CN207787186U - 清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供了一种清洗装置，包括清洗池和至少两个过滤装置，每个所述过滤装置的进液口皆通过输液管路与清洗池的排液口相连通，每个与所述过滤装置的进液口相连接的所述输液管路上皆设有过滤控制阀；因此，当需要更换工作中的过滤装置时，通过调节所述过滤控制阀，切换其他过滤装置继续工作，再将原工作中的过滤装置进行更换，实现了掩模版清洗设备边清洗，边进行过滤装置的更换，保证生产任务的顺利进行，提高了清洗效率。

Description

清洗装置

技术领域

本实用新型涉及显示屏制造设备技术领域，尤其涉及掩模版的清洗领域，具体涉及一种清洗装置。

背景技术

FMM(Fine Metal Mask，精细金属掩膜版)模式，是通过蒸镀方式将OLED(OrganicLight-Emitting Diode,有机发光二极管)材料按照预定程序蒸镀到LTPS(LowTemperature Poly-silicon，低温多晶硅)背板上，利用精细金属掩膜版上的图形，蒸镀红绿蓝有机物到规定位置上，由于在量产的条件下，一片精细金属掩膜版需要重复使用多次，为了避免污染和混色，在每次使用完精细金属掩膜版后需要进行清洗。

目前的掩膜版清洗设备无法长时间使用，在使用其进行清洗工作一段时间后，为保证产品良率需要定期对过滤器进行更换，而更换过滤器时，需要在清洗设备闲置的情况下进行，这种更换方式降低了清洗效率，影响生产任务的正常进行。

实用新型内容

本实用新型的目的旨在提供一种清洗装置，实现了掩模版清洗设备边清洗，边进行过滤器的更换，保证生产任务的正常进行。

为了实现上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

本实用新型提供了一种清洗装置，包括清洗池和至少两个过滤装置，每个所述过滤装置的进液口皆通过输液管路与清洗池的排液口相连通，每个与所述过滤装置的进液口相连接的所述输液管路上皆设有过滤控制阀。

进一步地，每个所述输液管路上皆连通有供液管，所述供液管连于对应所述过滤控制阀与过滤装置之间。

进一步地，各所述输液管路的进液口端被合路后与清洗池上的同一个排液口连接。

进一步地，所述合路上设有总控制阀。

进一步地，所述清洗池还连接有药液供给管与供水管，所述药液供给管和供水管上设有开关控制阀。

进一步地，所述清洗装置还包括废液排放管，每个所述过滤装置的排液口皆与所述废液排放管相连通。

进一步地，所述清洗装置还包括连通所述清洗池与所述废液排放管的直排管，所述直排管上设有开关控制阀。

进一步地，每个所述过滤装置的底部设有防漏槽，每个所述防漏槽与所述废液排放管相导通。

进一步地，所述清洗装置应用于掩模版的清洗。

相比现有技术，本实用新型的方案具有以下优点：

1.本实用新型的清洗装置，由于包括清洗池和至少两个过滤装置，每个所述过滤装置的进液口皆通过输液管路与清洗池的排液口相连通，每个与所述过滤装置的进液口相连接的所述输液管路上皆设有过滤控制阀；因此，当需要更换工作中的过滤装置时，通过调节过滤控制阀，切换其他过滤装置继续工作，再将原工作中的过滤装置进行更换，实现了掩模版清洗设备边清洗，边进行过滤装置的更换，保证生产任务的顺利进行，提高了清洗效率。

2.如果使用的清洗药液对人体有害，在更换过滤装置时，为保证作业人员人身安全，更换前往往需将清洗池内的清洗药液排空并注入去离子水清洗池2～3次，以保证过滤装置内部的清洗药液浓度最低。本实用新型的清洗装置，每个所述输液管路上皆连通有供液管，所述供液管连于对应所述过滤控制阀与过滤装置之间。所述供液管可直接向过滤装置注入去离子水，对过滤装置内部的清洗药液进行稀释，无需将清洗池内清洗药液排空和注入水清洗池以稀释药液，既保证了作业人员人身安全，又可节约清洗药液和水资源。

3.本实用新型的清洗装置，各所述输液管路的进液口端被合路后与清洗池上的同一个排液口连接，减少了清洗池排液口和输液管道的使用，节约资源，并简化了过滤装置管路的设计。

