CN207834255U - 可同时旋转与移动的复合机构及设有该机构的晶粒点测机 - Google Patents

Abstract

本实用新型揭露了一种可同时旋转与移动的复合机构及设有该机构的晶粒点测机，所述复合机构包括旋转机构、上下直线移动机构及交叉滚子轴承，旋转机构包括第一从动轮、分别固接于第一从动轮上下两端的安装底板与感应盘、第一电机安装座、固接于第一电机安装座的第一电机、与第一电机的输出轴固接的第一主动轮、连接第一主动轮与第一从动轮的第一同步带；上下直线移动机构包括第二电机、受第二电机驱动旋转的丝杆、与丝杆通过螺纹连接的连接块；所述第一电机安装座固接于连接块一侧；交叉滚子轴承设于连接块上端，其外圈与连接块固接，内圈与安装底板固接，晶粒点测机的微孔吸盘与安装底板连接，两电机同时工作，微孔吸盘即可在旋转的同时上下移动。

Description

可同时旋转与移动的复合机构及设有该机构的晶粒点测机

技术领域

本实用新型涉及机械机构领域，尤其涉及一种可同时旋转与移动的复合机构及设有该机构的晶粒点测机。

背景技术

晶粒点测机主要用于对圆晶进行点测，测试过程中，通过吸盘将布满晶片的蓝膜吸附牢靠，然后移动调整吸盘进行测试。而吸盘的移动包括上下移动以及旋转移动。传统设计中，一般是采用两套相互独立的驱动装置来实现着两种移动，而两套装置总体比较大，从而需要的安装空间大；此外，在移动时，两种移动分步进行，即要先旋转，旋转到位后，再上下移动到位，或者先上下移动到位，再旋转，这种方式就使得调整移动微孔吸盘的时间大大增加，从而降低了生产效率。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于提供一种可同时旋转与移动的复合机构及设有该机构的晶粒点测机，其整体体积比较小，而且能提高生产效率。

为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：

一种可同时旋转与移动的复合机构，包括旋转机构、上下直线移动机构以及一交叉滚子轴承，所述旋转机构包括第一从动轮、固定连接于所述第一从动轮上端的安装底板、固定连接于所述第一从动轮下端的感应盘、第一电机安装座、固定连接于所述第一电机安装座上的第一电机、与所述第一电机的输出轴固定连接的第一主动轮、连接所述第一主动轮与第一从动轮的第一同步带；所述上下直线移动机构包括第二电机安装座、固定连接于所述第二电机安装座的第二电机、与所述第二电机的输出轴连接并受所述第二电机驱动而旋转的丝杆、与所述丝杆通过螺纹连接的连接块；所述第一电机安装座固定连接于所述连接块一侧；所述交叉滚子轴承设置于所述连接块上端，且所述交叉滚子轴承的外圈与所述连接块固定连接，交叉滚子轴承的内圈与所述感应盘或者安装底板固定连接。

所述可同时旋转与移动的复合机构还包括安装主座与导向座，所述导向座可相对上下移动地连接于所述导向座一侧，所述第一电机安装座固定连接于所述导向座，所述丝杆设置于所述导向座与安装主座之间，所述连接块与所述导向座朝向安装底座的一侧固定连接，且所述安装主座与导向座之间设置有用于避让所述连接块上下移动的空间。

所述第一电机与第二电机均设置于所述导向座背向所述安装主座的一侧。

所述第二电机的输出轴往下延伸设置，所述上下直线移动机构还包括丝杆安装座、与所述第二电机的输出轴固定连接的第二主动轮、与所述丝杆下端固定连接的第二从动轮、连接所述第二主动轮与第二从动轮的第二同步带，所述丝杆安装座设置于所述安装主座与导向座之间下方， 所述丝杆下侧枢接于所述丝杆安装座，且所述丝杆下端与所述第二从动轮连接，所述第二同步带位于所述导向座下方。

