CN207814945U - 一种气体供应系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种气体供应系统，包括第一工作管路，第一工作管路的一端设置第一吹扫气体入口，第一工作管路上依次设置有第一阀体、第二阀体、第三阀体、第四阀体，第一过滤器和第一供气阀，第一工作管路外侧依次设置有第一旁通管路、第二旁通管路和第三旁通管路，第一旁通管路、第二旁通管路与第一工作管路的连接端分别位于第二阀体和第三阀体之间，第一旁通管路连接第一钢瓶，第二旁通管路上设置第五阀体，第三旁通管路上依次设置第六阀体和第七阀体，第二旁通管路、第三旁通管路的汇合处设置有第八阀体，第八阀体连接吹扫气体出口。本实用新型气体供应系统设置真空排放管路，使得吹扫气体出口位置处于负压状态，保证工作管路的洁净。

Description

一种气体供应系统

技术领域

本实用新型涉及特殊气体供应设备技术领域，尤其涉及一种气体供应系统。

背景技术

在半导体、光伏相关产业中需要用到许多特殊气体，如硅烷，有毒、可燃，危害性相当大。这些特殊气体在使用过程中为钢瓶包装，在工厂运转过程中需要不断更换新的气体钢瓶，拆除在线的空钢瓶，我们称之为钢瓶更换流程。在钢瓶更换结束后，需要采用高纯氮气进行吹扫，以清除换瓶过程中有可能带入气体管路中的空气、水分和微小的颗粒，避免对气体管路和钢瓶造成污染，影响产品的质量。

因此，在上述特殊气体供应系统中有必要设置气体吹扫系统，现有的气体吹扫系统在吹扫结束后，气体直接排放。由于直接排放时排放气体压力过大会导致气体回流，部分空气进入管路，造成管路及阀门的损坏和污染，缩短了设备的使用寿命。

实用新型内容

为了解决现有气体供应系统所设置的气体吹扫系统在吹扫结束后气体直接排放导致管路及阀门损坏的问题，本实用新型的目的是提供一种气体供应系统。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种气体供应系统，包括第一工作管路，所述第一工作管路的一端设置第一吹扫气体入口，所述第一工作管路上依次设置有第一阀体、第二阀体、第三阀体、第四阀体，第一过滤器和第一供气阀，所述第一工作管路外侧依次设置有第一旁通管路、第二旁通管路和第三旁通管路，所述第一旁通管路、第二旁通管路与第一工作管路的连接端分别位于第二阀体和第三阀体之间，所述第一旁通管路连接第一钢瓶，所述第二旁通管路上设置第五阀体，所述第三旁通管路上依次设置第六阀体和第七阀体，所述第二旁通管路、第三旁通管路的汇合处设置有第八阀体，所述第八阀体连接吹扫气体出口。

通过第一吹扫气体入口向第一工作管路吹入高纯氮，此时保持第一阀体、第二阀体、第三阀体打开，第四阀体、第五阀体、第六阀体、第七阀体、第八阀体关闭，至高纯氮充满整个工作管路；关闭第一阀体、第二阀体和第三阀体，打开第五阀体和第八阀体，第一工作管路中的吹扫气体进行第一次排放，经第五阀体和第八阀体至吹扫气体出口排出；关闭第五阀体，同时打开第六阀体和第七阀体，第一工作管路中的吹扫气体进行第二次排放，经第六阀体、第七阀体、第八阀体至吹扫气体出口排出。

第一工作管路中的吹扫气体经过两次排放，避免一次性排放带来排放压力过大，导致气体回流。

第一工作管路经吹扫后，关闭第五阀体、第六阀体、第七阀体和第八阀体，打开第三阀体、第四阀体和第一钢瓶上的阀门，第一钢瓶内的气体经第一过滤器过滤后进入第一供气阀，用于实际生产中使用。

优选的是，所述第八阀体外侧连接并设置有真空排放管路，所述真空排放管路一端设置第二吹扫气体入口，所述吹扫气体出口位于真空排放管路的另一端，所述真空排放管路上依次设置有第九阀体和真空产生器，所述第八阀体与真空排放管路的连接端位于第九阀体和真空产生器之间。

通过在第八阀体外侧设置真空排放管路，使得吹扫气体出口处于负压状态，避免外界空气、颗粒物等进入，保证第一工作管路的洁净。

优选的是，所述第一工作管路外侧设置第二工作管路，所述第二工作管路的一端与第一吹扫气体入口连接，所述第二工作管路上依次设置有第十阀体、第十一阀体、第十二阀体、第十三阀体、第二过滤器和第二供气阀，所述第二工作管路外侧依次设置有第四旁通管路，第五旁通管路和第六旁通管路，所述第四旁通管路、第五旁通管路与第二工作管路的连接端分别位于第十一阀体和第十二阀体之间，所述第四旁通管路连接第二钢瓶，所述第五旁通管路上设置有第十四阀体，所述第六旁通管路上依次设置第十五阀体和第十六阀体，所述第五旁通管路与第六旁通管路的汇合处连接第八阀体。