4.每个所述过滤装置的底部设有防漏槽，每个所述防漏槽与所述废液排放管相导通，所述防漏槽用于承接过滤装置渗出的清洗药液，一方面可以防止渗出的清洗药液污染环境和危害作业人员人生安全，另一方面可将渗出的清洗药液进行回收，循环利用，以节约资源。

本实用新型附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为本实用新型提供的一种清洗装置一个实施例的结构示意图；

图2为本实用新型提供的一种清洗装置又一个实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。

本实用新型提供的一种清洗装置，包括清洗池1和至少两个过滤装置2，所述清洗池1可用于清洗掩膜版上的杂质，所述过滤装置2用于将清洗池1内的清洗药液进行过滤，过滤后的清洗药液可直接排放，而不破坏环境，亦可回收以循环利用，节约资源。所述每个过滤装置2设有更换提示装置，如压力检测装置，以实时监测过滤装置2的过滤情况，及时提醒更换过滤装置2；所述过滤装置2的进液口皆通过输液管路与清洗池1的排液口相连通，每个与所述过滤装置2的进液口相连接的所述输液管路上皆设有过滤控制阀3，所述过滤控制阀3用于控制每个过滤装置2对清洗池1内清洗药液的过滤，如图1所示，本实用新型的一个实施例中，该清洗装置采用两个过滤装置2，当需要更换正参与清洗工作中的过滤装置2时，关闭该过滤装置2的过滤控制阀，打开另一个过滤装置的过滤控制阀3，切换成另一个过滤装置继续参与清洗工作，并对原工作中的过滤装置2进行更换，以为下次切换做准备，如此循环可保证清洗装置不会因过滤装置2的更换而影响生产任务的进行。从而实现了掩模版清洗设备边清洗，边进行过滤装置2的更换，保证生产任务的顺利进行，提高了清洗装置的清洗效率。

进一步地，如果使用的清洗药液对人体有害，在更换过滤装置时，为保证作业人员人身安全，更换前往往需将清洗池内的清洗药液排空并注入去离子水清洗池2～3次，保证过滤装置内部的清洗药液浓度最低。在本实用新型的一个实施例中，如图2所示，每个所述输液管路上皆连通有供液管14，所述供液管14连于对应所述过滤控制阀3与过滤装置2之间。所述供液管14可直接向过滤装置2注入清洗过滤装置2的液体，如去离子水，以对过滤装置2内部的清洗药液进行稀释，无需将清洗池内清洗药液排空和注入水清洗池1以稀释药液，既保证了作业人员人身安全，又可节约清洗药液和水资源。

每个所述过滤装置2的进液口可通过输液管路，实现与清洗池1不同的排液口相连通，优选地，本实用新型的一个实施例中，各所述输液管路的进液口端被合路后与清洗池1上的同一个排液口连接，减少了清洗池1排液口和输液管道的使用，节约资源，并简化了清洗装置管路的设计。

进一步地，各所述输液管路的进液口端的合路上设有总控制阀4，以控制所有的过滤装置，还可用于排出过滤装置2内部的气体，保证过滤装置2的过滤工作顺利进行。

进一步地，所述清洗池1还连接有药液供给管7与供水管8，所述药液供给管7外接药液供给装置，以为清洗池1提供清洗药液，所述供水管8外接有供水装置，用以为清洗池1及过滤装置2提供稀释液体，所述药液供给管7上设有开关控制阀9，所述供水管8上设有开关控制阀10。所述药液供给管7为清洗池1内提供清洗药液，所述开关控制阀9用于控制清洗药液的用量，所述供水管8和开关控制阀10可用于稀释清洗池1和过滤装置2内部的清洗药液，优选地，所述供水管8内的液体为去离子水。

进一步地，所述清洗装置还包括废液排放管15，每个所述过滤装置的排液口皆与所述废液排放管15相连通，有利于过滤后的清洗药液的集中排放或回收利用，并简化了过滤装置管路的设计，减少了输液管道的使用，节约资源。

所述清洗装置还包括连通所述清洗池1与所述废液排放管15的直排管5，所述直排管5上设有开关控制阀6。一般情况下，所述开关控制阀6处于关闭状态，在停止清洗或停止过滤时，开启所述开关控制阀6，所述清洗池1内的清洗药液通过所述直排管5快速排出，不需要经过过滤装置2。

