CN207844254U - 一种基板传送装置及基板检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及显示面板检测领域，具体地指一种基板传送装置及基板检测装置。包括底座；移载平台，用以承载基板，其上设置多个开槽，且可沿X方向移动；移载平台具有平台支座，且通过平台支座连接底座；入料传送装置，位于入料端，其上沿Y方向设置有多排第一入料机构；以及出料传送装置，位于出料端，其上沿X方向设置有多排第一出料机构；移载平台位于入料端时，第一入料机构进入开槽，用以将基板传送至移载平台上；移载平台位于出料端时，第一出料机构进入开槽，用以将基板从移载平台上移出。本实用新型的装置结构简单，传输结构布置方便，侵占空间小，能够降低整个装置的体积，提高玻璃基板的传送效率和安全性，具有极大的推广价值。

Description

一种基板传送装置及基板检测装置

技术领域

本实用新型涉及显示面板检测领域，具体地指一种基板传送装置及基板检测装置。

背景技术

显示面板的制备需要经过多个工序，经过多个工序的制程过程和各工序间的搬运传输等过程，在上述过程中，可能出现生产制程的异常，导致各类型的制程异常，或者基板的边缘也有可能会发生破损、裂片或污染等缺陷，而这些缺陷会对平板显示器品质产生重大影响，因此需要检查基板是否存在缺陷。例如基板边缘检查时，现有玻璃基板边缘检测的方式为：玻璃基板通过进料输送机构进入到移载平台上，移载平台承载基板移动至CCD传感器的下方，通过CCD对玻璃基板的边缘进行检测，然后移载平台驱动玻璃基板旋转90°，对玻璃基板的另外两条侧边进行检测。现有边缘检测机构在衔接出料输送机构、移载平台和出料输送机构的都是吸盘或是夹持结构一类结构较为复杂的装置，这类结构通常布置在移载平台的上方，从上至下吸附或是夹取玻璃基板，然后将其转移到移载平台。布置这类基板移动装置需要占用大量的设备空间，而现有机台设备空间有限，如何利用有限的空间布置合理的基板移动装置是目前需要解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的就是要解决上述背景技术中提到的现有玻璃基板移动装置结构复杂、不利于在有限的机台空间上布置的问题，提供一种玻璃基板边缘检测装置。

本实用新型的技术方案为：一种基板传送装置，包括底座；其特征在于：所述的底座上设置有，

移载平台，用以承载基板，其上设置多个开槽，且可沿X方向移动；所述移载平台具有平台支座，且通过平台支座连接所述底座；

入料传送装置，位于入料端，其上沿Y方向设置有多排第一入料机构；以及

出料传送装置，位于出料端，其上沿X方向设置有多排第一出料机构；

其中，所述移载平台位于入料端时，所述第一入料机构进入所述开槽，用以将基板传送至所述移载平台上；所述移载平台位于出料端时，第一出料机构进入所述开槽，用以将基板从所述移载平台上移出；所述X方向与所述Y方向垂直。

进一步的所述入料传送装置包含入料支架，所述入料支架设置于底座上，所述第一入料机构设置于所述入料支架上；所述入料支架可沿Z方向移动，使得所述第一入料机构可进入或退出所述开槽；且

所述出料传送装置包含出料支架，所述出料支架设置于底座上，且可沿Z方向移动，使得所述第一出料机构可进入或退出所述开槽；所述的X方向、Y方向和Z方向两两垂直。

进一步的所述移载平台还包含平台支座，所述平台支座沿X方向滑动设置于所述底座上，且可沿Z方向移动，使得所述第一入料机构或者所述第一出料机构可进入或退出所述开槽。

进一步的所述移载平台还包含平台支座，所述底座上设置有沿X方向延伸的平台导轨，所述平台支座滑动设置于所述平台导轨上。

进一步的所述入料传送装置还包含多排沿Y方向设置的辅助入料机构，所述辅助入料机构设置于所述第一入料机构的上游端，且与所述第一入料机构传送所述基板至所述移载平台上。

进一步的所述移载平台还包含平台支座，所述多排第一入料机构上对应所述平台支座设置入料让位部，所述多排第一出料机构上对应所述平台支座设置出料让位部。

进一步的所述入料传送装置两侧还包含沿X方向设置的第二入料机构，第二入料机构上设置多个第二入料转向器，每排第一入料机构的两端分别设置第一入料转向器，所述第一入料转向器与所述第二入料转向器啮合传动连接。