第二工作管路与第一工作管路并列使用，高纯氮气分别对第一工作管路与第二工作管路进行独立吹扫，在吹扫结束后，第一钢瓶、第二钢瓶分别对第一工作管路、第二工作管路供应气体。第一钢瓶与第二钢瓶可以供应相同的气体，也可以供应不同的气体。

采用上述方案，可以将第一工作管路与第二工作管路置于同一气体供应柜，节省占用空间。

其中，所述吹扫气体为高纯氮。

其中，所述第一阀体与第一吹扫气体入口之间还设置有第一微漏阀。

其中，所述第二吹扫气体入口与第九阀体之间设置有第二微漏阀。

通过设置第二微漏阀，使得真空排放管路中有微量高纯氮流入，保证真空产生器一直处于工作状态。

其中，所述第一阀体、第六阀体分别为单向阀。

其中，所述第九阀体为单向阀。

其中，所述第十阀体、第十五阀体分别为单向阀。

通过将第一阀体、第六阀体、第九阀体、第十阀体、第十五阀体分别设置为单向阀，使得气体只能从一端进入，另一端排出，避免气体倒流污染管路及各阀体。

与现有技术相比，本实用新型实现的有益效果：本实用新型气体供应系统在第一工作管路、第二工作管路外侧分别设置旁通管路，旁通管路上设置多个阀门，通过控制旁通管路上阀门的开关与闭合，对第一工作管路、第二工作管路吹扫后的吹扫气体进行分批排放，避免了一次性排放带来排放气体压力过大导致气体回流的弊端；本实用新型气体供应系统设置真空排放管路，使得吹扫气体出口位置处于负压状态，避免外界空气、颗粒物进入，保证第一工作管路、第二工作管路的洁净；本实用新型气体供应系统将第一工作管路、第二工作管路并列设置，在第一工作管路、第二工作管路吹扫结束后，第一钢瓶、第二钢瓶分别对第一工作管路、第二工作管路供应气体，第一钢瓶、第二钢瓶可以供应相同的气体也可以供应不同的气体，本实用新型气体供应系统节省了占用空间，同时提高了生产效率。

附图说明

以下结合附图和具体实施方式来进一步详细说明本实用新型：

图1是本实用新型气体供应系统实施例1的结构示意图；

图2是本实用新型气体供应系统实施例2的结构示意图。

其中：第一工作管路1，第一吹扫气体入口2，第一阀体3、第二阀体4、第三阀体5，第四阀体6，第一旁通管路7、第二旁通管路8，第三旁通管路9，第一钢瓶10，第五阀体11，第六阀体12，第七阀体13，第八阀体14，真空排放管路16，第二吹扫气体入口17，吹扫气体出口18，第九阀体19，真空产生器20，第一微漏阀21，第二微漏阀22，第一过滤器23，第一供气阀24，第二工作管路25，第十阀体26、第十一阀体27、第十二阀体28、第十三阀体29、第二过滤器30，第二供气阀31，第四旁通管路32，第五旁通管路33，第六旁通管路34，第二钢瓶35，第十四阀体36，第十五阀体37，第十六阀体38。

具体实施方式

实施例1

如图1，一种气体供应系统，包括第一工作管路1，第一工作管路1的一端设置第一吹扫气体入口2，第一工作管路1上依次设置有第一阀体3、第二阀体4、第三阀体5、第四阀体6，第一过滤器23和第一供气阀24，第一阀体3与第一吹扫气体入口2之间还设置有第一微漏阀21，第一工作管路1外侧依次设置有第一旁通管路7、第二旁通管路8和第三旁通管路9，第一旁通管路7、第二旁通管路8与第一工作管路1的连接端分别位于第二阀体4和第三阀体5之间，第一旁通管路7连接第一钢瓶10，第二旁通管路8上设置第五阀体11，第三旁通管路9上依次设置第六阀体12和第七阀体13，第二旁通管路8、第三旁通管路9的汇合处设置有第八阀体14，第八阀体14外侧连接并设置有真空排放管路16，真空排放管路16一端设置第二吹扫气体入口17，另一端设置吹扫气体出口18，真空排放管路16上依次设置有第九阀体19和真空产生器20，第八阀体14与真空排放管路16的连接端位于第九阀体19和真空产生器20之间。第二吹扫气体入口17与第九阀体19之间设置有第二微漏阀22，第二微漏阀22的设置使得真空排放管路16中有微量高纯氮流入，保证真空产生器20一直处于工作状态。

其中，第一吹扫气体入口2、第二吹扫气体入口17通入的吹扫气体均为高纯氮，第一阀体3、第六阀体12、第九阀体19均为单向阀。

工作过程：关闭第四阀体6，打开第一阀体3、第二阀体4和第三阀体5，将高纯氮通过第一吹扫气体入口2进入第一工作管路1，待第一工作管路1充满高纯氮后，关闭第一阀体3、第二阀体4和第三阀体5，打开第五阀体11和第八阀体14，位于第一工作管路1中的部分高纯氮通过第二旁通管路8排出；继续保持第一阀体3、第二阀体4和第三阀体5处于关闭，同时关闭第五阀体11，打开第六阀体12和第七阀体13，第一工作管路1中的剩余高纯氮通过第三旁通管路9排出，完成一次吹扫；重复上述过程，对第一工作管路1进行多次吹扫，当第一工作管路1吹扫结束后，关闭第五阀体11、第六阀体12、第七阀体13、第八阀体14，打开第三阀体5、第四阀体6及第一钢瓶10上的阀门，第一刚瓶10向第一工作管路1通入气体，用于实际生产。

