CN207608621U - 一种pvd靶 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种PVD靶，包括靶腔主体、靶顶板、第一处理槽、冷却板、风机和第二处理槽，靶腔主体都是上面卡接有靶顶板，靶顶板的上面固定设置有第一处理槽，靶顶板的中间固定设置有冷却板，冷却板的中间均匀的固定设置有多个第一冷却管，靶顶板的下面固定设置有卡槽，靶顶板通过卡槽与靶腔主体的顶端之间卡接连接，靶腔主体的内侧靠近顶端的位置固定设置有靶底板，靶底板的上面开设有第二处理槽，通过在靶腔主体的顶板中间固定设置有带有第一冷却管的冷却板，且将第一冷却管与风机的鼓风腔之间固定连通，在靶腔主体的底板内侧固定设置有多个第二冷却管，从而使得靶腔主体在处理过程中冷却效率提高，便于及时散热，方便实用。

Description

一种PVD靶

技术领域

本实用新型涉及PVD靶技术领域，具体为一种PVD靶。

背景技术

PVD技术具有制备的薄膜具有高硬度、低摩擦系数、很好的耐磨性和化学稳定性等优点。最初在高速钢刀具领域的成功应用引起了世界各国制造业的高度重视，人们在开发高性能、高可靠性涂层设备的同时，也在硬质合金、陶瓷类刀具中进行了更加深入的涂层应用研究。与CVD工艺相比，PVD工艺处理温度低，在600℃以下时对刀具材料的抗弯强度无影响；薄膜内部应力状态为压应力，更适于对硬质合金精密复杂刀具的涂层；PVD工艺对环境无不利影响，符合现代绿色制造的发展方向。当前PVD涂层技术已普遍应用于硬质合金立铣刀、钻头、阶梯钻、油孔钻、铰刀、丝锥、可转位铣刀片、车刀片、异形刀具、焊接刀具等的涂层处理。

现有技术中在PVD加工中用到的PVD靶存在以下不足：

1、靶件在PVD处理过程中冷却效率较低，影响其正常使用。

2、靶腔室内侧的密封腔结构复杂，组成麻烦，影响PVD正常处理。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种PVD靶，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种PVD靶，包括靶腔主体、靶顶板、第一处理槽、冷却板、风机和第二处理槽，所述靶腔主体都是上面卡接有靶顶板，所述靶顶板的上面固定设置有第一处理槽，所述靶顶板的中间固定设置有冷却板，所述冷却板的中间均匀的固定设置有多个第一冷却管，所述靶腔主体与第一冷却管垂直的一侧固定设置有风机，所述风机的出风口固定连接有鼓风腔，所述第一冷却管的一端分别与鼓风腔的内侧之间固定连接，所述靶顶板的下面固定设置有卡槽，所述靶顶板通过卡槽与靶腔主体的顶端之间卡接连接，所述卡槽的外侧底端固定设置有第一密封垫，所述靶腔主体的内侧靠近顶端的位置固定设置有靶底板，所述靶底板的上面开设有第二处理槽，所述第二处理槽的上面固定设置有第一连接板，所述靶顶板的底面在靶腔主体的内侧固定设置有第二连接板，所述第一连接板与第二连接板和第二处理槽相互之间组成处理腔室。

优选的，所述靶腔主体的底面内侧均匀的固定设置有多个第二冷却管。

优选的，所述第二冷却管外接有冷凝水槽。

优选的，所述靶腔主体的内侧四周靠近卡槽内侧端的位置固定设置有第二密封垫，所述第二密封垫的宽度与卡槽在靶腔主体内侧端的宽度相对应。

优选的，所述处理腔室内侧为密封结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过在靶腔主体的顶板中间固定设置有带有第一冷却管的冷却板，且将第一冷却管与风机的鼓风腔之间固定连通，在靶腔主体的底板内侧固定设置有多个第二冷却管，从而使得靶腔主体在处理过程中冷却效率提高，便于及时散热，方便实用。

2、通过在靶腔主体内侧的第二处理槽上面固定设置有第一连接板，在靶顶板的底面固定设置有第二连接板，第一连接板与第二连接板相互之间组成处理腔室，从而使得处理腔室内侧的密封结构组成简单，高效实用，便于推广。

