置有所述电热板（6）和所述坩埚（4），所述保温仓（10）上设置有多个透光孔（11），多个所述透光孔（11）分别与所述第一红外测温仪（8）和所述第二红外测温仪（9）位于同一直线上。

3.根据权利要求2所述的一种晶体生长炉测温总成，其特征在于，所述坩埚轴（3）分别贯穿所述保温仓（10）和所述炉体（1）的底面，所述坩埚轴（3）连接有升降装置。

4.根据权利要求3所述的一种晶体生长炉测温总成，其特征在于，所述升降装置包括与所述坩埚轴（3）固定连接的钢板，所述钢板上连接有垂直于所述钢板的第二丝杆（12），所述第二丝杆（12）连接有升降电机（13）。

5.根据权利要求4所述的一种晶体生长炉测温总成，其特征在于，所述钢板上滑动连接有垂直于所述钢板的导向杆（14）。

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