CN207770403U - 硅片超声波清洗装置 - Google Patents

Abstract

一种硅片超声波清洗装置，包括清洗槽、热风机、组合控制器、加热器以及超声波发生器，清洗槽为U形槽罐，清洗槽左侧内壁上方安装有热风机，热风机下方安装有组合控制器，组合控制器从上至下分别包括水浸传感器和水温控制器，水浸传感器串联在水温控制器的串联电路上，水温控制器与加热器电性连接，加热器下方左右安装有超声波发生器，清洗槽底部左侧连接有进水管道，底部中心连接有排水管道。清洗槽采用U形槽罐，底部中心排水更顺畅；热风机能够快速辅助沥干吊篮内的硅片；水浸传感器串联水温控制器，防止加热器在缺水情况下开启损坏，并有效控制水温；防护垫及保护块的设置能够有效避免吊篮磕碰造成损坏，使整体结构更加安全、耐用。

Description

硅片超声波清洗装置

技术领域

本实用新型属于光伏配件生产领域，具体涉及一种硅片超声波清洗装置。

背景技术

在硅片的生产过程中，为了保证硅片表面的洁净，通常对切割完成的硅片进行超声波清洗，以去除残留的胶、浆料及硅粉，一般清洗过程设置有多道工序，且清洗槽内的水温、溶剂均有不同，硅片的清洁程度直接影响到硅片的最终质量及其使用寿命。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型提供一种智能控制、清洗效果好的硅片超声波清洗装置。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种硅片超声波清洗装置，包括清洗槽、热风机、组合控制器、加热器以及超声波发生器，所述清洗槽为U形槽罐，所述清洗槽左侧内壁上方安装有所述热风机，所述热风机下方安装有所述组合控制器，所述组合控制器从上至下分别包括水浸传感器和水温控制器，所述水浸传感器串联在所述水温控制器的串联电路上，所述水温控制器与所述加热器电性连接，所述加热器设置有两对，通过固定块分别安装在所述清洗槽的前后内壁上，所述固定块上方铺设有防护垫，所述固定块下方左右分别安装有所述超声波发生器，所述清洗槽底部左侧连接有进水管道，底部中心连接有排水管道。

所述热风机底部与所述清洗槽内壁之间安装有保护块。

所述清洗槽左右侧壁顶端分别竖直安装有挡水板。

所述进水管道和排水管道上分别安装有电子控制阀。

所述清洗槽外壁上安装有控制面板，所述控制面板包括水温数值显示屏及所述超声波发生器、电子控制阀的开关按钮。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：清洗槽采用U形槽罐，底部中心排水、排渣更顺畅，且方便清理；热风机能够快速辅助沥干吊篮内的硅片，并安装有挡水板，防止清洗剂相互污染；水浸传感器串联水温控制器，防止加热器在缺水情况下开启损坏，并有效控制水温，使清洗剂发挥更加优秀的功效；防护垫及保护块的设置能够有效保护热风机、加热器以及曹声波发生器，避免吊篮磕碰，使整体结构更加安全、耐用。

附图说明

图1是本实用新型的主视图。

附图中：1.清洗槽；2.热风机；3.组合控制器；4.加热器；5.超声波发生器；6.水浸传感器；7.水温控制器；8.固定块；9.防护垫；10.进水管道；11.排水管道；12.保护块；13.挡水板；14.控制面板。

具体实施方式

如说明书附图中图1所示的一种硅片超声波清洗装置，包括清洗槽1、热风机2、组合控制器3、加热器4以及超声波发生器5，清洗槽1为U形槽罐，清洗槽1左侧内壁上方安装有热风机2，热风机2可通过红外感应进行开启和关闭操作，用于清洗出水后，对吊篮内的硅片进行快速沥干，一则减少沥干时间，二则避免清洗槽1相互污染，热风机2下方安装有组合控制器3，组合控制器3从上至下分别包括水浸传感器6和水温控制器7，水浸传感器6串联在水温控制器7的串联电路上，当清洗槽1内的水达到税金传感器6的高度时，水温控制器7才能正常工作，水温控制器7与加热器4电性连接，设定所需加热温度，从而控制清洗槽1内水的温度，加热器4设置有两对，通过固定块8分别安装在清洗槽1的前后内壁上，固定块8上方铺设有防护垫9，防护垫9优选为柔性抗腐蚀橡胶，一则防止吊篮磕碰加热器及清洗槽1槽底，固定块8下方左右分别安装有超声波发生器5，清洗槽1底部左侧连接有进水管道10，底部中心连接有排水管道11。

热风机2底部安装有保护块12，防止吊篮在升降过程中碰撞热风机2。

清洗槽1左右侧壁顶端分别竖直安装有挡水板13，防止热风机2吹干和吊篮升降过程中，清洗槽1内的水飞溅，污染相邻清洗槽1。

进水管道10和排水管道11上分别安装有电子控制阀12。

清洗槽外壁上安装有控制面板14，控制面板14包括水温控制器7的显示屏及超声波发生器5、电子控制阀12的开关按钮，通过控制面板的集中控制，可实现进水、排水、超声波发生器5的开启、关闭操作，并对清洗槽1内的水温进行实时监测报警。

综上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用来限定本实用新型实施的范围，凡依本实用新型权利要求范围所述的形状、构造、特征及精神所为的均等变化与修饰，均应包括于本实用新型的权利要求范围内。

Claims (5)

1.一种硅片超声波清洗装置，其特征在于：包括清洗槽(1)、热风机(2)、组合控制器(3)、加热器(4)以及超声波发生器(5)，所述清洗槽(1)为U形槽罐，所述清洗槽(1)左侧内壁上方安装有所述热风机(2)，所述热风机(2)下方安装有所述组合控制器(3)，所述组合控制器(3)从上至下分别包括水浸传感器(6)和水温控制器(7)，所述水浸传感器(6)串联在所述水温控制器(7)的串联电路上，所述水温控制器(7)与所述加热器(4)电性连接，所述加热器(4)设置有两对，通过固定块(8)分别安装在所述清洗槽(1)的前后内壁上，所述固定块(8)上方铺设有防护垫(9)，所述固定块(8)下方左右分别安装有所述超声波发生器(5)，所述清洗槽(1)底部左侧连接有进水管道(10)，底部中心连接有排水管道(11)。

2.根据权利要求1所述的硅片超声波清洗装置，其特征在于：所述热风机(2)底部安装有保护块(12)。

3.根据权利要求2所述的硅片超声波清洗装置，其特征在于：所述清洗槽(1)左右侧壁顶端分别竖直安装有挡水板(13)。

4.根据权利要求3所述的硅片超声波清洗装置，其特征在于：所述进水管道(10)和排水管道(11)上分别安装有电子控制阀(12)。

5.根据权利要求4所述的硅片超声波清洗装置，其特征在于：所述清洗槽(1)外壁上安装有控制面板(14)，所述控制面板(14)包括所述水温控制器(7)的显示屏及所述超声波发生器(5)、电子控制阀(12)的开关按钮。