附图说明

图1为本实用新型整体结构剖视图；

图2为本实用新型整体结构俯视图。

图中：1-靶腔主体；2-靶顶板；3-第一处理槽；4-冷却板；5-第一冷却管；6-风机；7-鼓风腔；8-卡槽；9-第一密封垫；10-第二密封垫；11-靶底板；12-第一连接板；13-第二连接板；14-第二处理槽；15-第二冷却管；16- 处理腔室。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1和图2，本实用新型提供一种技术方案：一种PVD靶，包括靶腔主体1、靶顶板2、第一处理槽3、冷却板4、风机6和第二处理槽14，所述靶腔主体1都是上面卡接有靶顶板2，所述靶顶板2的上面固定设置有第一处理槽3，所述靶顶板2的中间固定设置有冷却板4，所述冷却板4的中间均匀的固定设置有多个第一冷却管5，所述靶腔主体1与第一冷却管5垂直的一侧固定设置有风机6，所述风机6的出风口固定连接有鼓风腔7，所述第一冷却管5的一端分别与鼓风腔7的内侧之间固定连接，所述靶顶板2的下面固定设置有卡槽8，所述靶顶板2通过卡槽8与靶腔主体1的顶端之间卡接连接，所述卡槽8的外侧底端固定设置有第一密封垫9，所述靶腔主体1的内侧靠近顶端的位置固定设置有靶底板11，所述靶底板11的上面开设有第二处理槽 14，所述第二处理槽14的上面固定设置有第一连接板12，所述靶顶板2的底面在靶腔主体1的内侧固定设置有第二连接板13，所述第一连接板12与第二连接板13和第二处理槽14相互之间组成处理腔室16。

为了提高散热效率，所述靶腔主体1的底面内侧均匀的固定设置有多个第二冷却管15，所述第二冷却管15外接有冷凝水槽，所述靶腔主体1的内侧四周靠近卡槽8内侧端的位置固定设置有第二密封垫10，所述第二密封垫10 的宽度与卡槽8在靶腔主体1内侧端的宽度相对应，所述处理腔室16内侧为密封结构。

工作原理：使用时，在靶顶板2上的第一处理槽和靶腔主体1内侧的靶底板11上面的第二处理槽14内侧进行PVD处理过程，反应过程中产生的热量通过风机6带动第一冷却管5内侧空气的流动进行散失，靶腔主体1底面内侧的第二冷却管15采用水冷，从而使得整个PVD过程中的热量散失较快，简单方便，便于推广使用。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种PVD靶，包括靶腔主体(1)、靶顶板(2)、第一处理槽(3)、冷却板(4)、风机(6)和第二处理槽(14)，其特征在于：所述靶腔主体(1)都是上面卡接有靶顶板(2)，所述靶顶板(2)的上面固定设置有第一处理槽(3)，所述靶顶板(2)的中间固定设置有冷却板(4)，所述冷却板(4)的中间均匀的固定设置有多个第一冷却管(5)，所述靶腔主体(1)与第一冷却管(5)垂直的一侧固定设置有风机(6)，所述风机(6)的出风口固定连接有鼓风腔(7)，所述第一冷却管(5)的一端分别与鼓风腔(7)的内侧之间固定连接，所述靶顶板(2)的下面固定设置有卡槽(8)，所述靶顶板(2)通过卡槽(8)与靶腔主体(1)的顶端之间卡接连接，所述卡槽(8)的外侧底端固定设置有第一密封垫(9)，所述靶腔主体(1)的内侧靠近顶端的位置固定设置有靶底板(11)，所述靶底板(11)的上面开设有第二处理槽(14)，所述第二处理槽(14)的上面固定设置有第一连接板(12)，所述靶顶板(2)的底面在靶腔主体(1)的内侧固定设置有第二连接板(13)，所述第一连接板(12)与第二连接板(13)和第二处理槽(14)相互之间组成处理腔室(16)。

2.根据权利要求1所述的一种PVD靶，其特征在于：所述靶腔主体(1)的底面内侧均匀的固定设置有多个第二冷却管(15)。

3.根据权利要求2所述的一种PVD靶，其特征在于：所述第二冷却管(15)外接有冷凝水槽。

4.根据权利要求1所述的一种PVD靶，其特征在于：所述靶腔主体(1)的内侧四周靠近卡槽(8)内侧端的位置固定设置有第二密封垫(10)，所述第二密封垫(10)的宽度与卡槽(8)在靶腔主体(1)内侧端的宽度相对应。

5.根据权利要求1所述的一种PVD靶，其特征在于：所述处理腔室(16)内侧为密封结构。