CN207742157U - 在线吸气剂吸气测试装置 - Google Patents

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吴乐于
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Abstract

本实用新型公开了在线吸气剂吸气测试装置，由储气瓶，流量计，循环泵，第一三通阀，色谱、质谱仪，第二三通阀，可加热样品管和进气阀组成，可加热样品管内置吸气剂，其中储气瓶，流量计，循环泵，第一三通阀，色谱、质谱仪，第二三通阀由管路顺序连接，形成一个闭路循环，所述的储气瓶与流量计之间的管路一分为二，一根连接流量计，另一跟连接进气阀，所述的第一三通阀另一接口通过管路连接可加热样品管一端，可加热样品管另一端通过管路连接在第一三通阀与色谱、质谱仪之间的管路上，所述的第二三通阀另一接口连接管路为排气口。简单气路连接，不断测试气路中标准气体的气体含量，从而达到测试吸气剂对于标准气体内气体吸收情况。

Description

在线吸气剂吸气测试装置
技术领域
本实用新型涉及吸气测试装置领域，具体为一种在线吸气剂吸气测试装置。
背景技术
吸气剂，也称消气剂，英文名getter，是用来获得、维持真空以及纯化气体等，能有效地吸着某些(种)气体分子的制剂或装置的通称。有粉状、碟状、带状、管状、环状、杯状等多种形式。
吸气剂大量应用于真空电子器件中，为器件创造了良好的工作环境，稳定了器件的特性参量，对器件的性能及使用寿命有重要的影响
但是长久以来对于蒸散形吸气剂测试其吸气量已经很成熟，而对于费蒸散型吸气剂以及常温吸气剂来说，想测试其吸气量并不容易。
特别是对于非金属常温吸气剂来说，其对于气体吸收缓慢，达不到瞬间大量吸气效果，更难准确测试其吸气量。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种在线吸气剂吸气测试装置，用死循环采样装置，串联色谱或者质谱仪，达到准备测量常温吸气剂吸气量的目的。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
在线吸气剂吸气测试装置，其特征在于：由储气瓶，流量计，循环泵，第一三通阀，色谱、质谱仪，第二三通阀，可加热样品管和进气阀组成，可加热样品管内置吸气剂，其中储气瓶，流量计，循环泵，第一三通阀，色谱、质谱仪，第二三通阀由管路顺序连接，形成一个闭路循环，所述的储气瓶与流量计之间的管路一分为二，一根连接流量计，另一跟连接进气阀，所述的第一三通阀另一接口通过管路连接可加热样品管一端，可加热样品管另一端通过管路连接在第一三通阀与色谱、质谱仪之间的管路上，所述的第二三通阀另一接口连接管路为排气口。
所述的储气瓶与流量计之间的管路上设有三通，进气阀管路连接在三通上。
所述的第一三通阀与色谱、质谱仪之间的管路上设有三通，可加热样品管另一端管路连接三通上。
所述的三通为不锈钢三通。
所述的储气瓶上设有压力表。
所述的进气阀前端设有接头，用于连接充气泵。
工作原理为：旋转第二三通阀，打开排气通道，将测试装置内部气体排除；
旋转第二三通阀，关闭排气通道，打开进气阀，第一三通阀联通色谱、质谱仪，气体形成循环，测量标准气压，作为标准；
旋转第二三通阀，关闭排气通道，打开进气阀，第一三通阀联通可加热样品管，气体经过可加热样品管内的吸气剂，气体经过循环，检查气压，低于标准气压情况，在打开进气阀，充入气体，如此循环，直至气压回归标准，以此可通过对比前后差异值及最终气体含量，计算吸气剂的吸气量。
本实用新型有益效果：
简单气路连接，利用循环泵将标准气体在气路中通过吸气剂后循环，利用色谱或者质谱仪自动取样，不断测试气路中标准气体的气体含量，从而达到测试吸气剂对于标准气体内气体吸收情况。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型排气循环循环图；
