CN207800567U - 一种固体蜡贴片机压片装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种固体蜡贴片机压片装置，其包括压盘冷却结构和支撑盘加热冷却结构；压盘冷却结构设置在支撑盘加热冷却结构上部；压盘冷却结构包括压头冷却盘，压头冷却盘内部设置有循环冷却水槽，压头冷却盘上设置有两个与循环冷却水槽连通的第一冷却水接头，一个第一冷却水接头作为进水接头，另一个第一冷却水接头作为出水接头；压头冷却盘底部设置有压头，压头冷却盘顶部设置有压片板连接板，压头通过连接螺栓依次与压头冷却盘和压片板连接板连接；压片板连接板中部设置有连接端，压片板连接板的连接端穿过气缸运行板中部后与导向机构连接，气缸运行板通过连接杆与导向机构连接。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种压片装置，特别是关于一种在半导体制造领域中应用的固体蜡贴片机压片装置。
背景技术
目前，市场上有各种各样的半导体制造领域单晶片的压盘结构。但是现有的压盘结构存在压力调节不好，且压盘没有平行度调节功能。因此，为了克服现有压盘结构的上述缺陷，亟需对现有结构进行有益的改进。
发明内容
针对上述问题，本实用新型的目的是提供一种固体蜡贴片机压片装置，该装置具有双重冷却，压力调节和压盘平行度调节功能。
为实现上述目的，本实用新型采取以下技术方案：一种固体蜡贴片机压片装置，其特征在于：该装置包括压盘冷却结构和支撑盘加热冷却结构；所述压盘冷却结构设置在所述支撑盘加热冷却结构上部；所述压盘冷却结构包括压头冷却盘、第一冷却水接头、压头、压片板连接板、连接螺栓、气缸运行板、连接杆和导向机构；所述压头冷却盘内部设置有循环冷却水槽，所述压头冷却盘上设置有两个与所述循环冷却水槽连通的所述第一冷却水接头，一个所述第一冷却水接头作为进水接头，另一个所述第一冷却水接头作为出水接头；所述压头冷却盘底部设置有所述压头，所述压头冷却盘顶部设置有所述压片板连接板，所述压头通过所述连接螺栓依次与所述压头冷却盘和压片板连接板连接；所述压片板连接板中部设置有连接端，所述压片板连接板的连接端穿过所述气缸运行板中部后与所述导向机构连接，所述气缸运行板通过所述连接杆与所述导向机构连接。本实用新型具有双重冷却，压力调节，压盘平行度调节的压盘结构。
进一步，所述导向机构包括直线轴承、气缸支撑板、导向杆连接块和气缸；所述直线轴承设置在所述连接杆上，所述连接杆一端与所述气缸运行板连接，所述连接杆另一端穿过所述气缸支撑板；在所述气缸支撑板上方，位于同一侧的两所述连接杆顶部通过所述导向杆连接块连接；位于所述气缸支撑板中部设置有气缸，所述气缸的输出端与所述压片板连接板的连接端连接；所述气缸支撑板底部与所述支撑盘加热冷却结构连接。
进一步，位于所述气缸支撑板一侧设置有一通孔，所述通孔侧壁上设置有保护链支架，位于所述压头冷却盘侧壁也设置有所述保护链支架，两所述保护链支架位于同侧；保护链一端经所述保护链支架连接在所述气缸支撑板上，另一端经所述保护链支架连接在所述压头冷却盘侧部。
进一步，所述连接杆上设置有浮动接头。
进一步，所述压头冷却盘与所述压头之间设置有O型圈。
进一步，所述支撑盘加热冷却结构包括压头底板、压头支撑、支撑盘支撑柱、支撑盘冷却盘和支撑盘加热盘；所述压头底板通过所述压头支撑与所述气缸支撑板底部连接，所述压头底板中部通过所述支撑盘支撑柱与所述支撑盘冷却盘连接；所述支撑盘冷却盘上部设置有所述支撑盘加热盘。
进一步，在所述支撑盘加热盘内设置有加热器和温度传感器。
进一步，在所述支撑盘加热盘与所述支撑盘冷却盘之间设置有O型圈。
进一步，所述气缸支撑板与所述压头底板之间设置有穿线管。
