CN207891417U - 一种软体离子反应复合膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种软体离子反应复合膜机，包括机体，机体的内部通过差压板分隔为蒸发室和真空室两个腔室，差压板的中部设有开口，开口的内部设有电子束蒸发源，电子束蒸发源的顶端通过弧形电子通道置于真空室的内部设有电子枪，电子束蒸发源的表面缠绕有S型水冷管，蒸发室一侧的底部和真空室底端的中部均开设有真空通道。本实用新型通过设有的基板起到承载离子复合膜的作用，通过设有的温控开关起到感应蒸发室内部温度的作用，从而控制红外加热灯管工作，使得内部的温度升高，从而提高软体离子反应的效率，通过设有的电机驱动扇叶转动，从而使得蒸发室内部的温度均匀且鼓入基板上，降低了温度对离子反应造成的影响。

Description

一种软体离子反应复合膜机

技术领域

本实用新型涉及复合膜机技术领域，具体为一种软体离子反应复合膜机。

背景技术

离子复合是在真空蒸发复合和溅射复合膜的基础上发展起来的一种复合膜新技术，将各种气体放电方式引入到气相沉积领域，整个气相沉积过程都是在等离子体中进行的。离子复合大大提高了膜层粒子能量，可以获得更优异性能的膜层，扩大了“薄膜”的应用领域。是一项发展迅速、受人青睐的新技术。广义来讲，离子复合膜的特点是：复合膜时，工件(基片)带负偏压，工件始终受高能离子的轰击。形成膜层的膜基结合力好、膜层的绕复合性好、膜层组织可控参数多、膜层粒子总体能量高，容易进行反应沉积，可以在较低温度下获得化合物膜层。

传统的离子复合膜机结构复杂，造价高昂，且条件苛刻，不适用于中小型企业使用，且在进行复合膜时，基板直接受到离子轰击，会对基板造成损坏，同时轰击的面不均匀，会造成复合膜的厚度不一，电子束蒸发源在长时间工作后，一直处于高温状态，对其本身造成严重的符合，需要经常更换电子束蒸发源，造成成本的增高，同时现有的离子复合膜机缺少对内部温度的控制，从而会导致温度过高会过低对离子反应产生影响，因此我们对此做出改进，提出一种软体离子反应复合膜机。

实用新型内容

为解决现有技术存在的结构复杂、缺少对温度的控制且效率低的缺陷，本实用新型提供一种软体离子反应复合膜机。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种软体离子反应复合膜机，包括机体，所述机体的内部通过差压板分隔为蒸发室和真空室两个腔室，所述差压板的中部设有开口，所述开口的内部设有电子束蒸发源，所述电子束蒸发源的顶端通过弧形电子通道置于真空室的内部设有电子枪，所述电子束蒸发源的表面缠绕有S型水冷管，所述蒸发室一侧的底部和真空室底端的中部均开设有真空通道，两个所述真空通道的一端分别连接有第一真空机组和第二真空机组，所述蒸发室的内部穿插连接有气体管道，所述气体管道的一端置于蒸发室的内部套接有反应气体导入环，所述气体管道的顶部置于蒸发室的内侧壁固定安装有探极，所述蒸发室的两个内侧壁均设有红外加热灯管，所述蒸发室其中一个内侧壁的顶部固定安装有温控开关，所述机体内部的顶端设有扇叶，所述机体的顶端固定安装有电机，所述电机的输出轴与转轴传动连接，所述转轴的一端穿过机体与扇叶中部设有的套环连接，所述扇叶的底部置于蒸发室的内部设有基板，所述基板的两端均通过连接杆与蒸发室的两个内侧壁固定连接，所述红外加热灯管和电机均通过温控开关与电源电性连接，所述探极、第一真空机组和第二真空机组均通过开关与电源电性连接。

进一步的，所述S型水冷管的两端分别穿过机体置于机体底部的两端。

进一步的，所述探极与气体管道的位置相对。

进一步的，所述机体顶部的一端固定设有进出料口。

进一步的，所述红外加热灯管的中部固定设有安装座。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：该种软体离子反应复合膜机，通过设有的基板起到承载离子复合膜的作用，通过设有的温控开关起到感应蒸发室内部温度的作用，从而控制红外加热灯管工作，使得内部的温度升高且使得温度保持恒定，从而提高软体离子反应的效率，通过设有的电机驱动扇叶转动，从而使得蒸发室内部的温度均匀且鼓入基板上，便于离子的反应，同时使得基板在接收离子复合膜时可以均匀，通过设有的探极起到拦截一次电子的作用，减小对基板的轰击，避免基板损伤，通过设有的差压板起到防止蒸发飞溅物进入电子枪工作室的作用，通过设有的S型水冷管能够对电子束蒸发源进行降温，降低其负荷，延长其使用寿命，通过设有的第一真空机组合第二真空机组起到抽空机体内部气体的作用，防止气压对离子反应造成影响。

附图说明

图1是本实用新型一种软体离子反应复合膜机的结构示意图；

图2是本实用新型一种软体离子反应复合膜机局部内部的侧视图。

图中：1、机体；2、蒸发室；3、真空室；4、探极；5、气体管道；6、反应气体导入环；7、差压板；8、第一真空机组；9、第二真空机组；10、电子束蒸发源；11、电子枪；12、S型水冷管；13、红外加热灯管；14、扇叶；15、温控开关；16、电机；17、安装座；18、基板。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