进一步地，每个所述过滤装置2的底部设有防漏槽11，每个所述防漏槽11与所述废液排放管15相导通，每个所述过滤装置2的排液口与对应的所述防漏槽11的排液口相导通，与所述防漏槽11的排液口相连接的管道上设有开关控制阀13，所述开关控制阀13设于过滤装置2与防漏槽11合路之后，所述防漏槽11用于承接过滤装置2渗出的清洗药液，一方面可以防止渗出的清洗药液污染环境和危害作业人员人生安全，另一方面可将渗出的清洗药液进行回收，循环利用，以节约资源。

进一步地，连通每个所述过滤装置2与所述废液排放管15的管道上皆设有开关控制阀12，所述开关控制阀12设于过滤装置2与防漏槽11合路之前，以控制过滤装置2过滤后的清洗药液的排放。

进一步地，所述清洗装置2应用于掩模版的清洗，实现了掩模版清洗设备边清洗，边进行过滤装置2的更换，保证生产任务的正常进行，提高了清洗效率，清洗掩模版后的清洗药液通过收集可循环利用，以节约资源。

结合图1、图2所示，本实用新型提供的清洗装置在清洗掩模版时，将掩模版放入清洗池1内，供水管8的开关控制阀10处于关闭状态，开启开关控制阀9，药液供给管7向清洗池1提供清洗药液，以清洗掩模版，清洗完毕后，开启总控制阀4和过滤控制阀3，过滤装置2将清洗药液进行过滤，过滤后的清洗药液经过过滤装置2的排液口排放。

在本实用新型的一个实施例中，如图1所示，当需要更换正参与清洗工作的过滤装置2时，关闭工作中的过滤装置2的过滤控制阀，开启另一个过滤装置的过滤控制阀3，切换成另一个过滤装置继续参与清洗工作，并对原工作中的过滤装置2进行更换，以为下次切换做准备，如此循环可保证清洗装置不会因过滤装置2的更换而影响生产任务的进行。实现了清洗设备边清洗，边进行过滤装置2的更换，保证生产任务的正常进行，提高了清洗效率。

在清洗工作中，如果使用的清洗药液对人体有害，在更换过滤装置2时，为保证作业人员人身安全，更换前往往需将清洗池1内的清洗药液排空并注入去离子水清洗池2～3次，保证过滤装置2内部的清洗药液浓度最低，在本实用新型的又一个实施例中，如图2所示，在更换时，关闭工作中的过滤装置2的过滤控制阀，开启另一个过滤装置的过滤控制阀3以继续完成清洗工作，所述供液管14直接向原工作中的过滤装置2注入清洗液体，如去离子水，以对过滤装置2内部清洗药液进行稀释，稀释完毕后，再更换原工作中的过滤装置2，以为下次切换做准备。无需将清洗池1内清洗药液排空和注入水清洗池1以稀释清洗药液，既保证了作业人员人身安全，又可节约清洗药液和水资源。

以上所述仅是本实用新型的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种清洗装置，其特征在于，包括清洗池和至少两个过滤装置，每个所述过滤装置的进液口皆通过输液管路与清洗池的排液口相连通，每个与所述过滤装置的进液口相连接的所述输液管路上皆设有过滤控制阀。

2.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，每个所述输液管路上皆连通有供液管，所述供液管连于对应所述过滤控制阀与过滤装置之间。

3.根据权利要求1或2所述的清洗装置，其特征在于，各所述输液管路的进液口端被合路后与清洗池上的同一个排液口连接。

4.根据权利要求3所述的清洗装置，其特征在于，所述合路上设有总控制阀。

5.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗池还连接有药液供给管与供水管，所述药液供给管和供水管上设有开关控制阀。

6.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，还包括废液排放管，每个所述过滤装置的排液口皆与所述废液排放管相连通。

7.根据权利要求6所述的清洗装置，其特征在于，还包括连通所述清洗池与所述废液排放管的直排管，所述直排管上设有开关控制阀。

8.根据权利要求6或7所述的清洗装置，其特征在于，每个所述过滤装置的底部设有防漏槽，每个所述防漏槽与所述废液排放管相导通。