图3为本实用新型标准气压测试循环图；
图4为本实用新型测试吸气量循环图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：
在线吸气剂吸气测试装置，由储气瓶1，流量计2，循环泵3，第一三通阀4，色谱、质谱仪5，第二三通阀6，可加热样品管7和进气阀8组成，可加热样品管内置吸气剂9，其中储气瓶，流量计，循环泵，第一三通阀，色谱、质谱仪，第二三通阀由管路顺序连接，形成一个闭路循环，储气瓶与流量计之间的管路一分为二，一根连接流量计，另一跟连接进气阀，第一三通阀另一接口通过管路连接可加热样品管一端，可加热样品管另一端通过管路连接在第一三通阀与色谱、质谱仪之间的管路上，第二三通阀另一接口连接管路为排气口。
储气瓶与流量计之间的管路上设有三通，进气阀管路连接在三通上。
第一三通阀与色谱、质谱仪之间的管路上设有三通，可加热样品管另一端管路连接三通上。
三通为不锈钢三通。
储气瓶上设有压力表。
进气阀前端设有接头，用于连接充气泵。
工作原理为：
图2：
储气瓶1，流量计2，循环泵3，第一三通阀4，色谱、质谱仪5，第二三通阀6，可加热样品管7和进气阀8组成，可加热样品管内置吸气剂9；
旋转第二三通阀，打开排气通道，将测试装置内部气体排除；
图3：
储气瓶1，流量计2，循环泵3，第一三通阀4，色谱、质谱仪5，第二三通阀6，可加热样品管7和进气阀8组成，可加热样品管内置吸气剂9；
旋转第二三通阀，关闭排气通道，打开进气阀，第一三通阀联通色谱、质谱仪，气体形成循环，测量标准气压，作为标准；
图4：
储气瓶1，流量计2，循环泵3，第一三通阀4，色谱、质谱仪5，第二三通阀6，可加热样品管7和进气阀8组成，可加热样品管内置吸气剂9；
旋转第二三通阀，关闭排气通道，打开进气阀，第一三通阀联通可加热样品管，气体经过可加热样品管内的吸气剂，气体经过循环，检查气压，低于标准气压情况，在打开进气阀，充入气体，如此循环，直至气压回归标准，以此可通过对比前后差异值及最终气体含量，计算吸气剂的吸气量。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.在线吸气剂吸气测试装置，其特征在于：由储气瓶，流量计，循环泵，第一三通阀，色谱、质谱仪，第二三通阀，可加热样品管和进气阀组成，可加热样品管内置吸气剂，其中储气瓶，流量计，循环泵，第一三通阀，色谱、质谱仪，第二三通阀由管路顺序连接，形成一个闭路循环，所述的储气瓶与流量计之间的管路一分为二，一根连接流量计，另一跟连接进气阀，所述的第一三通阀另一接口通过管路连接可加热样品管一端，可加热样品管另一端通过管路连接在第一三通阀与色谱、质谱仪之间的管路上，所述的第二三通阀另一接口连接管路为排气口。
2.根据权利要求1所述的在线吸气剂吸气测试装置，其特征在于：所述的储气瓶与流量计之间的管路上设有三通，进气阀管路连接在三通上。
3.根据权利要求1所述的在线吸气剂吸气测试装置，其特征在于：所述的第一三通阀与色谱、质谱仪之间的管路上设有三通，可加热样品管另一端管路连接三通上。
4.根据权利要求2-3中任意一项所述的在线吸气剂吸气测试装置，其特征在于：所述的三通为不锈钢三通。
5.根据权利要求1所述的在线吸气剂吸气测试装置，其特征在于：所述的储气瓶上设有压力表。
6.根据权利要求1所述的在线吸气剂吸气测试装置，其特征在于：所述的进气阀前端设有接头，用于连接充气泵。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113418825A (zh) * 2021-06-24 2021-09-21 中国核动力研究设计院 一种二氧化碳消弭剂消弭性能测试系统及测试方法

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