CN207891459U - 一体式单晶炉底腔 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提出一种一体式单晶炉底腔,包括下炉体与炉底盘,下炉体顶部与上炉体相连,其底部与炉底盘相连,炉底盘置于基座上,下炉体两端开口,其顶部边缘具有转接环,转接环向下炉体外侧伸出,下炉体通过该转接环与上炉体相连,下炉体底部具有底板,底板的直径大于下炉体的直径,由底板将下炉体底部封住;炉底盘的直径与底板一致,炉底盘中部向下方凸出,其边缘与炉底盘边缘焊接相连,在炉底盘与底板之间形成隔离腔,底板底部焊接有隔条,隔条沿底板中心向外螺旋延伸,在隔离腔内形成底部螺旋水路。该单晶炉底腔把炉底盘与下炉体设计成一个整体,炉底盘与下炉体的法兰用焊接方式进行结合,可节约零件加工时间,减少装配时间,节约材料成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉,尤其涉及一种一体式单晶炉底腔。
背景技术
常用的单晶炉底腔是由炉底盘与下炉体组装而成,在制造过程中分别对炉底盘与下炉体进行机械加工,而在安装过程中还要组装在一起,中间用氟橡胶进行密封连接。由于采用分体式结构,对各部件的加工精密度以及组装工艺有较高要求,并且氟橡胶需要采用特定设备生产,增加了设备、材料成本和加工时间,组装后还需要考虑后期维护工作。因此有必要对这种单晶炉底腔进行结构优化,以克服上述缺陷。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种一体式单晶炉底腔,以减少材料成本,节约加工时间。
本实用新型为解决其技术问题所采用的技术方案是:
一体式单晶炉底腔,包括下炉体与炉底盘,下炉体顶部与上炉体相连,其底部与炉底盘相连,炉底盘置于基座上,其中:
下炉体两端开口,其顶部边缘具有转接环,转接环向下炉体外侧伸出,下炉体通过该转接环与上炉体相连,下炉体底部具有底板,底板的直径大于下炉体的直径,由底板将下炉体底部封住;
炉底盘的直径与底板一致,炉底盘中部向下方凸出,其边缘与炉底盘边缘焊接相连,在炉底盘与底板之间形成隔离腔,底板底部焊接有隔条,隔条沿底板中心向外螺旋延伸,在隔离腔内形成底部螺旋水路,底板中部设有轴套,轴套顶端与下炉体内部连通,其底端贯穿炉底盘向外伸出,轴套底端具有卷边,卷边向轴套外侧翻卷,轴套外部包覆有套壳,套壳一端焊接于炉底盘底部,其另一端与卷边焊接相连,套壳的直径大于轴套的直径,在套壳与轴套之间形成冷却腔,冷却腔与底部螺旋水路内端连通,炉底盘底部焊接有进水管,进水管内端与底部螺旋水路外端连通,套壳侧壁具有焊接有出水管,出水管内端与冷却腔连通,进水管及出水管外端与供水设备连通,由供水设备向隔离腔及冷却腔内输入冷却水。
下炉体包括内筒与外筒,外筒包覆于内筒外部,在外筒与内筒之间形成侧腔,转接环焊接于外筒与内筒顶端,底板焊接于外筒与内筒底端,外筒内壁焊接有棱条,棱条以外筒的轴线为中轴螺旋延伸,在外筒与内筒之间形成侧部螺旋水路,外筒外壁焊接有进液管与出液管,进液管内端与侧部螺旋水路顶端连通,出液管内端与侧部螺旋水路底端连通,进液管及出液管外端与冷却液供应设备连通,由冷却液供应设备向侧部螺旋水路输入冷却液。
底板中设有一组轴管,各轴管以轴套为中心呈圆形阵列,各轴管贯穿底板与炉底盘,其顶端与底板焊接相连,其底端与炉底盘焊接相连,使下炉体与外部连通。
炉底盘底部设有一组温度传感器,各温度传感器以轴套为中心呈圆形阵列。
炉底盘底部边缘具有一组定位孔,定位孔沿炉底盘的周向均匀排布,炉底盘通过该定位孔与基座相连。
本实用新型的优点在于:
该单晶炉底腔把炉底盘与下炉体设计成一个整体,炉底盘与下炉体的法兰用焊接方式进行结合,由于零部件减少,可节约零件加工时间,减少装配时间,节约材料成本。
附图说明
图1是本实用新型提出的一体式单晶炉底腔的结构示意图;
图2是该一体式单晶炉底腔的纵剖面结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合图示与具体实施例,进一步阐述本实用新型。
如图1、图2所示,本实用新型提出的一体式单晶炉底腔包括下炉体1与炉底盘2,下炉体顶部与上炉体相连,其底部与炉底盘相连,炉底盘置于基座上,下炉体两端开口,其顶部边缘具有转接环3,转接环向下炉体外侧伸出,下炉体通过该转接环与上炉体相连,下炉体底部具有底板4,底板的直径大于下炉体的直径,由底板将下炉体底部封住;炉底盘的直径与底板一致,炉底盘中部向下方凸出,其边缘与炉底盘边缘焊接相连,在炉底盘与底板之间形成隔离腔,底板底部焊接有隔条,隔条沿底板中心向外螺旋延伸,在隔离腔内形成底部螺旋水路,底板中部设有轴套5,轴套顶端与下炉体内部连通,其底端贯穿炉底盘向外伸出,轴套底端具有卷边6,卷边向轴套外侧翻卷,轴套外部包覆有套壳7,套壳一端焊接于炉底盘底部,其另一端与卷边焊接相连,套壳的直径大于轴套的直径,在套壳与轴套之间形成冷却腔,冷却腔与底部螺旋水路内端连通,炉底盘底部焊接有进水管,进水管内端与底部螺旋水路外端连通,套壳侧壁具有焊接有出水管,出水管内端与冷却腔连通,进水管及出水管外端与供水设备连通,由供水设备向隔离腔及冷却腔内输入冷却水。