CN207768008U - 工业生产用花篮 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，尤其是涉及一种工业生产用花篮，包括两侧板，两个所述两侧板之间设有上磁杆组和下磁杆组，所述上磁杆组位于所述下磁杆组的上方，所述上磁杆组由两个相对设置的上磁杆组成，所述下磁杆组由至少一个下磁杆组成，所述上磁杆和所述下磁杆之间相互平行设置，所述下磁杆位于两个所述上磁杆之间，两个所述上磁杆上相对设置有若干卡槽，所述下磁杆和所述上磁杆的外表面均经过等离子电晕处理，减小花篮材料表面的张力，液体无法在表面形成大颗粒的水珠，可以起到节省化学品药水和水的目的，同时烘干时间较以前缩短一倍，实现产能增加。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，尤其是涉及一种工业生产用花篮。
背景技术
目前行业内花篮的材质表面在用于化学清洗腐蚀段工艺的时候，花篮出水后，由于材料表面张力的问题，经常挂有大颗粒的水珠，在工艺流转的时候带来一下问题：带液对下段工艺用药水的污染较大，同时也加大纯水洗净耗用水量，在产品烘干时增加烘干时间，生产效率低下。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：为了解决花篮出水后，由于材料表面张力的问题，经常挂有大颗粒的水珠的问题，现提供了一种工业生产用花篮。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种工业生产用花篮，包括两侧板，两个所述两侧板之间设有上磁杆组和下磁杆组，所述上磁杆组位于所述下磁杆组的上方，所述上磁杆组由两个相对设置的上磁杆组成，所述下磁杆组由至少一个下磁杆组成，所述上磁杆和所述下磁杆之间相互平行设置，所述下磁杆位于两个所述上磁杆之间，两个所述上磁杆上相对设置有若干卡槽，所述下磁杆和所述上磁杆的外表面均经过等离子电晕处理。通过在上磁杆和下磁杆的外表面进行等离子电晕处理，减小花篮材料表面的张力，液体无法在表面形成大颗粒的水珠，可以起到节省化学品药水和水的目的，同时烘干时间较以前缩短一倍，实现产能增加。
为了保证硅片装载稳定可靠，进一步地，所述下磁杆有两个，两个所述下磁杆之间具有间隙。通过两个下支撑杆对硅片下底面进行支撑，增加了硅片底部的支撑面积，保证了硅片支撑稳定可靠。
本实用新型的有益效果是：本实用新型工业生产用花篮在使用时，减小花篮材料表面的张力，液体无法在表面形成大颗粒的水珠，可以起到节省化学品药水和水的目的，同时烘干时间较以前缩短一倍，实现产能增加，避免了花篮出水后，由于材料表面张力的问题，经常挂有大颗粒的水珠，带液对下段工艺用药水的污染较大，纯水洗净耗用水量加大，以及产品烘干时增加烘干时间，生产效率低下的问题。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型工业生产用花篮的主视图；
图2是本实用新型工业生产用花篮的俯视图。
图中：1、侧板，2、上磁杆，3、下磁杆，4、卡槽。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型做进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
实施例
如图1-2所示，一种工业生产用花篮，包括两侧板1，两个侧板1相互平行设置，两个所述两侧板1之间设有上磁杆组和下磁杆组，所述上磁杆组位于所述下磁杆组的上方，所述上磁杆组由两个相对设置的上磁杆2组成，所述下磁杆组由至少一个下磁杆3组成，所述上磁杆2和所述下磁杆3之间相互平行设置，所述下磁杆3位于两个所述上磁杆2之间，两个所述上磁杆2上相对设置有若干卡槽4，两个上磁杆2上的卡槽4也是一一对应的，所述下磁杆3和所述上磁杆2的外表面均经过等离子电晕处理。
所述下磁杆3有两个，两个所述下磁杆3之间具有间隙。两个下磁杆3在同一水平面。
上述工业生产用花篮在运用时，通过将需要处理的硅片放置在两侧板1的上磁杆2和下磁杆3之间，通过上磁杆2上的卡槽4将硅片限位，由于下磁杆3和上磁杆2的外表面均经过等离子电晕处理，减小花篮材料表面的张力，液体无法在表面形成大颗粒的水珠，可以起到节省化学品药水和水的目的，同时烘干时间较以前缩短一倍，实现产能增加。
上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (2)
1.一种工业生产用花篮，其特征在于：包括两侧板(1)，两个所述两侧板(1)之间设有上磁杆组和下磁杆组，所述上磁杆组位于所述下磁杆组的上方，所述上磁杆组由两个相对设置的上磁杆(2)组成，所述下磁杆组由至少一个下磁杆(3)组成，所述上磁杆(2)和所述下磁杆(3)之间相互平行设置，所述下磁杆(3)位于两个所述上磁杆(2)之间，两个所述上磁杆(2)上相对设置有若干卡槽(4)，所述下磁杆(3)和所述上磁杆(2)的外表面均经过等离子电晕处理。
2.根据权利要求1所述的工业生产用花篮，其特征在于：所述下磁杆(3)有两个，两个所述下磁杆(3)之间具有间隙。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720603266.4U CN207768008U (zh) | 2017-05-26 | 2017-05-26 | 工业生产用花篮 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN201720603266.4U CN207768008U (zh) | 2017-05-26 | 2017-05-26 | 工业生产用花篮 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN207768008U true CN207768008U (zh) | 2018-08-28 |
Family
ID=63218749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201720603266.4U Active CN207768008U (zh) | 2017-05-26 | 2017-05-26 | 工业生产用花篮 |
Country Status (1)
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2017
- 2017-05-26 CN CN201720603266.4U patent/CN207768008U/zh active Active
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Legal Events
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