CN207646332U - 一种大公斤蓝宝石长晶设备的炉体结构 - Google Patents

一种大公斤蓝宝石长晶设备的炉体结构 Download PDF

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张新峰
周磊峰
徐建
龙安泽
蒋信
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Abstract

本实用新型公开了一种大公斤蓝宝石长晶设备的炉体结构,炉体和底板均为双层不锈钢结构,其内部设置有用于通过冷却水的焊接水道,盖板由大炉盖和设置在大炉盖中部的小炉盖组成,小炉盖的中部设置有用于向炉体内部通入惰性气体的气体输入口,小炉盖的上表面设置有用于控制其开合升降的固定柱,小炉盖的上表面设置有影像系统安装座,小炉盖上开设有用于观察炉体内部情况的影像系统观察口。在本实用新型中,通过焊接水道能够实现对炉体温度的控制,有利于蓝宝石生长结晶,通过小炉盖上设置的固定柱,实现盖板的自动打开和闭合,便于放料和拿取产品,通过影像系统安装座和观察口便于监测炉体内部的状况,实现对产品质量的稳定控制。

Description

一种大公斤蓝宝石长晶设备的炉体结构
技术领域
本实用新型涉及人造宝石设备技术领域,具体涉及一种大公斤蓝宝石长晶设备的炉体结构。
背景技术
蓝宝石又称白宝石,是世界上硬度仅次于金刚石的晶体材料,由于具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、熔点高(2045℃)等优良的物理、机械、化学及红外透光性能,一直是微电子、航空航天、军工等领域急需的材料,凭借其极高的强度、硬度、红外透过性能和抗热冲击性能,该材料在光学窗口、半导体照明、微波器件等领域都有广泛的应用,已成为用量仅次于硅单晶的一种功能晶体材料。尤其是光学级大尺寸蓝宝石材料,由于其具有性能稳定、市场需求量大、综合利用率及产品附加值高等特点,成为近年国内外研究开发和产业化热点。蓝宝石晶体的生长方法很多,但只有泡生法才能获得缺陷和应力少的大尺寸高光学质量的蓝宝石晶体,目前70%的蓝宝石材料是由泡生法制造的。
泡生法蓝宝石晶体生长设备包括炉体、控制系统、真空系统、水冷系统及动力系统。目前的泡生法蓝宝石设备的炉体通常缺少自动监测和控制设备,通过人工控制生产的成本较高,产品质量不够稳定。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的上述问题,提供一种大公斤蓝宝石长晶设备的炉体结构。
为实现上述技术目的,达到上述技术效果,本实用新型是通过以下技术方案实现:
一种大公斤蓝宝石长晶设备的炉体结构,包括炉体,所述炉体的上端面和下端面分别设置有盖板和底板,所述炉体和底板均为双层不锈钢结构,其内部设置有用于通过冷却水的焊接水道,所述盖板由大炉盖和设置在大炉盖中部的小炉盖组成,所述大炉盖和小炉盖之间通过锁紧装置紧固密封,所述盖板的下表面设置有加热器安装座,所述大炉盖的上表面的边缘部设置有长电极和短电极,所述长电极上设置有用于接通电源的接电铜排,所述小炉盖的中部设置有用于向炉体内部通入惰性气体的气体输入口,所述炉体靠近上端的侧壁上设置有用于抽取炉体内部空气的真空系统接口,所述小炉盖的上表面设置有用于控制其开合升降的固定柱,所述小炉盖的上表面设置有影像系统安装座,所述小炉盖上开设有用于观察炉体内部情况的影像系统观察口。
进一步地,所述大炉盖和小炉盖的内部设置有用于降低盖板温度的焊接水道。
进一步地,所述锁紧装置为螺钉紧固结构。
进一步地,所述大炉盖上开设目视观察口。
进一步地,所述固定柱为能够转动上升的螺柱,所述固定柱通过驱动电机带动。
本实用新型的有益效果是:
1、通过焊接水道能够实现对炉体温度的控制,有利于蓝宝石生长结晶,通过小炉盖上设置的固定柱,实现盖板的自动打开和闭合,便于放料和拿取产品,通过影像系统安装座和观察口便于监测炉体内部的状况,实现对产品质量的稳定控制。
当然,实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上的所有优点。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型的主视内部结构示意图;
图2为本实用新型中的盖板的俯视结构示意图;
图3为本实用新型的主视外部结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3所示,本实施例为一种大公斤蓝宝石长晶设备的炉体结构,包括炉体1,炉体1的上端面和下端面分别设置有盖板2和底板3,炉体1和底板3均为双层不锈钢结构,其内部设置有用于通过冷却水的焊接水道4,盖板2由大炉盖5和设置在大炉盖5中部的小炉盖6组成,大炉盖5和小炉盖6的内部设置有用于降低盖板2温度的焊接水道4,大炉盖5和小炉盖6之间通过锁紧装置7紧固密封,锁紧装置7为螺钉紧固结构,盖板2的下表面设置有加热器安装座8。
大炉盖5的上表面的边缘部设置有长电极9和短电极10,长电极9上设置有用于接通电源的接电铜排11,小炉盖6的中部设置有用于向炉体1内部通入惰性气体的气体输入口12,炉体1靠近上端的侧壁上设置有用于抽取炉体1内部空气的真空系统接口13,小炉盖6的上表面设置有用于控制其开合升降的固定柱14,固定柱14为能够转动上升的螺柱,固定柱14通过驱动电机带动,小炉盖6的上表面设置有影像系统安装座15,小炉盖6上开设有用于观察炉体1内部情况的影像系统观察口16,大炉盖5上开设目视观察口17。
本实施例的一个具体应用为:在本实用新型中,通过焊接水道4能够实现对炉体1温度的控制,有利于蓝宝石生长结晶,通过小炉盖6上设置的固定柱14,实现盖板2的自动打开和闭合,便于放料和拿取产品,通过影像系统安装座15和观察口便于监测炉体1内部的状况,实现对产品质量的稳定控制。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节,也不限制该实用新型仅为的具体实施方式。显然,根据本说明书的内容,可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例,是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用,从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (5)

