CN207996777U - 树脂涂布装置 - Google Patents
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- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims abstract description 63
- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims abstract description 63
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 77
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 42
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 39
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 5
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims description 3
- 238000010422 painting Methods 0.000 claims 1
- 230000009193 crawling Effects 0.000 abstract description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 8
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000012163 sequencing technique Methods 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 230000001755 vocal effect Effects 0.000 description 1
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- Spray Control Apparatus (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种树脂涂布装置，包括：喷雾式喷嘴，其设置在支撑部件上并与控制部件电连接，对架台上待涂布的基板的部分区域进行树脂涂布；针式喷嘴，其设置于所述支撑部件上并与所述控制部件电连接，对所述架台上待涂布的基板的另一部分区域进行树脂涂布；翻转部件，其与所述控制部件电连接，对所述待涂布的基板进行翻转；以及搬送部件，其与所述翻转部件连接并搬送所述待涂布的基板。由此，能够减少或消除树脂涂布不均甚至无法涂布的情况；并且能够提高树脂涂布过程的效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种树脂涂布装置。
背景技术
在半导体领域，可以在基板上设置各种电子元件，例如芯片、电容器、电阻等等。在设置了各种电子元件之后，需要对基板进行树脂涂布。一般使用喷雾式喷嘴将树脂喷涂到基板上，这种喷雾式喷嘴的工作范围大且涂布效率高。此外，在对基板的一面进行涂布之后，一般将涂布后的该面进行后续加工处理，例如加热或固化，从而对涂布后的该面实现封装。
应当注意，上面对背景技术的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本申请的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。
实用新型内容
发明人发现：在基板上经常出现高度不一的电子元件，例如经常会设置具有一定高度的电容器。对于这些具有一定高度的电子元件所对应的区域，如果仍然采用喷雾式喷嘴进行树脂涂布，则容易出现涂布不均甚至无法涂布的情况。此外，在需要对基板的两面进行树脂涂布的情况下，往往在基板的一面进行涂布之后即开始后续加工处理，导致在涂布该基板的另一面之后还需要再次进行后续加工处理，从而降低树脂涂布过程的效率。
为了解决上述问题，本实用新型提供一种树脂涂布装置。通过设置喷雾式喷嘴和针式喷嘴共同进行作业，即使对于具有一定高度的电子元件所对应的区域也能够容易地进行树脂涂布；并且通过设置翻转部件和搬送部件，能够在基板进行两面涂布之后再开始对两面进行后续加工处理，从而提高了基板整体的加工作业效率。
根据本实用新型实施例的第一方面，提供了一种树脂涂布装置，包括支撑部件、架台和控制部件，所述树脂涂布装置还包括：
喷雾式喷嘴，其设置在所述支撑部件上并与所述控制部件电连接，对所述架台上待涂布的基板的部分区域进行树脂涂布；
针式喷嘴，其设置于所述支撑部件上并与所述控制部件电连接，对所述架台上待涂布的基板的另一部分区域进行树脂涂布；
翻转部件，其与所述控制部件电连接，对所述待涂布的基板进行翻转；以及
搬送部件，其与所述翻转部件连接并搬送所述待涂布的基板。
根据本实用新型实施例的第二方面，其中，对于所述待涂布的基板上的配置有低于或等于预定高度的电子元件的第一区域，所述控制部件控制所述喷雾式喷嘴对所述第一区域进行树脂涂布。