所述导向座中间下端设置有往下开口的避让槽孔，所述第二同步带从所述避让槽孔穿过。

所述第一电机的输出轴往上延伸设置。

所述安装主座朝向导向座朝的一侧中间设置有凹槽，所述凹槽即形成为所述用于避让所述连接块上下移动的空间；或，所述导向座朝向安装主座的一侧设置凹槽，所述凹槽即形成为所述用于避让所述连接块上下移动的空间；或所述安装主座与导向座的相对侧均设置凹槽，安装主座与导向座的凹槽一起形成为所述用于避让所述连接块上下移动的空间。

所述安装主座的前后两侧与导向座的前后两侧之间均设置有对应的导轨与滑块，所述安装主座与导向座通过所述导轨与滑块可相对上下移动地连接。

所述感应盘、第一从动轮中间均设置有上下延伸的通孔，所述交叉滚子轴承伸入所述通孔内，且所述交叉滚子轴承的内圈固定连接于所述安装底板下端。

一种晶粒点测机，其包括一微孔吸盘，还包括上述可同时旋转与直线移动的复合机构，所述微孔吸盘连接于所述安装底板上方。

本实用新型的有益效果为：因为本实用新型复合机构能实现同时旋转与上下直线运动，从而减少了晶粒点测机微孔吸盘位置的调整时间，所以大大提高了生产效率；此外，因为所述旋转机构的第一电机安装座固定连接于所述上下直线移动机构的连接块，所述旋转机构的感应盘或者安装底板通过交叉滚子轴承与上下直线移动机构的连接块列，即是说，旋转机构与上下直线移动机构不再是独立的两个机构，而且整合到一起的整体式机构，所以整体体积比较小，从而能降低对安装空间的需求。

附图说明

图1为本实用新型可同时旋转与移动的复合机构的组装示意图；

图2为本实用新型可同时旋转与移动的复合机构的爆炸示意图；

图3为本实用新型可同时旋转与移动的复合机构部分组件的爆炸示意图。

具体实施方式

如图1、2、3所示，本实用新型可同时旋转与移动的复合机构包括旋转机构1、上下直线移动机构2以及一交叉滚子轴承3，所述旋转机构1包括第一从动轮11、固定连接于所述第一从动轮11上端的安装底板12、固定连接于所述第一从动轮11下端的感应盘13、第一电机安装座14、固定连接于所述第一电机安装座14上的第一电机15、与所述第一电机15的输出轴151固定连接的第一主动轮16、连接所述第一主动轮16与第一从动轮11的第一同步带17；所述上下直线移动机构2包括第二电机安装座21、固定连接于所述第二电机安装座21的第二电机22、与所述第二电机22的输出轴连接并受所述第二电机22驱动而旋转的丝杆23、与所述丝杆23通过螺纹连接的连接块24；所述第一电机安装座14固定连接于所述连接块24一侧；所述交叉滚子轴承3设置于所述连接块24上端，且所述交叉滚子轴承3的外圈31与所述连接块24固定连接，交叉滚子轴承3的内圈32与所述感应盘13或者安装底板12固定连接。

当第二电机22工作时，所述丝杆23被驱动旋转，所述连接块24上下移动，从而连接于连接块24一侧的第一电机安装座14随之一起上下移动，通过交叉滚子轴承3连接于所述连接块24上侧的感应盘13与安装底板12随之一起上下移动，即是说，连接块24上下移动的时候，所述旋转机构1随之一起上下移动；同时，第一电机15也工作，驱动所述第一主动轮16，从而通过第一同步带17与第一从动轮11，使得所述感应盘13与安装底板12一起旋转，如此，连接于所述安装底板12的组件能实现同时旋转与上下直线移动的复合运动。且因为有交叉滚子轴承3的存在，所述旋转与上下直线运动互不干涉，即是说，本实用新型不但能实现旋转与上下直线移动的复合运动，还能实现单独的旋转运动，也能实现单独的上下直线移动。

