CN207760427U - 一种三甲基铝计量输送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种三甲基铝计量输送装置，包括：承重传感器，放置在承重传感器上的TMA蒸发罐，连接TMA蒸发罐的出料管路及补料管路，以及连接出料管路的吹气管路；TMA蒸发罐具有温度传感器及液位传感器；出料管路具有质量流量计，质量流量计设置有旁路气动阀及连接出口端设置有出料气动阀二；吹气管路的出口端设置有吹气气动阀；补料管路设置有补料气动阀，且补料管路通过手动补料阀连接至手动补料口，同时并联的通过自动补料阀连接至自动补料口。该实用新型通过精确的温度控制使TMA蒸发罐内压力恒定，再通过对TMA蒸气的控制以精确控制TMA的量，控制精度高，过程相对简便，管道不易堵塞，维护比较方便。

Description

一种三甲基铝计量输送装置

技术领域

本实用新型涉及一种计量输送设备，特别涉及一种三甲基铝计量输送在装置。

背景技术

三甲基铝( Trimethyl Aluminum，简称TMA，其分子式为C₃H₉Al)在常温常压下为无色透明液体，反应性极强，在空气中会自燃且瞬间就能着火；与具有活性氢的酒精类、酸类激烈反应；与水反应激烈，即使在冷水中也能产生爆炸性分解反应，并生成甲烷，有时还能发火。

在光伏行业对硅电池片进行表面氧化铝镀膜时需要用到TMA，因而TMA的输送安全性尤为重要，现有技术的传统输送方式如下：

1、采用惰性气体，如氮气和氩气作为携带气体，通过混合或鼓泡的方式，通过对TMA混合气体计量再间接计算出TMA的量，其缺点是：TMA与携带气体混合的比例会受压力、温度等因素的影响，实际通过的TMA量不能准确测量，控制精度低；

2、采用TMA液体流量控制，再进行气化和混合，其缺点是：控制过程复杂，管道容易堵塞，维护不方便。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种三甲基铝计量输送装置，包括：

承重传感器，放置在所述承重传感器上的TMA蒸发罐，连接所述TMA蒸发罐的出料管路及补料管路，以及连接出料管路的吹气管路；

所述TMA蒸发罐具有温度传感器及液位传感器；

所述出料管路具有质量流量计，所述质量流量计设置有旁路气动阀及连接出口端设置有出料气动阀二；

所述吹气管路的出口端设置有吹气气动阀；

所述补料管路设置有补料气动阀，且所述补料管路通过手动补料阀连接至手动补料口，同时并联的通过自动补料阀连接至自动补料口。

其中，所述吹气管路的出口端连接至所述质量流量计入口端的出料管路上。

其中，所述吹气管路的出口端与所述出料管路的入口端之间的所述出料管路上设置有出料气动阀一。

其中，所述补料管路的出口端位于所述TMA蒸发罐的底端，所述出料管路的入口端位于所述TMA蒸发罐的顶端。

通过上述技术方案，本实用新型具有如下优点：

(1)通过精确的温度控制使TMA蒸发罐内压力恒定，再通过对TMA蒸气的控制实现精确控制TMA的量，控制精度高，可达±1%以内；

(2)通过承重传感器实时在线监控TMA重量，精度10克，可以实时根据生产要求，进行自动补液；

(3)通过温度传感器实时监控TMA系统温度，精度±1℃；

(4)补液功能：具备自动补液和手动补液功能，系统自动状态下，每次可以按照设定的重量进行进行自动补液；

(5)自动吹扫功能：系统可以对控制器件和管路进行自动吹扫，提高器件使用寿命和维护周期；

(6)TMA蒸发罐和承重传感器具备防爆功能；

(7)报警功能:

①TMA液位报警（低、正常、高、超高）；

②温度报警：上下限温度；

③烟雾报警；

④补液异常等报警。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为本实用新型实施例所公开的一种三甲基铝计量输送装置结构示意图。

图中数字表示：

11.承重传感器 12.TMA蒸发罐 13.温度传感器

14.液位传感器 21.出料管路 22.出料气动阀一

23. 旁路气动阀 24.质量流量计 25. 出料气动阀二

31.吹气管路 32.吹气气动阀 41.补料管路

42.补料气动阀 43.手动补料口 44.手动补料阀

45.自动补料阀

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

参考图1，本实用新型提供的三甲基铝计量输送装置，包括：承重传感器11，放置在承重传感器11上的TMA蒸发罐12，连接TMA蒸发罐12的出料管路21及补料管路41，以及连接出料管路21的吹气管路31，补料管路41的出口端位于TMA蒸发罐12的底端，出料管路21的入口端位于TMA蒸发罐12的顶端，出料管路21的出口端经控制器件连接至太阳能电池片镀膜工艺腔；TMA蒸发罐12具有温度传感器13及液位传感器14；出料管路21具有质量流量计24，质量流量计24设置有旁路气动阀23及连接出口端设置有出料气动阀二25；吹气管路31的出口端设置有吹气气动阀32；补料管路41设置有补料气动阀42，且补料管路41通过手动补料阀44连接至手动补料口43，同时并联的通过自动补料阀45连接至自动补料口。

其中，吹气管路31的出口端连接至质量流量计24入口端的出料管路21上，吹气管路31的出口端与出料管路21的入口端之间的出料管路21上设置有出料气动阀一22。

本实用新型通过精确的温度控制使TMA蒸发罐12内压力恒定，再通过对TMA蒸气的控制实现精确控制TMA的量，控制精度高，可达±1%以内；通过承重传感器11实时在线监控TMA重量，精度10克，可以实时根据生产要求，进行自动补液；通过温度传感器13实时监控TMA系统温度，精度±1℃；具备自动补液和手动补液功能，系统自动状态下，每次可以按照设定的重量进行进行自动补液；具备自动吹扫功能，系统可以对控制器件和管路进行自动吹扫，提高器件使用寿命和维护周期； TMA蒸发罐12和承重传感器11具备防爆功能；具备报警功能：①通过承重传感器11的检测功能实现TMA重量报警（低、正常、高）；②通过液位传感器14的报警检测功能实现 TMA液位报警（低、正常、高、超高）；③通过温度传感器13实现温度上下限检测报警；④并可实现烟雾报警、补液异常等报警。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对上述实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (4)

1.一种三甲基铝计量输送装置，其特征在于，包括：

承重传感器，放置在所述承重传感器上的TMA蒸发罐，连接所述TMA蒸发罐的出料管路及补料管路，以及连接出料管路的吹气管路；

所述TMA蒸发罐具有温度传感器及液位传感器；

所述出料管路具有质量流量计，所述质量流量计设置有旁路气动阀及连接出口端设置有出料气动阀二；

所述吹气管路的出口端设置有吹气气动阀；

所述补料管路设置有补料气动阀，且所述补料管路通过手动补料阀连接至手动补料口，同时并联的通过自动补料阀连接至自动补料口。

2.根据权利要求1所述的一种三甲基铝计量输送装置，其特征在于，所述吹气管路的出口端连接至所述质量流量计入口端的出料管路上。

3.根据权利要求2所述的一种三甲基铝计量输送装置，其特征在于，所述吹气管路的出口端与所述出料管路的入口端之间的所述出料管路上设置有出料气动阀一。

4.根据权利要求1所述的一种三甲基铝计量输送装置，其特征在于，所述补料管路的出口端位于所述TMA蒸发罐的底端，所述出料管路的入口端位于所述TMA蒸发罐的顶端。