如图1-2所示，一种软体离子反应复合膜机，包括机体1，机体1的内部通过差压板7分隔为蒸发室2和真空室3两个腔室，差压板7的中部设有开口，开口的内部设有电子束蒸发源10，电子束蒸发源10的顶端通过弧形电子通道置于真空室3的内部设有电子枪11，电子束蒸发源10的表面缠绕有S型水冷管12，蒸发室2一侧的底部和真空室3底端的中部均开设有真空通道，两个真空通道的一端分别连接有第一真空机组8和第二真空机组9，蒸发室2的内部穿插连接有气体管道5，气体管道5的一端置于蒸发室2的内部套接有反应气体导入环6，气体管道5的顶部置于蒸发室2的内侧壁固定安装有探极4，蒸发室2的两个内侧壁均设有红外加热灯管13，蒸发室2其中一个内侧壁的顶部固定安装有温控开关15，机体1内部的顶端设有扇叶14，机体1的顶端固定安装有电机16，电机16的输出轴与转轴传动连接，转轴的一端穿过机体1与扇叶14中部设有的套环连接，扇叶14的底部置于蒸发室2的内部设有基板18，基板18的两端均通过连接杆与蒸发室2的两个内侧壁固定连接，红外加热灯管13和电机16均通过温控开关15与电源电性连接，探极4、第一真空机组8和第二真空机组9均通过开关与电源电性连接。

其中，S型水冷管12的两端分别穿过机体1置于机体1底部的两端，便于S型水冷管12的两端分别与水冷装置的出水口和进水口连接。

其中，探极4与气体管道5的位置相对，便于在探极4和气体管道5之间充斥着软体离子。

其中，机体1顶部的一端固定设有进出料口，进出料口便于工作人员向机体1内投放物料。

其中，红外加热灯管13的中部固定设有安装座17，安装座17起到安装固定红外加热灯管13的作用。

需要说明的是，本实用新型为一种软体离子反应复合膜机，具体工作时，首先，工作人员通过进出料口将物料投放至机体1内，然后将复合膜置于基板18的顶端，然后通过开关打开第一真空机组8和第二真空机组9，使得蒸发室2和真空室3的内部气体抽空，防止气压对离子反应造成影响，温控开关15感应机体1内部的温度，控制红外加热灯管13工作，产生热量，同时控制电机16驱动，带动扇叶14转动，使得蒸发室2内部的温度均匀，当达到预定温度时，温控开关15控制红外加热灯管13停止工作，使得内部温度保持恒定，接着工作人员将S型水冷管12的两端分别接入水冷装置的出水口和进水口，通过水冷对电子束蒸发源10进行降温，防止温度过高，影响其工作效率。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (5)

1.一种软体离子反应复合膜机，包括机体(1)，其特征在于，所述机体(1)的内部通过差压板(7)分隔为蒸发室(2)和真空室(3)两个腔室，所述差压板(7)的中部设有开口，所述开口的内部设有电子束蒸发源(10)，所述电子束蒸发源(10)的顶端通过弧形电子通道置于真空室(3)的内部设有电子枪(11)，所述电子束蒸发源(10)的表面缠绕有S型水冷管(12)，所述蒸发室(2)一侧的底部和真空室(3)底端的中部均开设有真空通道，两个所述真空通道的一端分别连接有第一真空机组(8)和第二真空机组(9)，所述蒸发室(2)的内部穿插连接有气体管道(5)，所述气体管道(5)的一端置于蒸发室(2)的内部套接有反应气体导入环(6)，所述气体管道(5)的顶部置于蒸发室(2)的内侧壁固定安装有探极(4)，所述蒸发室(2)的两个内侧壁均设有红外加热灯管(13)，所述蒸发室(2)其中一个内侧壁的顶部固定安装有温控开关(15)，所述机体(1)内部的顶端设有扇叶(14)，所述机体(1)的顶端固定安装有电机(16)，所述电机(16)的输出轴与转轴传动连接，所述转轴的一端穿过机体(1)与扇叶(14)中部设有的套环连接，所述扇叶(14)的底部置于蒸发室(2)的内部设有基板(18)，所述基板(18)的两端均通过连接杆与蒸发室(2)的两个内侧壁固定连接，所述红外加热灯管(13)和电机(16)均通过温控开关(15)与电源电性连接，所述探极(4)、第一真空机组(8)和第二真空机组(9)均通过开关与电源电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种软体离子反应复合膜机，其特征在于，所述S型水冷管(12)的两端分别穿过机体(1)置于机体(1)底部的两端。

3.根据权利要求1所述的一种软体离子反应复合膜机，其特征在于，所述探极(4)与气体管道(5)的位置相对。

4.根据权利要求1所述的一种软体离子反应复合膜机，其特征在于，所述机体(1)顶部的一端固定设有进出料口。

5.根据权利要求1所述的一种软体离子反应复合膜机，其特征在于，所述红外加热灯管(13)的中部固定设有安装座(17)。