1.一种大公斤蓝宝石长晶设备的炉体结构,包括炉体(1),其特征在于:所述炉体(1)的上端面和下端面分别设置有盖板(2)和底板(3),所述炉体(1)和底板(3)均为双层不锈钢结构,其内部设置有用于通过冷却水的焊接水道(4),所述盖板(2)由大炉盖(5)和设置在大炉盖(5)中部的小炉盖(6)组成,所述大炉盖(5)和小炉盖(6)之间通过锁紧装置(7)紧固密封,所述盖板(2)的下表面设置有加热器安装座(8),所述大炉盖(5)的上表面的边缘部设置有长电极(9)和短电极(10),所述长电极(9)上设置有用于接通电源的接电铜排(11),所述小炉盖(6)的中部设置有用于向炉体(1)内部通入惰性气体的气体输入口(12),所述炉体(1)靠近上端的侧壁上设置有用于抽取炉体(1)内部空气的真空系统接口(13),所述小炉盖(6)的上表面设置有用于控制其开合升降的固定柱(14),所述小炉盖(6)的上表面设置有影像系统安装座(15),所述小炉盖(6)上开设有用于观察炉体(1)内部情况的影像系统观察口(16)。
2.根据权利要求1所述的一种大公斤蓝宝石长晶设备的炉体结构,其特征在于:所述大炉盖(5)和小炉盖(6)的内部设置有用于降低盖板(2)温度的焊接水道(4)。
3.根据权利要求1所述的一种大公斤蓝宝石长晶设备的炉体结构,其特征在于:所述锁紧装置(7)为螺钉紧固结构。
4.根据权利要求1所述的一种大公斤蓝宝石长晶设备的炉体结构,其特征在于:所述大炉盖(5)上开设目视观察口(17)。
5.根据权利要求1所述的一种大公斤蓝宝石长晶设备的炉体结构,其特征在于:所述固定柱(14)为能够转动上升的螺柱,所述固定柱(14)通过驱动电机带动。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113981538A (zh) * 2021-10-25 2022-01-28 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 一种电阻式6英寸碳化硅单晶炉的机械系统

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