进一步，所述支撑盘冷却盘内部设置有另一循环冷却水槽，在所述支撑盘冷却盘上设置有两个与所述另一循环冷却水槽连通的第二冷却水接头，一个所述第二冷却水接头作为进水接头，另一个所述第二冷却水接头作为出水接头。
附图说明
图1是本实用新型的整体结构示意图；
图2是本实用新型的分解示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型进行详细的描述。
如图1、图2所示，本实用新型提供一种固体蜡贴片机压片装置，其包括压盘冷却结构和支撑盘加热冷却结构。压盘冷却结构设置在支撑盘加热冷却结构上部。其中：
压盘冷却结构包括压头冷却盘1、第一冷却水接头2、压头3、O型圈4、压片板连接板5、连接螺栓6、气缸运行板7、连接杆8和导向机构。压头冷却盘1内部设置有循环冷却水槽，在压头冷却盘1上设置有两个与循环冷却水槽连通的第一冷却水接头2，一个第一冷却水接头2接头作为进水接头，另一个第一冷却水接头2作为出水接头。压头冷却盘1底部设置有压头3，且压头冷却盘1与压头3 之间设置有O型圈4进行密封；压头冷却盘1顶部设置有压片板连接板5；压头3 通过连接螺栓6依次与压头冷却盘1和压片板连接板5连接。压片板连接板5中部设置有连接端，压片板连接板5的连接端穿过气缸运行板7中部后与导向机构连接，气缸运行板7通过连接杆8与导向机构连接。
上述实施例中，导向机构包括直线轴承9、气缸支撑板10、导向杆连接块11 和气缸12。直线轴承9设置在连接杆8上，通过直线轴承9进行导向，保证压头冷却盘1在升降过程中的水平度；连接杆8一端与气缸运行板7连接，连接杆8 另一端穿过气缸支撑板10。在气缸支撑板10上方，位于同一侧的两连接杆8顶部通过导向杆连接块11连接。位于气缸支撑板10中部设置有气缸12，气缸12的输出端与压片板连接板5的连接端连接，由气缸12带动压片板连接板5进行升降运动，进而实现带动压头冷却盘1进行升降运动，以调节压头冷却盘1与支撑盘加热冷却结构之间的距离。气缸支撑板10底部与支撑盘加热冷却结构连接。
其中，在连接杆8上还设置有浮动接头13，通过浮动接头13可以压头冷却盘 1的水平高度。
上述各实施例中，位于气缸支撑板10一侧还设置有一通孔，通孔侧壁上设置有保护链支架14，位于压头冷却盘1侧壁也设置有保护链支架14，两保护链支架 14位于同侧。保护链15一端经保护链支架14连接在气缸支撑板10上，另一端经保护链支架14连接在压头冷却盘1侧部。使用时，通过保护链15保护压头冷却盘1在升降过程中的安全性。
在一个优选地实施例中，支撑盘加热冷却结构包括压头底板16、压头支撑17、支撑盘支撑柱18、支撑盘冷却盘19、支撑盘加热盘20、加热器21和温度传感器 22。压头底板16通过压头支撑17与气缸支撑板10底部连接，压头底板16中部通过支撑盘支撑柱18与支撑盘冷却盘19连接。支撑盘冷却盘19上部设置有支撑盘加热盘20，位于支撑盘加热盘20与支撑盘冷却盘19之间设置有O型圈4进行密封。位于支撑盘加热盘20内设置有加热器21和温度传感器22，温度传感器22 用于检测在加工过程中支撑盘加热盘20的温度变化。
上述实施例中，位于气缸支撑板10与压头底板16之间还设置有穿线管23，通过穿线管23用来穿入裸漏在外部的气管和电线。
上述各实施例中，支撑盘冷却盘19内部也设置有循环冷却水槽，在支撑盘冷却盘19上也设置有两个与循环冷却水槽连通的第二冷却水接头24，一个第二冷却水接头24作为进水接头，另一个第二冷却水接头24作为出水接头。
上述各实施例仅用于说明本实用新型，各部件的结构、尺寸、设置位置及形状都是可以有所变化的，在本实用新型技术方案的基础上，凡根据本实用新型原理对个别部件进行的改进和等同变换，均不应排除在本实用新型的保护范围之外。
Claims (10)
