CN207606633U - 蓝宝石晶棒c面修正用自动定向辅助装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种蓝宝石晶棒c面修正用自动定向辅助装置，该装置为方台分层结构，包括底座、夹具、滚轮、升降装置、左侧旋钮、右侧旋钮、电源按钮、喷嘴、墨盒和固定螺钉，夹具为空心圆柱面，夹具左侧旋钮连接圆柱面底部滚轮，电源按钮控制同步电机驱动滚轮用于调节晶棒旋转角度，夹具右侧旋钮可调节夹具的高度，右侧喷嘴用于标记晶向偏差方向，夹具中空心圆柱面最低面高度要在XRD衍射仪测量板以下，该装置设置在XRD衍射仪测量板的后面。本实用新型能够快速确定蓝宝石晶棒c面在加工过程中产生的晶向偏差，操作简便，节省人力，工作效率高。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种蓝宝石晶棒端面定向辅助装置，具体涉及蓝宝石晶棒c面修正用自动定向辅助装置。
背景技术
α-Al2O3单晶又称蓝宝石，俗称刚玉，是一种简单配位型氧化物晶体。蓝宝石晶体具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性，强度高、硬度大、耐冲刷，可在接近2000℃高温的恶劣条件下工作，因而被广泛的应用于红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料。其独特的晶格结构、优异的力学性能、良好的热学性能使蓝宝石晶体成为实际应用的半导体GaN/Al2O3发光二极管(LED)。
蓝宝石晶体具有各向异性的特点，在不同的方向上晶体的性质不同，在加工过程中要严格控制蓝宝石晶体的晶向，蓝宝石晶片是目前LED市场中蓝光GaN外延基板的首选材料。为了更好地与外延层晶格匹配，减少外延层缺陷，对蓝宝石衬底片晶向具有严格的要求，一般晶向偏差要求在3~6分。因此，在晶棒加工过程中需要对晶棒的c面晶向进行修正。
当前对c面的修正是通过肉眼来观察晶棒的端面上所划的定位直线在另一端面确定垂直方向的偏差，然后用磨床磨削，该方法易造成人为定位偏差。需要进行多次修正直至晶棒c向精度达到要求为止，会极大浪费设备利用率和操作时间，影响加工效率。
发明内容
本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种高精度、高效率蓝宝石晶棒c面修正用自动定向辅助装置。
本实用新型的目的是这样实现的：定向辅助装置为方台分层结构，包括底座1、夹具2、滚轮3、升降装置4、左侧旋钮5、电源按钮6、右侧旋钮9，夹具通过升降装置设置在底座上，夹具为空心圆柱面，圆柱面底部设有滚轮，夹具左侧设置有控制晶棒旋转角度的左侧旋钮，左侧旋钮5连接圆柱面底部滚轮3及同步电机，右侧设置有连接控制夹具的升降装置及同步电机的右侧旋钮，空心圆柱面中心轴对准XRD衍射仪测量板中心处，端面为c面的蓝宝石晶棒放置在空心圆柱面内，晶棒的中心轴平行于定向辅助装置的中心轴，电源按钮连接同步电机，同步电机连接滚轮3及升降装置。
本实用新型还有这样一些特征：
1.所述的底座为直角设计，通过固定螺钉10设置在XRD衍射仪测量板的后面。
2. 所述夹具的空心圆柱面为半圆柱面，最低面高度低于测量板，适用于不同长度晶棒c面修正定向。
3. 所述夹具左侧旋钮用于调节晶棒旋转角度，夹具右侧旋钮可调节夹具的高度，圆柱面底部滚轮连接同步电机。
4.所述的夹具右侧设置墨水喷嘴，用来标记晶向偏差方向，喷嘴7连接墨盒8。
本实用新型的有益效果有：
1.本实用新型能快速、准确测定蓝宝石端面晶向偏差。
2.本实用新型克服了采用人工定向和肉眼观察导致精度不高的问题。
3.本实用新型在工作过程中自动化程度较高，节省人力。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为图1的侧视图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。
结合图1，本实施例定向辅助装置为方台分层结构，夹具2的左侧旋钮5连接空心圆柱面底部滚轮3及同步电机用于调节晶棒旋转角度，右侧旋钮9可调节夹具的高度，夹具中空心圆柱最低面高度要在测量板以下，该装置设在XRD射线衍射仪测量板的后面。
本实施列具体步骤如下：
（1）将该辅助装置安装于XRD射线衍射仪测量板后面的样品台上，空心圆柱面中心轴对准测量板中心处。
（2）将端面为c面的蓝宝石晶棒放置在定向辅助装置的空心圆柱面内，使晶棒的中心轴平行于定向辅助装置的中心轴。
（3）调节晶棒旋转角度和晶棒高度，确定一个c面晶向较好的方向。
（4）按下电源按钮6，同步电机驱动滚轮将晶棒旋转90°后，喷嘴7在晶棒弧面自动标示出晶向偏差方向，将XRD射线衍射仪确定的晶向偏差标记在晶棒上。
（5）根据晶向偏差角度对晶棒进行磨削。
以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所做的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只限于这些说明。对于具有本实用新型所属领域基础知识的人员来讲，可以很容易对本实用新型进行变更和修改，这些变更和修改都应当视为属于本实用新型所提交的权利要求书确定的专利保护范围。
Claims (4)
1.一种蓝宝石晶棒c面修正用自动定向辅助装置，其特征在于它为方台分层结构，包括底座、夹具、滚轮、升降装置、左侧旋钮、电源按钮、右侧旋钮，夹具通过升降装置设置在底座上，夹具为空心圆柱面，圆柱面底部设有滚轮，夹具左侧设置有控制晶棒旋转角度的左侧旋钮，左侧旋钮连接圆柱面底部滚轮及同步电机，右侧设置有连接控制夹具的升降装置及同步电机的右侧旋钮，空心圆柱面中心轴对准XRD衍射仪测量板中心处，端面为c面的蓝宝石晶棒放置在空心圆柱面内，晶棒的中心轴平行于定向辅助装置的中心轴，电源按钮连接同步电机，同步电机连接滚轮及升降装置。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶棒c面修正用自动定向辅助装置，其特征在于所述的底座为直角设计，通过固定螺钉设置在XRD衍射仪测量板的后面。
3.根据权利要求2所述的一种蓝宝石晶棒c面修正用自动定向辅助装置，其特征在于所述夹具的空心圆柱面为半圆柱面，最低面高度低于测量板。
4.根据权利要求3所述的一种蓝宝石晶棒c面修正用自动定向辅助装置，其特征在于所述的夹具右侧设置有用来标记晶向偏差方向的墨水喷嘴，墨水喷嘴连接墨盒。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201721821338.9U CN207606633U (zh) | 2017-12-23 | 2017-12-23 | 蓝宝石晶棒c面修正用自动定向辅助装置 |
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|---|---|---|---|
| CN201721821338.9U CN207606633U (zh) | 2017-12-23 | 2017-12-23 | 蓝宝石晶棒c面修正用自动定向辅助装置 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN201721821338.9U Active CN207606633U (zh) | 2017-12-23 | 2017-12-23 | 蓝宝石晶棒c面修正用自动定向辅助装置 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108000291A (zh) * | 2017-12-23 | 2018-05-08 | 哈尔滨秋冠光电科技有限公司 | 蓝宝石晶棒c面修正用自动定向辅助装置 |
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2017
- 2017-12-23 CN CN201721821338.9U patent/CN207606633U/zh active Active
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