进一步的所述出料传送装置还包含沿X方向设置的多排第二出料机构，所述多排第二出料机构设置于所述多排第一出料机构的下层；所述第一出料机构上设置多个第一出料转向器，所述第二出料机构上设置多个第二出料转向器，所述第一出料转向器与所述出料第二转向器啮合传动连接。

进一步的所述出料传送装置还包含设置于出料端上下游且沿Y方向设置的两个第三出料机构，所述第三出料机构上设置多个第三出料转向器，所述第三出料转向器与所述第二出料机构端部的所述第二出料转向器啮合传动连接。

一种基板检测装置，其特征在于：包含如权利要求-任意一项所述的基板传送装置以及检测单元，所述检测单元设置于所述移载平台的台面的至少一侧，所述移载平台承载基板沿X方向移动时，所述检测单元用以检测所述基板。

本实用新型的优点有：1、通过使用入料传送装置和出料传送装置衔接移载平台的进料端和输出端，能够大幅度减小传送装置的侵占空间，降低传动装置的布置难度，且传输方式更为快捷、高效；

2、通过设置靠位机构能够快速方便的将玻璃基板与移载平台对齐，便于后续检测单元的检测和移载平台的转动调节；

3、通过将出料传送装置设置为三级传动结构，能够保证放置于第一出料机构上的玻璃基板上的每一点的移动速度相同，使玻璃基板稳定匀速的传递；

4、通过设置升降机构能够更加方便的将玻璃基板转移到移载平台上或是从移载平台上将玻璃基板移出，减少了玻璃基板碰撞破碎的风险。

本实用新型的装置结构简单，传输结构布置方便，侵占空间小，能够降低整个装置的体积，提高玻璃基板的传送效率和安全性，具有极大的推广价值。

附图说明

图1：本实用新型的轴视图1；

图2：本实用新型的图1中的A部分放大示意图；

图3：本实用新型的轴视图2；

图4：本实用新型的图1中的B部分放大示意图；

图5：本实用新型的轴视图3；

图6：本实用新型的图1中的C部分放大示意图；

图7：本实用新型的第一入料机构的结构示意图；

图8：本实用新型的第一出料机构的结构示意图；

其中：1—底座；11—平台导轨；2—移载平台；21—开槽；3—检测单元；4—入料传送装置；41—第一入料机构；411—第一入料转向器；42—入料支架；43—辅助入料机构；44—入料让位部；45—第二入料机构；451—第二入料转向器；5—出料传送装置；51—第一出料机构；511—第一出料转向器；52—出料支架；53—第二出料机构；531—第二出料转向器；54—出料让位部；55—第三出料机构；551—第三出料转向器。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

如图1～8，本实施例的传送装置与检测装置均固定在底座1上，底座1为本实施例的承载基础。其中传送装置包括设置于底座1上的移载平台2、入料传送装置4和出料传送装置5。

如图1～6所示，本实施例的移载平台2用以承载基板，其上设置多个开槽21，且可沿X方向移动，移载平台2具有平台支座，平台支座设置于移载平台2的底部，移载平台2通过平台支座连接底座1。

如图5所示，移载平台2还包含平台支座，平台支座沿X方向滑动设置于底座1上，用于在入料传送装置4和出料传送装置5之间传递基板，将基板置于检测装置的下方便于检测装置检测。移载平台2还包含平台支座，底座1上设置有沿X方向延伸的平台导轨11，平台支座滑动设置于平台导轨11上。