下炉体包括内筒8与外筒9,外筒包覆于内筒外部,在外筒与内筒之间形成侧腔,转接环焊接于外筒与内筒顶端,底板焊接于外筒与内筒底端,外筒内壁焊接有棱条,棱条以外筒的轴线为中轴螺旋延伸,在外筒与内筒之间形成侧部螺旋水路,外筒外壁焊接有进液管10与出液管 11,进液管内端与侧部螺旋水路顶端连通,出液管内端与侧部螺旋水路底端连通,进液管及出液管外端与冷却液供应设备连通,由冷却液供应设备向侧部螺旋水路输入冷却液。底板中设有一组轴管12,各轴管以轴套为中心呈圆形阵列,各轴管贯穿底板与炉底盘,其顶端与底板焊接相连,其底端与炉底盘焊接相连,使下炉体与外部连通。炉底盘底部设有一组温度传感器,各温度传感器以轴套为中心呈圆形阵列。炉底盘底部边缘具有一组定位孔,定位孔沿炉底盘的周向均匀排布,炉底盘通过该定位孔与基座相连。该单晶炉底腔把炉底盘与下炉体设计成一个整体,炉底盘与下炉体的法兰用焊接方式进行结合,由于零部件减少,可节约零件加工时间,减少装配时间,节约材料成本。
以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点,其目的在于让本领域的技术人员了解本实用新型的内容并加以实施,并不能以此限制本实用新型的保护范围,凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰,都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
Claims (5)
1.一体式单晶炉底腔,包括下炉体与炉底盘,下炉体顶部与上炉体相连,其底部与炉底盘相连,炉底盘置于基座上,其特征在于:
下炉体两端开口,其顶部边缘具有转接环,转接环向下炉体外侧伸出,下炉体通过该转接环与上炉体相连,下炉体底部具有底板,底板的直径大于下炉体的直径,由底板将下炉体底部封住;
炉底盘的直径与底板一致,炉底盘中部向下方凸出,其边缘与炉底盘边缘焊接相连,在炉底盘与底板之间形成隔离腔,底板底部焊接有隔条,隔条沿底板中心向外螺旋延伸,在隔离腔内形成底部螺旋水路,底板中部设有轴套,轴套顶端与下炉体内部连通,其底端贯穿炉底盘向外伸出,轴套底端具有卷边,卷边向轴套外侧翻卷,轴套外部包覆有套壳,套壳一端焊接于炉底盘底部,其另一端与卷边焊接相连,套壳的直径大于轴套的直径,在套壳与轴套之间形成冷却腔,冷却腔与底部螺旋水路内端连通,炉底盘底部焊接有进水管,进水管内端与底部螺旋水路外端连通,套壳侧壁具有焊接有出水管,出水管内端与冷却腔连通,进水管及出水管外端与供水设备连通,由供水设备向隔离腔及冷却腔内输入冷却水。
2.根据权利要求1所述的一体式单晶炉底腔,其特征在于:
下炉体包括内筒与外筒,外筒包覆于内筒外部,在外筒与内筒之间形成侧腔,转接环焊接于外筒与内筒顶端,底板焊接于外筒与内筒底端,外筒内壁焊接有棱条,棱条以外筒的轴线为中轴螺旋延伸,在外筒与内筒之间形成侧部螺旋水路,外筒外壁焊接有进液管与出液管,进液管内端与侧部螺旋水路顶端连通,出液管内端与侧部螺旋水路底端连通,进液管及出液管外端与冷却液供应设备连通,由冷却液供应设备向侧部螺旋水路输入冷却液。
3.根据权利要求1所述的一体式单晶炉底腔,其特征在于:
底板中设有一组轴管,各轴管以轴套为中心呈圆形阵列,各轴管贯穿底板与炉底盘,其顶端与底板焊接相连,其底端与炉底盘焊接相连,使下炉体与外部连通。
4.根据权利要求1所述的一体式单晶炉底腔,其特征在于:
炉底盘底部设有一组温度传感器,各温度传感器以轴套为中心呈圆形阵列。
5.根据权利要求1所述的一体式单晶炉底腔,其特征在于:
炉底盘底部边缘具有一组定位孔,定位孔沿炉底盘的周向均匀排布,炉底盘通过该定位孔与基座相连。
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CN201721616209.6U CN207891459U (zh) | 2017-11-28 | 2017-11-28 | 一体式单晶炉底腔 |
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CN201721616209.6U Active CN207891459U (zh) | 2017-11-28 | 2017-11-28 | 一体式单晶炉底腔 |
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Cited By (1)
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CN114808145A (zh) * | 2022-05-05 | 2022-07-29 | 倪建刚 | 一种快速降温的单晶炉底盘及其使用方法 |
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2017
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN114808145A (zh) * | 2022-05-05 | 2022-07-29 | 倪建刚 | 一种快速降温的单晶炉底盘及其使用方法 |
CN114808145B (zh) * | 2022-05-05 | 2024-04-12 | 倪建刚 | 一种快速降温的单晶炉底盘及其使用方法 |
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