1.一种固体蜡贴片机压片装置，其特征在于：该装置包括压盘冷却结构和支撑盘加热冷却结构；所述压盘冷却结构设置在所述支撑盘加热冷却结构上部；
所述压盘冷却结构包括压头冷却盘、第一冷却水接头、压头、压片板连接板、连接螺栓、气缸运行板、连接杆和导向机构；所述压头冷却盘内部设置有循环冷却水槽，所述压头冷却盘上设置有两个与所述循环冷却水槽连通的所述第一冷却水接头，一个所述第一冷却水接头作为进水接头，另一个所述第一冷却水接头作为出水接头；所述压头冷却盘底部设置有所述压头，所述压头冷却盘顶部设置有所述压片板连接板，所述压头通过所述连接螺栓依次与所述压头冷却盘和压片板连接板连接；所述压片板连接板中部设置有连接端，所述压片板连接板的连接端穿过所述气缸运行板中部后与所述导向机构连接，所述气缸运行板通过所述连接杆与所述导向机构连接。
2.如权利要求1所述的一种固体蜡贴片机压片装置，其特征在于：所述导向机构包括直线轴承、气缸支撑板、导向杆连接块和气缸；所述直线轴承设置在所述连接杆上，所述连接杆一端与所述气缸运行板连接，所述连接杆另一端穿过所述气缸支撑板；在所述气缸支撑板上方，位于同一侧的两所述连接杆顶部通过所述导向杆连接块连接；位于所述气缸支撑板中部设置有气缸，所述气缸的输出端与所述压片板连接板的连接端连接；所述气缸支撑板底部与所述支撑盘加热冷却结构连接。
3.如权利要求2所述的一种固体蜡贴片机压片装置，其特征在于：位于所述气缸支撑板一侧设置有一通孔，所述通孔侧壁上设置有保护链支架，位于所述压头冷却盘侧壁也设置有所述保护链支架，两所述保护链支架位于同侧；保护链一端经所述保护链支架连接在所述气缸支撑板上，另一端经所述保护链支架连接在所述压头冷却盘侧部。
4.如权利要求1所述的一种固体蜡贴片机压片装置，其特征在于：所述连接杆上设置有浮动接头。
5.如权利要求1所述的一种固体蜡贴片机压片装置，其特征在于：所述压头冷却盘与所述压头之间设置有O型圈。
6.如权利要求2所述的一种固体蜡贴片机压片装置，其特征在于：所述支撑盘加热冷却结构包括压头底板、压头支撑、支撑盘支撑柱、支撑盘冷却盘和支撑盘加热盘；所述压头底板通过所述压头支撑与所述气缸支撑板底部连接，所述压头底板中部通过所述支撑盘支撑柱与所述支撑盘冷却盘连接；所述支撑盘冷却盘上部设置有所述支撑盘加热盘。
7.如权利要求6所述的一种固体蜡贴片机压片装置，其特征在于：在所述支撑盘加热盘内设置有加热器和温度传感器。
8.如权利要求6所述的一种固体蜡贴片机压片装置，其特征在于：在所述支撑盘加热盘与所述支撑盘冷却盘之间设置有O型圈。
9.如权利要求6所述的一种固体蜡贴片机压片装置，其特征在于：所述气缸支撑板与所述压头底板之间设置有穿线管。
10.如权利要求6所述的一种固体蜡贴片机压片装置，其特征在于：所述支撑盘冷却盘内部设置有另一循环冷却水槽，在所述支撑盘冷却盘上设置有两个与所述另一循环冷却水槽连通的第二冷却水接头，一个所述第二冷却水接头作为进水接头，另一个所述第二冷却水接头作为出水接头。
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| CN201820232460.0U CN207800567U (zh) | 2018-02-09 | 2018-02-09 | 一种固体蜡贴片机压片装置 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115519421A (zh) * | 2022-10-13 | 2022-12-27 | 江苏超芯星半导体有限公司 | 一种晶圆厚薄片的加工方法 |
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