于一实施例中，移栽平台2与底座1之间布置有升降机构，通过升降机构驱动沿Z向移动，使得入料传送装置4中的第一入料机构41或者出料传送装置5中的第一出料机构51可进入或退出开槽21，以便于将承载于移载平台2上的基板沿X向传送，使得基板得以运送到移载平台2上。

如图2、4和7所示，为一实施例的入料传送装置4的结构示意图，入料传送装置4位于移载平台2的入料端，其上沿Y方向设置有多排第一入料机构41。本实施例的第一入料机构41实际上是沿Y向布置的水平转轴，第一入料机构41上安装有可随第一入料机构41转动的滚轮，滚轮绕第一入料机构41轴线转动，驱动支承于滚轮上的基板沿X向移动，多组第一入料机构41沿X向间隔布置。第一入料机构41上的滚轮与开槽21对应，当移载平台2沿Z向移动时，第一入料机构41上的滚轮穿过开槽21将移载平台2上的基板顶起或是放下。

于一具体实施例中，第一入料机构41轴向两端设置有第一入料转向器411，第一入料转向器411为齿轮结构、螺旋结构或是其他动力转向传导结构。

于一实施例中，入料传送装置4两侧还包含沿X方向设置的第二入料机构45，同样的第二入料机构45为沿X向布置的水平转轴，通过驱动装置驱绕自身轴线转动，第二入料机构45上设置有多个第二入料转向器451，第二入料转向器451为固定在第二入料机构45的齿轮结构、螺旋结构或是其他的动力转向传导结构，第一入料转向器411与第二入料转向器451啮合传动连接，第二入料机构45由驱动装置驱动绕器轴向转动，进而在第一入料转向器411及第二入料转向器451的作用下实现动力转向，带动第一入料机构411绕自身轴向转动，以实现基板X方向的传动。

由此可见，本实施例的入料传送装置4为二级传送结构，通过驱动装置驱动第二入料机构45绕自身轴线转动，第二入料转向器451与第一入料转向器411啮合传动，驱动第一入料机构41转动，从而实现第一入料机构41上的滚轮转动，驱动承载于滚轮上的基板沿X向移动。

于一实施例中，为了实现基板在移载平台2和入料传送装置4之间的转移，入料传送装置4还包含入料支架42，入料支架42设置于底座1上，第一入料机构41设置于入料支架42上，入料支架42可沿Z方向移动，使得第一入料机构41可进入或退出开槽21。通过入料支架42下方的升降机构驱动，使第一入料机构41沿Z向移动，第一入料机构41上的滚轮沿Z向穿过开槽21，实现承载基板在滚轮和移载平台2上的传送，使得基板得以运送到移载平台2上。

入料传送装置4是衔接基板输送装置与移载平台2的传送装置，基板传送装置上的基板在进入到入料传送装置4上是需要一个过渡，即将基板从基板传送装置转移到叠加到一起的移载平台2和第一入料机构41上时，需要一个过渡。如图1～5所示，入料传送装置4还包含多排沿Y方向设置的辅助入料机构43，辅助入料机构43设置于第一入料机构41的上游端，且与第一入料机构41传送基板至移载平台2上。

辅助入料机构43实际上也是如同第一入料机构41的滚轮传动装置，包括沿Y向布置的转轴和固定在转轴上的滚轮，通过驱动装置驱动绕自身轴线转动。辅助入料机构43与第一入料机构41的传送门在同一水平面上，衔接基板传送装置与移载平台2，用于平稳的将基板转移到叠加到一起的移载平台2和第一入料机构41上。

基板进入到叠加到一起的移载平台2和第一入料机构41上时，其位置并不是精确的，需要靠位机构对其进行定位，使其精确定位于移载平台2上，本实施例在底座1上设置有多个靠位机构，多个靠位机构布置于底座1上且分置于承载于第一入料机构41上的基板四周用于驱动玻璃基板沿X向和Y向移动至与移载平台2对齐。

靠位机构包括用于与基板边缘接触的柔性靠垫，靠垫安装在可沿X向、Y向和Z向移动的调节装置上，通过同步驱动基板四周的靠位机构，使靠垫沿X向和Y向移动将基板移动至移载平台2上使两者对其，或是移动基板将基板与移载平台2上划定的基板范围对齐。