在本实施例中，所述感应盘13、第一从动轮11中间均设置有上下延伸的通孔，所述交叉滚子轴承3伸入所述通孔内，且所述交叉滚子轴承3的内圈32固定连接于所述安装底板12下端。如此设置，可以降低本实用新型复合机构的整体高度，从而降低对安装空间的高度要求。在其他实施例中，所述交叉滚子轴承3的内圈32固定连接于所述感应盘13下端。

所述可同时旋转与移动的复合机构还包括安装主座4与导向座5，所述导向座5可相对上下移动地连接于所述导向座5一侧，所述第一电机安装座14固定连接于所述导向座5，所述丝杆23设置于所述导向座5与安装主座4之间，所述连接块24与所述导向座5朝向安装底座的一侧固定连接，且所述安装主座4与导向座5之间设置有用于避让所述连接块24上下移动的空间。

较佳的，所述第一电机15与第二电机22均设置于所述导向座5背向所述安装主座4的一侧，即是说，所述连接块24与两电机设置于导向座5的两相反侧。如此设置，可以使得本实用新型左右方向上的整体尺寸很小，从而进一步减少本实用新型的整体体积。

所述第二电机22的输出轴往下延伸设置，所述上下直线移动机构1还包括丝杆安装座25、与所述第二电机22的输出轴固定连接的第二主动轮26、与所述丝杆23下端固定连接的第二从动轮27、连接所述第二主动轮26与第二从动轮27的第二同步带28，所述丝杆安装主座25设置于所述安装主座4与导向座5之间下方， 所述丝杆23下侧枢接于所述丝杆安装座25，且所述丝杆23下端与所述第二从动轮27连接，所述第二同步带28位于所述导向座5下方。

在本实施例中，较佳的，所述导向座5中间下端设置有往下开口的避让槽孔51，所述第二同步带28从所述避让槽孔51穿过。如此，可以进一步降低本实用新型的整体高度。

所述第一电机15的输出轴151往上延伸设置。

在本实施例中，所述安装主座4朝向导向座5朝的一侧中间设置有凹槽41，所述凹槽41即形成为所述用于避让所述连接块24上下移动的空间。在其它实施例中，也可以是所述导向座5朝向安装主座4的一侧设置凹槽，所述凹槽即形成为所述用于避让所述连接块24上下移动的空间。或者也可以是安装主座4与导向座5的相对侧均设置凹槽，安装主座4与导向座5的凹槽一起形成为所述用于避让所述连接块24上下移动的空间。

所述安装主座4的前后两侧与导向座5的前后两侧之间均设置有对应的导轨与滑块6，所述安装主座4与导向座5通过所述导轨与滑块可相对上下移动地连接。

要使用本实用新型复合机构时，将所述第二电机安装座21与安装主座4以及丝杆安装座25固定连接在相关安装模组上，然后将需要移动的组件连接于所述安装底板12上，然后同时驱动第一电机15与第二电机22，即可实现该组件的同时旋转与上下直线运动。当不需要使用时，拆下本实用新型复合机构即可，当有零件损坏时，只更换该零件即可，即是说，本实用新型复合机构形成为一模组化设计，从而拆卸非常方便，而且便于维修。较佳的，可设置一额外的组装件，所述第二电机安装座21与安装主座4以及丝杆安装座25均固定连接于所述组装件上，从而在安装的时候，只要将所述组装件安装在相关安装模组上即可，拆的时候，只要将所述组装件自相关安装模组上拆下来即可，如此，拆装更简便。

本实用新型晶粒点测机包括一微孔吸盘，还包括所述可同时旋转与直线移动的复合机构，所述微孔吸盘连接于所述安装底板12上方。

所述微孔吸盘通过一上下延伸的连接轴与所述安装底板12连接。

将本实用新型复合机构的第二电机安装座21、安装主座4以及丝杆安装座25固定连接在相关安装部件上，然后将微孔吸盘连接于所述安装底板12上，然后同时驱动第一电机15与第二电机22，即可实现微孔吸盘的同时旋转与上下直线运动，从而大大减少了调整微孔吸盘位置的时间，所以大大提高了生产效率。

