CN207930506U - 一种6英寸蓝宝石晶棒端面平磨夹具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种6英寸蓝宝石晶棒端面平磨夹具。该夹具包括底座、固定装置、保护胶圈、连接轴、六角螺栓、螺母、翼形旋钮、斜齿轮和调节螺杆。该夹具底座为上下面平行的方形铁板，固定装置通过四根调节螺杆与底座相连。翼形旋钮通过斜齿轮连接调节螺杆，以控制固定装置和底座的距离。固定装置内侧设有保护胶圈，通过六角螺栓和螺母来固定晶棒。该夹具通过电磁装置固定在平面磨床操作台。本实用新型可快速固定、拆卸6英寸蓝宝石晶棒，保证蓝宝石晶棒端面平磨的准确率，操作简便，节省人力，工作效率高。
Description
技术领域
本实用新型涉及大尺寸蓝宝石晶棒加工领域，具体涉及一种6英寸蓝宝石晶棒端面平磨夹具。
背景技术
α-Al2O3单晶又称蓝宝石，俗称刚玉，是一种简单配位型氧化物晶体。蓝宝石晶体具有优异的光学性能、物理性能和稳定的化学性能，广泛应用于高亮度LED衬底材料、各种光学元器件、窗口材料。
众所周知，采用大尺寸蓝宝石衬底可有效降低LED芯片成本，大尺寸衬底可以在每个MOCVD轮次中制作更多的芯片。由于LED芯片存在边缘无效区，所以直径越大，芯片数量比与直径比优势越明显，以6英寸蓝宝石衬底为例，表面积是2英寸的9倍，芯片数量确是2英寸的10.9倍。所以衬底尺寸越大，芯片数量优势越明显。
蓝宝石晶体具有各向异性的特点，LED衬底采用c向蓝宝石晶片，为了更好地与外延层晶格匹配，减少外延层缺陷，在加工过程中要严格控制蓝宝石晶棒的晶向，需要对蓝宝石晶棒进行端面平磨纠角。采用松香封蜡的粘胶工艺在固定、拆卸晶棒时均需要采用铁板加热，加工效率低。同时，在加热过程中会产生刺激性气体，存在安全隐患。蓝宝石晶体的密度为3.98g/cm3，长度为20cm的6英寸蓝宝石晶棒重量约为15kg，在粘胶过程中不利于操作。
发明内容
本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种高精度、高效率的6英寸蓝宝石晶棒端面平磨夹具。
本实用新型的目的是这样实现的：它包括底座、固定装置、连接轴、六角螺栓、螺母、翼形旋钮、斜齿轮和调节螺杆，固定装置通过调节螺杆与底座连接，固定装置内侧设有保护胶圈，并通过六角螺栓和螺母固定晶棒，翼形旋钮通过斜齿轮连接调节螺杆，以控制固定装置和底座的距离，调节翼形旋钮确保晶棒底面与底座上表面完全贴合。
本实用新型夹具平行放置在平面磨床操作台上，根据晶向偏差选择对应的塞尺，最后通过电磁装置固定夹具，对晶棒进行磨削。
本实用新型还有这样一些特征：
1.所述的底座为上下面平行的正方形铁板，其厚度为1-2cm。
2.所述翼形旋钮设置在固定装置上，通过斜齿轮与调节螺杆相连接。
3.所述翼形旋钮可在无扳手辅助下，使得晶棒底面和底座上面完全贴合。
4.所述固定装置为不锈钢环，通过连接轴相连，采用螺栓和螺母能够达到较好的固定晶棒的效果。
本实用新型的有益效果有：
1.本实用新型能快速的固定、拆卸大尺寸蓝宝石晶棒。
2.本实用新型克服了采用粘胶工艺效率低，存在安全隐患等问题。
3.本实用新型在工作过程步骤简单，节省人力。
附图说明
图1为本实用新型俯视图；
图2为本实用新型主视图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。
结合图1-2，本实施例6英寸蓝宝石晶棒端面平磨夹具为方台分层结构，固定装置2通过调节螺杆9与底座1连接。固定装置内侧设有保护胶圈3，通过六角螺栓5和螺母6来固定晶棒。翼形旋钮7通过斜齿轮8连接调节螺杆，以控制固定装置和底座的距离，调节翼形旋钮确保晶棒底面与底座上表面完全贴合。将该夹具平行放置在平面磨床操作台上。
本实施列具体步骤如下：
（1）采用XRD衍射仪上确定6英寸蓝宝石晶棒端面的晶向偏差，将晶向偏差值标记对应的晶棒柱面上。
（2）将蓝宝石晶棒放置在夹具上，偏差标记的一侧对准底座任意一边的中点。
（3）用扳手旋转六角螺栓固定晶棒。
（4）通过调节翼形旋钮使晶棒底面与底座上表面完全贴合。
（5）根据晶向偏差选择对应的塞尺，垫在标记最后通过电磁装置固定夹具，对晶棒进行磨削。
以上内容是结合具体的优选实施方式对本发明所做的进一步详细说明，不能认定本发明的具体实施只限于这些说明。对于具有本发明所属领域基础知识的人员来讲，可以很容易对本发明进行变更和修改，这些变更和修改都应当视为属于本发明所提交的权利要求书确定的专利保护范围。
Claims (3)
1.一种6英寸蓝宝石晶棒端面平磨夹具，其特征在于它包括底座、固定装置、连接轴、六角螺栓、螺母、翼形旋钮、斜齿轮和调节螺杆，固定装置通过调节螺杆与底座连接，固定装置内侧设有保护胶圈，并通过六角螺栓和螺母固定晶棒，翼形旋钮通过斜齿轮连接调节螺杆，以控制固定装置和底座的距离，调节翼形旋钮确保晶棒底面与底座上表面完全贴合。
2.根据权利要求1所述的一种6英寸蓝宝石晶棒端面平磨夹具，其特征在于所述的底座为上下面平行的正方形铁板，其厚度为1-2cm。
3.根据权利要求2所述的一种6英寸蓝宝石晶棒端面平磨夹具，其特征在于所述翼形旋钮设置在固定装置上，通过斜齿轮与调节螺杆相连接。
Priority Applications (1)
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| CN201820273211.6U CN207930506U (zh) | 2018-02-26 | 2018-02-26 | 一种6英寸蓝宝石晶棒端面平磨夹具 |
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| CN201820273211.6U CN207930506U (zh) | 2018-02-26 | 2018-02-26 | 一种6英寸蓝宝石晶棒端面平磨夹具 |
Publications (1)
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Cited By (1)
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| CN109571258A (zh) * | 2018-12-25 | 2019-04-05 | 内蒙古晶环电子材料有限公司 | 一种用于蓝宝石晶棒定向与端面研磨的固定装置 |
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2018
- 2018-02-26 CN CN201820273211.6U patent/CN207930506U/zh active Active
Cited By (2)
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| CN109571258A (zh) * | 2018-12-25 | 2019-04-05 | 内蒙古晶环电子材料有限公司 | 一种用于蓝宝石晶棒定向与端面研磨的固定装置 |
| CN109571258B (zh) * | 2018-12-25 | 2023-11-14 | 内蒙古晶环电子材料有限公司 | 一种用于蓝宝石晶棒定向与端面研磨的固定装置 |
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