实际传送基板时，基板通过基板传送装置传送到辅助入料机构43上，辅助入料机构43转动，沿X向传送基板。此时，移载平台2沿X向移动至与第一入料机构41重叠，第一入料机构41沿Z向移动，第一入料机构41上的滚轮穿过开槽21，两者完全重叠交叉在一起。辅助入料机构43将基板转移动第一入料机构41上，基板悬置于移载平台2的上方，靠位机构驱动基板移动直至基板与移载平台2重合。第一入料机构41沿Z向向下移动，将基板落在移载平台2上，移载平台2沿X向传送基板，两者脱离第一入料机构41，完成基板转移到移载平台2的工序。

如图1～3、5、6和8方向设置有多排第一出料机构51，第一出料机构51结构与第一入料机构41结构类似，为沿Y向水平布置的转轴和固定在转轴上的滚轮，转轴通过驱动沿自身轴线转动，滚轮转动从而驱动基板沿X向移动，从而将移载平台2上的基板转移到第一出料机构51。

本实施例的出料传送装置5需要精确控制基板的传送方向，即需要保证基板上的每一点移动速度都是相同的，因此本实施例的出料传送装置5为三级传送结构。如图8所示，出料传送装置5还包含沿X方向设置的多排第二出料机构53，第二出料机构53为沿X向布置的转轴，多排第二出料机构53设置于多排第一出料机构51的下层，第一出料机构51上设置多个第一出料转向器511，第一出料转向器511为齿轮或是其他动力传导结构，第二出料机构53上设置多个第二出料转向器531，第二出料转向器531为结构与第一出料转向器511相同的齿轮或是其他动力传导结构，第一出料转向器511与出料第二转向器531啮合传动连接。

出料传送装置5还包含设置于出料端上下游且沿Y方向设置的两个第三出料机构55，第三出料机构55为沿Y向水平布置的转轴，第三出料机构55上设置多个第三出料转向器551，第三出料转向器551结构与第一出料转向器511与出料第二转向器531结构类似，为齿轮一类的动力传导结构。第三出料转向器551与第二出料机构53端部的第二出料转向器531啮合传动连接。

使用时，动力装置驱动第三出料机构55转动，第三出料转向器551与第二出料转向器531啮合，将动力传递到第二出料机构53上，驱动器绕自身轴线转动，第二出料转向器531与第一出料转向器511啮合传动，从而驱动第一出料机构51转动，第一出料机构51上的滚轮驱动面板沿X向移动。

同样的，出料传送装置5在面板从移载平台2转移到第一出料机构51上时，需要沿Z向移动改变第一出料机构51与移载平台2的高差。如图1、3、5所示，出料传送装置5包含出料支架52，出料支架52设置于底座1上，且可沿Z方向移动，使得第一出料机构51可进入或退出开槽21，的X方向、Y方向和Z方向两两垂直。

实际出料传送装置5出料时，移载平台2承载基板沿X向移动至第一出料机构51上方，第一出料机构51在升降机构的驱动下沿Z向移动，第一出料机构51穿过开槽21将承载于移载平台2上的基板顶起，然后在第三出料机构55、第二出料机构53的驱动下，第一出料机构51绕轴线转动，滚轮驱动基板沿X向移动，将基板传送到出料装置上。

待基板完全脱离移载平台2后，第一出料机构51在升降机构的驱动下沿Z向移动，第一出料机构51脱出开槽21，移载平台2沿X向移动回复至入料传送装置4上准备承接下一块待检测的基板。

移载平台2位于入料端时，第一入料机构41进入开槽21，用以将基板传送至移载平台2上，移载平台2位于出料端时，第一出料机构51进入开槽21，用以将基板从移载平台2上移出，X方向与Y方向垂直。