实施例2

如图2，与实施例1不同的是，第一工作管路1外侧设置第二工作管路25，第二工作管路25的一端与第一吹扫气体入口2连接，第二工作管路25上依次设置有第十阀体26、第十一阀体27、第十二阀体28、第十三阀体29、第二过滤器30和第二供气阀31，第二工作管路25外侧依次设置有第四旁通管路32，第五旁通管路33和第六旁通管路34，第四旁通管路32、第五旁通管路33与第二工作管路25的连接端分别位于第十一阀体27和第十二阀体28之间，第四旁通管路32连接第二钢瓶35，第五旁通管路33上设置有第十四阀体36，第六旁通管路34上依次设置第十五阀体37和第十六阀体38，第五旁通管路33与第六旁通管路34的汇合处连接第八阀体14。

其中，第十阀体26、第十五阀体37分别为单向阀。

在第一工作管路1外侧设置第二工作管路25，第二工作管路25可以进行同种气体的供应，也可以进行不同种气体的供应。将第一工作管路1、第二工作管路25置于同一气体供应柜中，适用于实验室中气体的使用，两个工作管路并列设置，减少了占用空间，同时提高了生产效率。

上述的具体实施方式只是示例性的，是为了更好地使本领域技术人员能够理解本专利，不能理解为是对本专利包括范围的限制；只要是根据本专利所揭示精神的所作的任何等同变更或修饰，均落入本专利包括的范围。

Claims (9)

1.一种气体供应系统，其特征在于，包括第一工作管路（1），所述第一工作管路（1）的一端设置第一吹扫气体入口（2），所述第一工作管路（1）上依次设置有第一阀体（3）、第二阀体（4）、第三阀体（5）、第四阀体（6），第一过滤器（23）和第一供气阀（24），所述第一工作管路（1）外侧依次设置有第一旁通管路（7）、第二旁通管路（8）和第三旁通管路（9），所述第一旁通管路（7）、第二旁通管路（8）与第一工作管路（1）的连接端分别位于第二阀体（4）和第三阀体（5）之间，所述第一旁通管路（7）连接第一钢瓶（10），所述第二旁通管路（8）上设置第五阀体（11），所述第三旁通管路（9）上依次设置第六阀体（12）和第七阀体（13），所述第二旁通管路（8）、第三旁通管路（9）的汇合处设置有第八阀体（14），所述第八阀体（14）连接吹扫气体出口（18）。

2.如权利要求1所述的气体供应系统，其特征在于，所述第八阀体（14）外侧连接并设置有真空排放管路（16），所述真空排放管路（16）一端设置第二吹扫气体入口（17），所述吹扫气体出口（18）位于真空排放管路（16）的另一端，所述真空排放管路（16）上依次设置有第九阀体（19）和真空产生器（20），所述第八阀体（14）与真空排放管路（16）的连接端位于第九阀体（19）和真空产生器（20）之间。

3.如权利要求1或2所述的气体供应系统，其特征在于，所述第一工作管路（1）外侧设置第二工作管路（25），所述第二工作管路（25）的一端与第一吹扫气体入口（2）连接，所述第二工作管路（25）上依次设置有第十阀体（26）、第十一阀体（27）、第十二阀体（28）、第十三阀体（29）、第二过滤器（30）和第二供气阀（31），所述第二工作管路（25）外侧依次设置有第四旁通管路（32），第五旁通管路（33）和第六旁通管路（34），所述第四旁通管路（32）、第五旁通管路（33）与第二工作管路（25）的连接端分别位于第十一阀体（27）和第十二阀体（28）之间，所述第四旁通管路（32）连接第二钢瓶（35），所述第五旁通管路（33）上设置有第十四阀体（36），所述第六旁通管路（34）上依次设置第十五阀体（37）和第十六阀体（38），所述第五旁通管路（33）与第六旁通管路（34）的汇合处连接第八阀体（14）。

4.如权利要求1或2所述的气体供应系统，其特征在于，所述吹扫气体为高纯氮。

5.如权利要求1或2所述的气体供应系统，其特征在于，所述第一阀体（3）与第一吹扫气体入口（2）之间还设置有第一微漏阀（21）。

6.如权利要求2所述的气体供应系统，其特征在于，所述第二吹扫气体入口（17）与第九阀体（19）之间设置有第二微漏阀（22）。

7.如权利要求1或2所述的气体供应系统，其特征在于，所述第一阀体（3）、第六阀体（12）分别为单向阀。

8.如权利要求2所述的气体供应系统，其特征在于，所述第九阀体（19）为单向阀。

9.如权利要求3所述的气体供应系统，其特征在于，所述第十阀体（26）、第十五阀体（37）分别为单向阀。