CN207688625U - 一种立式石英炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种立式石英炉,包括机架和固定在机架上的加热炉本体,加热炉本体采用立式结构,增加腔室利用空间,加大均温区放置空间;腔室是由石英管制成的,腔室中心处设置有放置工件的工件篮,腔室底部通过连接通道与泵组相连接;工件篮设置在石英管内,腔室圆周外侧安装有若干红外加热管;由于石英管本身的性质可以承受1000℃以上的高温,透光性好,真空放气率小,可提高石英炉自身高温的适应能力;且红外加热管外侧采用镀金反射层,把红外加热管的加热光透过石英管直接反射到工件上,对工件直接进行光加热,提高红外加热管的热效率,升温迅速;腔室底部设置有风机,风机的出风口通过风道连通腔室外壁;降温时开启,提高冷却速度。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种立式石英炉,属于石英炉加热技术领域。
背景技术
石英炉顾名思义就是把石英管作为腔室的炉子,利用红外加热管代替现有的电阻加热丝,具有对工件直接进行光加热,升温、降温迅速,减少保温层储存的热量,降低了能耗,同时也提高了生产效率。
实用新型内容
本实用新型要解决现有的石英炉为卧式加热炉,工件放置区域小,空间利用不合理;现在提供一种立式石英炉,在同样的腔室空间内,能够放置更多的工件,增加均温区,合理利用腔室空间。
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了如下的技术方案:
本实用新型一种立式石英炉,包括机架和固定在机架上的加热炉本体,加热炉本体内部设置有腔室,腔室是由石英管制成的,腔室中心处设置有放置工件的工件篮,腔室底部通过连接通道与泵组相连接;腔室圆周外侧安装有若干红外加热管;腔室底部设置有风机,风机的出风口通过风道连通腔室外壁。
作为本实用新型的一种优选技术方案,红外加热管外侧敷设一层镀金反射层,并在红外加热管外侧设置有腔室水套。
作为本实用新型的一种优选技术方案,工件篮上下两端分别安装有上屏蔽层和下屏蔽层,上屏蔽层和下屏蔽层均固定在加热炉本体内。
作为本实用新型的一种优选技术方案,泵组安装在机架的底部,且泵组通过连接通道连接到加热炉本体的底部,加热炉本体垂直固定在在机架上。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型采用立式结构,增加腔室利用空间,加大均温区放置空间;在石英管腔室外侧圆周方向均布的12根进口红外加热管,由于石英管本身的性质可以承受1000℃以上的高温,透光性好,真空放气率小,可提高石英炉自身高温的适应能力;且红外加热管外侧采用镀金反射层,把红外加热管的加热光透过石英管直接反射到工件上,对工件直接进行光加热,提高红外加热管的热效率,升温迅速;在腔室底部增加风机、风道,降温时开启,提高冷却速度。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。下面根据附图对本实用新型作进一步详细说明。
图1是本实用新型整体结构示意图;
图中:1、机架;2、工件篮;3、上屏蔽层;4、红外加热管;5、腔室水套;6、镀金反射层;7、下屏蔽层;8、风道;9、风机;10、加热炉本体;11、腔室;12、泵组。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1,本实用新型公开一种技术方案:一种立式石英炉,包括机架1和固定在机架1上的加热炉本体10,加热炉本体10内部设置有腔室11,腔室11是由石英管制成的,腔室11中心处设置有放置工件的工件篮2,腔室11底部通过连接通道与泵组12相连接;腔室11圆周外侧安装有若干红外加热管4;腔室11底部设置有风机9,风机9的出风口通过风道8连通腔室11外壁;在腔室11外侧圆周方向均布的12根进口红外加热管4,由于石英管本身的性质可以承受1000℃以上的高温,透光性好,真空放气率小,可提高石英炉自身高温的适应能力;且红外加热管4外侧采用镀金反射层6,并在红外加热管4外侧设置有腔室水套5,把红外加热管4的加热光透过石英管直接反射到工件上,对工件直接进行光加热,提高红外加热管4的热效率,升温迅速;在腔室底部增加风机9、风道8,降温时开启,提高冷却速度。
工件篮2上下两端分别安装有上屏蔽层3和下屏蔽层7,上屏蔽层3和下屏蔽层7均固定在加热炉本体10内;加热炉本体10采用立式结构,增加腔室11利用空间,加大均温区放置空间。
泵组12安装在机架1的底部,且泵组12通过连接通道连接到加热炉本体10的底部,加热炉本体10垂直固定在在机架1上。
工作原理:使用本实用新型提供的石英炉时,将需要加工的零件放置在加热炉本体1内部的工件篮2中,工件篮2通过泵组抽真空,当放置工件篮2的腔室11内部达到合适真空度时,打开红外加热管4对工件进行加热;对工件特性作业结束后,打开风机9,风机9通过风道8将风送到腔室11的外壁,对腔室外壁进行冷却,间接加快工件的冷却速度,提高冷却速度。
最后应说明的是:以上仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种立式石英炉,其特征在于,包括机架(1)和固定在机架(1)上的加热炉本体(10),加热炉本体(10)内部设置有腔室(11),腔室(11)是由石英管制成的,腔室(11)中心处设置有放置工件的工件篮(2),腔室(11)底部通过连接通道与泵组(12)相连接;腔室圆周外侧安装有若干红外加热管(4);腔室(11)底部设置有风机(9),风机(9)的出风口通过风道(8)连通腔室(11)的外壁。
2.根据权利要求1所述的一种立式石英炉,其特征在于,红外加热管(4)外侧敷设一层镀金反射层(6),并在红外加热管(4)外侧设置有腔室水套(5)。
3.根据权利要求1所述的一种立式石英炉,其特征在于,工件篮(2)上下两端分别安装有上屏蔽层(3)和下屏蔽层(7),上屏蔽层(3)和下屏蔽层(7)均固定在加热炉本体(10)内。
4.根据权利要求1所述的一种立式石英炉,其特征在于,泵组(12)安装在机架(1)的底部,且泵组(12)通过连接通道连接到加热炉本体(10)的底部,加热炉本体(10)垂直固定在在机架(1)上。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN108800937A (zh) * | 2018-08-24 | 2018-11-13 | 洛阳纳维特炉业有限公司 | 一种便于排灰和提高升温速度的箱式电窑炉 |
CN110331442A (zh) * | 2019-08-07 | 2019-10-15 | 深圳市中科墨磷科技有限公司 | 一种辅助二维黑磷晶体生长的外加温场装置及其应用 |
CN111411401A (zh) * | 2020-05-22 | 2020-07-14 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 碳化硅晶体生长装置 |
CN114543527A (zh) * | 2022-01-19 | 2022-05-27 | 无锡德润堂贸易有限责任公司 | 一种石英管式炉及去除管壁内反应物的方法 |
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- 2017-12-04 CN CN201721661346.1U patent/CN207688625U/zh active Active
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