根据本实用新型实施例的第三方面，其中，对于所述待涂布的基板上的至少部分被高于预定高度的电子元件所包围的第二区域，所述控制部件控制所述针式喷嘴对所述第二区域进行树脂涂布。
根据本实用新型实施例的第四方面，其中，所述控制部件根据预定信息对所述喷雾式喷嘴和所述针式喷嘴进行控制，所述喷雾式喷嘴和所述针式喷嘴根据来自所述控制部件的控制信息交替地或者并行地对所述待涂布的基板的不同区域进行树脂涂布。
根据本实用新型实施例的第五方面，其中，所述控制部件在所述待涂布的基板的一面被所述喷雾式喷嘴和所述针式喷嘴涂布完毕的情况下，控制所述搬送部件将所述待涂布的基板传送至所述翻转部件，并且控制所述翻转部件对所述待涂布的基板进行180度翻转。
根据本实用新型实施例的第六方面，其中，所述控制部件还控制所述搬送部件将所述待涂布的基板搬送至所述架台，并且控制所述喷雾式喷嘴和所述针式喷嘴继续对所述待涂布的基板的另一面进行树脂涂布。
根据本实用新型实施例的第七方面，其中，所述待涂布的基板的一面在所述架台的第一位置被树脂涂布，所述待涂布的基板的另一面在所述架台的第二位置被树脂涂布；所述第一位置与所述第二位置相比更靠近所述翻转部件。
本实用新型的有益效果在于：通过设置喷雾式喷嘴和针式喷嘴共同作业，即使对于具有一定高度的电子元件所对应的区域也能够容易地进行树脂涂布，由此能够减少或消除树脂涂布不均甚至无法涂布的情况；通过设置翻转部件和搬送部件，能够在基板进行两面涂布之后再开始对两面进行后续加工处理，从而提高了基板整体的加工作业效率。
参照后文的说明和附图，详细公开了本实用新型的特定实施方式，指明了本实用新型的原理可以被采用的方式。应该理解，本实用新型的实施方式在范围上并不因而受到限制。在所附权利要求的精神和条款的范围内，本实用新型的实施方式包括许多改变、修改和等同。
附图说明
所包括的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本实用新型的实施方式，并与文字描述一起来阐释本实用新型的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：
图1是本实用新型的树脂涂布装置的示意图；
图2是本实用新型的基板的示例图。
具体实施方式
参照附图，通过下面的说明，本实用新型的前述以及其它特征将变得明显。在说明书和附图中，具体公开了本实用新型的特定实施方式，其表明了其中可以采用本实用新型的原则的部分实施方式，应了解的是，本实用新型不限于所描述的实施方式，相反，本实用新型包括落入所附权利要求的范围内的全部修改、变型以及等同物。
在本实用新型实施例中，术语“第一”、“第二”等用于对不同元素从称谓上进行区分，但并不表示这些元素的空间排列或时间顺序等，这些元素不应被这些术语所限制。术语“和/或”包括相关联列出的术语的一种或多个中的任何一个和所有组合。术语“包含”、“包括”、“具有”等是指所陈述的特征、元素、元件或组件的存在，但并不排除存在或添加一个或多个其他特征、元素、元件或组件。
在本实用新型实施例中，单数形式“一”、“该”等可以包括复数形式，应广义地理解为“一种”或“一类”而并不是限定为“一个”的含义；此外术语“所述”应理解为既包括单数形式也包括复数形式，除非上下文另外明确指出。此外术语“根据”应理解为“至少部分根据……”，术语“基于”应理解为“至少部分基于……”，除非上下文另外明确指出。
在本实用新型的下述说明中，为了说明的方便，将与沿着轴延伸的方向平行的方向称为“轴向”，将以轴为中心的半径方向称为“径向”，将以轴为中心的包围装置的径向外侧的方向称为“周向”。但值得注意的是，这些只是为了说明的方便，并不限定该装置使用和制造时的朝向。
在本实用新型的下述说明中，为了说明的方便，将靠近支撑部件的一侧称为“上侧”或者“上方”，将靠近架台的一侧称为“下侧”或者“下方”。但值得注意的是，这些只是为了说明的方便，并不限定该树脂涂布装置使用和制造时的朝向。
下面参照附图对本实用新型的实施方式进行说明。
本实用新型实施例提供一种树脂涂布装置。图1是本实用新型的树脂涂布装置的示意图，如图1所示，树脂涂布装置100包括支撑部件101、架台102和控制部件103，所述树脂涂布装置100还包括：
喷雾式喷嘴104，其设置在所述支撑部件101上并与所述控制部件103电连接，对所述架台102上待涂布的基板200的部分区域进行树脂涂布；
针式喷嘴105，其设置在所述支撑部件101上并与所述控制部件103电连接，对所述架台102上待涂布的基板200的另一部分区域进行树脂涂布；
翻转部件106，其与所述控制部件103电连接，对基板200进行翻转；以及
搬送部件107，其与所述翻转部件106连接并搬送所述待涂布的基板200。
在本实用新型中，针式喷嘴105可以与喷雾式喷嘴104并列地设置于所述支撑部件101；翻转部件106可以与所述架台102并列地设置。但本实用新型不限于此，例如针式喷嘴105与所述喷雾式喷嘴104也可以以一定的倾斜角度被设置，或者翻转部件106可以设置在所述架台102上；可以根据实际需要确定具体的设置方式。
在本实用新型中，搬送部件107例如可以是安装在架台102上的传送带；但本实用新型不限于此，例如还可以是能够进行搬运部件的机械臂，等等。本实用新型仅以传送带为例进行说明。