如图3和5所示，移载平台2还包含平台支座，多排第一入料机构41上对应平台支座设置入料让位部44，多排第一出料机构51上对应平台支座设置出料让位部54。

移载平台2将基板在入料传送装置4与出料传送装置5之间转移，位于两者之间是基板检测单元3，检测单元3设置于移载平台2的台面的至少一侧，移载平台2承载基板沿X方向移动时，检测单元3用以检测基板。检测单元3为光学检测单元。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (10)

1.一种基板传送装置，包括底座(1)；其特征在于：所述的底座(1)上设置有，

移载平台(2)，用以承载基板，其上设置多个开槽(21)，且可沿X方向移动；所述移载平台(2)具有平台支座，且通过平台支座连接所述底座(1)；

入料传送装置(4)，位于入料端，其上沿Y方向设置有多排第一入料机构(41)；以及

出料传送装置(5)，位于出料端，其上沿X方向设置有多排第一出料机构(51)；

其中，所述移载平台(2)位于入料端时，所述第一入料机构(41)进入所述开槽(21)，用以将基板传送至所述移载平台(2)上；所述移载平台(2)位于出料端时，第一出料机构(51)进入所述开槽(21)，用以将基板从所述移载平台(2)上移出；所述X方向与所述Y方向垂直。

2.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于：所述入料传送装置(4)包含入料支架(42)，所述入料支架(42)设置于底座(1)上，所述第一入料机构(41)设置于所述入料支架(42)上；所述入料支架(42)可沿Z方向移动，使得所述第一入料机构(41)可进入或退出所述开槽(21)；且

所述出料传送装置(5)包含出料支架(52)，所述出料支架(52)设置于底座(1)上，且可沿Z方向移动，使得所述第一出料机构(51)可进入或退出所述开槽(21)；所述的X方向、Y方向和Z方向两两垂直。

3.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于：所述移载平台(2)还包含平台支座，所述平台支座沿X方向滑动设置于所述底座(1)上，且可沿Z方向移动，使得所述第一入料机构(41)或者所述第一出料机构(51)可进入或退出所述开槽(21)。

4.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于：所述移载平台(2)还包含平台支座，所述底座(1)上设置有沿X方向延伸的平台导轨(11)，所述平台支座滑动设置于所述平台导轨(11)上。

5.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于：所述入料传送装置(4)还包含多排沿Y方向设置的辅助入料机构(43)，所述辅助入料机构(43)设置于所述第一入料机构(41)的上游端，且与所述第一入料机构(41)传送所述基板至所述移载平台(2)上。

6.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于：所述移载平台(2)还包含平台支座，所述多排第一入料机构(41)上对应所述平台支座设置入料让位部(44)，所述多排第一出料机构(51)上对应所述平台支座设置出料让位部(54)。

7.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于：所述入料传送装置(4)两侧还包含沿X方向设置的第二入料机构(45)，第二入料机构(45)上设置多个第二入料转向器(451)，每排第一入料机构(41)的两端分别设置第一入料转向器(411)，所述第一入料转向器(411)与所述第二入料转向器(451)啮合传动连接。

8.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于：所述出料传送装置(5)还包含沿X方向设置的多排第二出料机构(53)，所述多排第二出料机构(53)设置于所述多排第一出料机构(51)的下层；所述第一出料机构(51)上设置多个第一出料转向器(511)，所述第二出料机构(53)上设置多个第二出料转向器(531)，所述第一出料转向器(511)与所述第二出料转向器(531)啮合传动连接。

9.如权利要求8所述的基板传送装置，其特征在于：所述出料传送装置(5)还包含设置于出料端上下游且沿Y方向设置的两个第三出料机构(55)，所述第三出料机构(55)上设置多个第三出料转向器(551)，所述第三出料转向器(551)与所述第二出料机构(53)端部的所述第二出料转向器(531)啮合传动连接。

10.一种基板检测装置，其特征在于：包含如权利要求1-9任意一项所述的基板传送装置以及检测单元(3)，所述检测单元(3)设置于所述移载平台(2)的台面的至少一侧，所述移载平台(2)承载基板沿X方向移动时，所述检测单元(3)用以检测所述基板。