Claims (10)

1.一种可同时旋转与移动的复合机构，其特征在于：包括旋转机构、上下直线移动机构以及一交叉滚子轴承，所述旋转机构包括第一从动轮、固定连接于所述第一从动轮上端的安装底板、固定连接于所述第一从动轮下端的感应盘、第一电机安装座、固定连接于所述第一电机安装座上的第一电机、与所述第一电机的输出轴固定连接的第一主动轮、连接所述第一主动轮与第一从动轮的第一同步带；所述上下直线移动机构包括第二电机安装座、固定连接于所述第二电机安装座的第二电机、与所述第二电机的输出轴连接并受所述第二电机驱动而旋转的丝杆、与所述丝杆通过螺纹连接的连接块；所述第一电机安装座固定连接于所述连接块一侧；所述交叉滚子轴承设置于所述连接块上端，且所述交叉滚子轴承的外圈与所述连接块固定连接，交叉滚子轴承的内圈与所述感应盘或者安装底板固定连接。

2.根据权利要求1所述的可同时旋转与移动的复合机构，其特征在于：还包括安装主座与导向座，所述导向座可相对上下移动地连接于所述导向座一侧，所述第一电机安装座固定连接于所述导向座，所述丝杆设置于所述导向座与安装主座之间，所述连接块与所述导向座朝向安装底座的一侧固定连接，且所述安装主座与导向座之间设置有用于避让所述连接块上下移动的空间。

3.根据权利要求2所述的可同时旋转与移动的复合机构，其特征在于：所述第一电机与第二电机均设置于所述导向座背向所述安装主座的一侧。

4.根据权利要求3所述的可同时旋转与移动的复合机构，其特征在于：所述第二电机的输出轴往下延伸设置，所述上下直线移动机构还包括丝杆安装座、与所述第二电机的输出轴固定连接的第二主动轮、与所述丝杆下端固定连接的第二从动轮、连接所述第二主动轮与第二从动轮的第二同步带，所述丝杆安装座设置于所述安装主座与导向座之间下方， 所述丝杆下侧枢接于所述丝杆安装座，且所述丝杆下端与所述第二从动轮连接，所述第二同步带位于所述导向座下方。

5.根据权利要求4所述的可同时旋转与移动的复合机构，其特征在于：所述导向座中间下端设置有往下开口的避让槽孔，所述第二同步带从所述避让槽孔穿过。

6.根据权利要求5所述的可同时旋转与移动的复合机构，其特征在于：所述第一电机的输出轴往上延伸设置。

7.根据权利要求2或 3或4或5或6所述的可同时旋转与移动的复合机构，其特征在于：所述安装主座朝向导向座朝的一侧中间设置有凹槽，所述凹槽即形成为所述用于避让所述连接块上下移动的空间；或，所述导向座朝向安装主座的一侧设置凹槽，所述凹槽即形成为所述用于避让所述连接块上下移动的空间；或所述安装主座与导向座的相对侧均设置凹槽，安装主座与导向座的凹槽一起形成为所述用于避让所述连接块上下移动的空间。

8.根据权利要求7所述的可同时旋转与移动的复合机构，其特征在于：所述安装主座的前后两侧与导向座的前后两侧之间均设置有对应的导轨与滑块，所述安装主座与导向座通过所述导轨与滑块可相对上下移动地连接。

9.根据权利要求1或2或3或4或5或6或8所述的可同时旋转与移动的复合机构，其特征在于：所述感应盘、第一从动轮中间均设置有上下延伸的通孔，所述交叉滚子轴承伸入所述通孔内，且所述交叉滚子轴承的内圈固定连接于所述安装底板下端。

10.一种晶粒点测机，其包括一微孔吸盘，其特征在于：还包括如权利要求1至9中任一项所述的可同时旋转与直线移动的复合机构，所述微孔吸盘连接于所述安装底板上方。