由此，通过设置喷雾式喷嘴和针式喷嘴，可以通过一台喷涂装置实现对待涂布的基板的喷雾式喷涂和针式喷涂，使喷涂更加充分；并且通过设置翻转部件和搬送部件，能够在基板进行两面涂布之后再开始对基板两面进行后续加工处理，从而提高了基板整体的加工作业效率。
图2是本实用新型的基板的示例图，示例性示出了本实用新型中待涂布的基板的情况。如图2所示，基板200可以包括至少部分被高度高于预定高度h的电子元件包围的第二区域，例如如图2所示的电子元件201、202和203所包围的区域211，该区域211不包括这些电子元件201、202和203；这些电子元件可以是具有一定高度的电容器。
值得注意的是，此处所述的“包围”可以包括第二区域在周向上被全包围，或者在周向上部分被包围，或者在周向上被半包围，等等；该第二区域可以被多个电子元件包围，也可以由例如具有L型或U型等形状的一个电子元件所包围；本实用新型不对此进行限制。
此外，如图2所示，基板200可以包括配置有高度低于或等于预定高度h的电子元件的第一区域，例如如图2所示的区域212，该区域212中包括高度低于h的电子元件204、205、206以及其他区域等等。该预定高度h可以被预先设置，例如可以根据经验值或实验数据而确定。
在本实用新型中，对于所述待涂布的基板200上的配置有低于或等于预定高度的电子元件的第一区域，所述控制部件103可以控制所述喷雾式喷嘴104对所述第一区域进行树脂涂布。对于所述待涂布的基板上的至少部分被高于预定高度的电子元件所包围的第二区域，所述控制部件103可以控制所述针式喷嘴105对所述第二区域进行树脂涂布。
值得注意的是，本实用新型中的第一区域和第二区域以高度为例进行了说明，但本实用新型不限于此，例如还可以在高度的基础上考虑电子元件分布密度等信息，再例如还可以包括距离在预定数值内的周围区域，等等。
由此，通过设置喷雾式喷嘴和针式喷嘴共同作业，即使对于具有一定高度的电子元件所对应的区域也能够容易地进行树脂涂布，能够减少或消除树脂涂布不均甚至无法涂布的情况，使涂布更加充分。
在本实用新型中，所述控制部件103可以根据预定信息对所述喷雾式喷嘴104和所述针式喷嘴105进行控制；所述喷雾式喷嘴104和所述针式喷嘴105根据来自所述控制部件103的控制信息，可以交替地或者并行地对所述基板200的不同区域进行树脂涂布。
例如，对于某一待涂布的基板，可以预先确定各个配置有高度不一的电子元件区域，然后可以预先确定哪些区域由所述喷雾式喷嘴104进行涂布而哪些区域由所属针式喷嘴105进行涂布，并且预先确定喷嘴或基板的移动方向(例如前后左右)、工作高度、预定路径等等。可以将这些信息预先通过各种方式(例如编程或编码的方式)输入该控制部件103；所述控制部件103可以根据这些预定信息对所述喷雾式喷嘴104和所述针式喷嘴105进行控制。
由此，可以提高树脂涂布的作业效率。
在本实用新型中，所述控制部件103在所述基板200的一面(例如A面)被所述喷雾式喷嘴104和所述针式喷嘴105涂布完毕的情况下，可以控制搬送部件107将所述基板200搬送至翻转部件106处，并且控制所述翻转部件106对所述基板200进行180度翻转。
此外所述控制部件103还可以控制搬送部件107将所述基板200搬送回涂布位置，并且控制所述喷雾式喷嘴104和所述针式喷嘴105继续对所述基板200的另一面(例如与A面相反的B面，图1中B面与架台102接触而被遮挡，因而没有示出)进行树脂涂布。
例如，该翻转部件106可以包括转轴和驱动部件(例如马达)。所述基板200的一面(例如A面)在涂布位置(例如位置C)被涂布完毕之后，可以由搬送部件107(例如传送带)从涂布位置(例如位置C)传输到翻转位置(例如位置D)，由该翻转部件106对该基板200进行180度翻转后，再由搬送部件107(例如传送带)从该翻转位置(例如位置D)搬送回涂布位置(例如位置C)，所述喷雾式喷嘴104和所述针式喷嘴105继续在涂布位置(例如位置C)对所述基板200的另一面(例如B面)进行树脂涂布。
由此，通过设置翻转部件和搬送部件，能够在基板进行两面涂布之后再开始对基板两面进行后续加工处理，从而提高了基板整体的加工作业效率。
在本实用新型中，所述待涂布的基板200的一面可以在所述架台102的第一位置被树脂涂布，所述待涂布的基板200的另一面在所述架台102的第二位置被树脂涂布；所述第一位置与所述第二位置相比更靠近所述翻转部件。
例如，该翻转部件106可以包括转轴和驱动部件(例如马达)。所述基板200的一面(例如A面)在第一位置(例如位置E)被涂布完毕之后，可以由搬送部件107(例如传送带)从第一位置(例如位置E)传输到翻转位置(例如位置D)，由该翻转部件106对该基板200进行180度翻转后，再由搬送部件107(例如传送带)从该翻转位置(例如位置D)传输到第二位置(例如位置C)，所述喷雾式喷嘴104和所述针式喷嘴105继续在第二位置(例如位置C)对所述基板200的另一面(例如B面)进行树脂涂布。
由此，所述第一位置与所述第二位置相比更靠近所述翻转部件，节省了基板的搬送时间，能够进一步提高树脂涂布过程的效率。
值得注意的是，以上仅对本实用新型进行了示例性说明，但本实用新型不限于此，还可以在以上各个实施方式的基础上进行适当的变型。此外，以上仅对各个部件进行了示例性说明，但本实用新型不限于此，各个部件的具体内容还可以参考相关技术；此外还可以增加图1和图2中没有示出的部件，或者减少图1或图2中的一个或多个部件。
以上结合具体的实施方式对本实用新型进行了描述，但本领域技术人员应该清楚，这些描述都是示例性的，并不是对本实用新型保护范围的限制。本领域技术人员可以根据本实用新型的精神和原理对本实用新型做出各种变型和修改，这些变型和修改也在本实用新型的范围内。
以上参照附图描述了本实用新型的优选实施方式。这些实施方式的许多特征和优点根据该详细的说明书是清楚的，因此所附权利要求旨在覆盖这些实施方式的落入其真实精神和范围内的所有这些特征和优点。此外，由于本领域的技术人员容易想到很多修改和改变，因此不是要将本实用新型的实施方式限于所例示和描述的精确结构和操作，而是可以涵盖落入其范围内的所有合适修改和等同物。
Claims (7)
1.一种树脂涂布装置，包括支撑部件、架台和控制部件，其特征在于，所述树脂涂布装置还包括：
喷雾式喷嘴，其设置在所述支撑部件上并与所述控制部件电连接，对所述架台上待涂布的基板的部分区域进行树脂涂布；
针式喷嘴，其设置于所述支撑部件上并与所述控制部件电连接，对所述架台上的所述待涂布的基板的另一部分区域进行树脂涂布；
翻转部件，其与所述控制部件电连接，对所述待涂布的基板进行翻转；以及
搬送部件，其与所述翻转部件连接并搬送所述待涂布的基板。
2.根据权利要求1所述的树脂涂布装置，其中，对于所述待涂布的基板上的配置有低于或等于预定高度的电子元件的第一区域，所述控制部件控制所述喷雾式喷嘴对所述第一区域进行树脂涂布。
3.根据权利要求1所述的树脂涂布装置，其中，对于所述待涂布的基板上的至少部分被高于预定高度的电子元件所包围的第二区域，所述控制部件控制所述针式喷嘴对所述第二区域进行树脂涂布。
4.根据权利要求1所述的树脂涂布装置，其中，所述控制部件根据预定信息对所述喷雾式喷嘴和所述针式喷嘴进行控制，所述喷雾式喷嘴和所述针式喷嘴根据来自所述控制部件的控制信息交替地或者并行地对所述待涂布的基板的不同区域进行树脂涂布。
5.根据权利要求1至4任一项所述的树脂涂布装置，其中，所述控制部件在所述待涂布的基板的一面被所述喷雾式喷嘴和所述针式喷嘴涂布完毕的情况下，控制所述搬送部件将所述待涂布的基板搬送至所述翻转部件，并且控制所述翻转部件对所述待涂布的基板进行180度翻转。
6.根据权利要求5所述的树脂涂布装置，其中，所述控制部件还控制所述搬送部件将所述基板搬送至所述架台，并且控制所述喷雾式喷嘴和所述针式喷嘴继续对所述待涂布的基板的另一面进行树脂涂布。
7.根据权利要求6所述的树脂涂布装置，其中，所述待涂布的基板的一面在所述架台的第一位置被树脂涂布，所述待涂布的基板的另一面在所述架台的第二位置被树脂涂布；所述第一位置与所述第二位置相比更靠近所述翻转部件。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721632953.5U CN207996777U (zh) | 2017-11-30 | 2017-11-30 | 树脂涂布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721632953.5U CN207996777U (zh) | 2017-11-30 | 2017-11-30 | 树脂涂布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN207996777U true CN207996777U (zh) | 2018-10-23 |
Family
ID=63836336
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201721632953.5U Active CN207996777U (zh) | 2017-11-30 | 2017-11-30 | 树脂涂布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN207996777U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111151418A (zh) * | 2020-01-14 | 2020-05-15 | 南通理工学院 | 一种汽车生产用涂胶装置 |
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2017
- 2017-11-30 CN CN201721632953.5U patent/CN207996777U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN111151418A (zh) * | 2020-01-14 | 2020-05-15 | 南通理工学院 | 一种汽车生产用涂胶装置 |
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|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
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