CN207581932U - 高度可调的喷淋系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种高度可调的喷淋系统，包括真空腔室、腔室上盖、喷淋装置和两个以上的安装柱；所述腔室上盖封堵在所述真空腔室的上部开口；每个安装柱的第一端均穿过所述腔室上盖，且与所述腔室上盖可上下移动地固定连接；每个安装柱的第二端均与所述喷淋装置固定连接；该喷淋系统还包括调整螺母，与所述安装柱的所述第一端固定连接；调节所述调整螺母使所述安装柱上升或下降，以调节所述喷淋装置的高度。本实用新型提供的高度可调的喷淋系统，通过设置调整螺母，通过调节调整螺母，使安装柱上升或下降，来调节喷淋装置的高度，解决了现有技术操作繁琐且调节范围小的问题，简化了操作，提高了效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及薄膜太阳能电池的制造设备，尤其涉及一种高度可调的喷淋系统。
背景技术
在薄膜太阳能电池组件中，薄膜层起到光电转换的作用，其性能在很大程度上决定了电池片的光电转换效率，即电池片的关键性能参数。薄膜层一般采用MOCVD(MetalOrganic Chemical Vapor Deposition)的加工方式进行材料生长，因此薄膜层的质量和均匀性是衡量MOCVD生产设备性能的关键指标之一。而MOCVD设备的喷淋系统(Showerhead)在工艺过程中会直接影响薄膜层的质量和均匀性，对工艺结果的优劣有重要的决定作用。
现有技术中的MOCVD设备的喷淋系统的高度(Gap)调节范围一般会从几毫米到25毫米左右。而且在太阳能光伏领域，MOCVD设备的喷淋系统体积大，而且产能越高的设备，喷淋系统的体积也相应变大，造成设备喷淋系统的重量高达800kg左右。因此，MOCVD设备的喷淋系统的高度很难实现在线调节。
如图1所示，现有技术涉及的高度调节通过以下方式实现：真空腔室1' 和腔室上盖2'构成一个空间，真空腔室1'和腔室上盖2'都由耐腐蚀的不锈钢材料构成。喷淋装置3'通过四个安装柱4'吊装在腔室上盖2'的内侧。安装柱4'通过螺钉固定在腔室上盖2'的内侧。通过安装柱4'的长度来保证喷淋装置3'到基板5'的高度。
在需要调节喷淋装置3'的高度时，将真空腔室1'充大气并进行吹扫，并按照正规的打开腔室的流程完成打开腔室的所有准备工作。然后需要将腔室上盖2'和喷淋装置3'使用天车吊离真空腔室1'，并放置在专门的安装工作台上。
按照装配流程完成不同尺寸的安装柱4'的更换，然后将腔室上盖2'和喷淋装置3'安装到真空腔室1'上，最后恢复腔室，完成喷淋装置3'的高度调节。
从上述操作可以看出，目前调节喷淋装置3'的高度的方案需要更换安装柱4'，造成耗时长、操作复杂繁琐、工作量大的问题，而且受安装柱4' 的限制，调节的高度范围小。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种高度可调的喷淋系统，以解决现有技术中的问题，以简化操作，提高效率。
本实用新型提供了一种高度可调的喷淋系统，包括真空腔室、腔室上盖、喷淋装置和两个以上的安装柱；所述腔室上盖封堵在所述真空腔室的上部开口；其中：
每个安装柱的第一端均穿过所述腔室上盖，且与所述腔室上盖可上下移动地固定连接；每个安装柱的第二端均与所述喷淋装置固定连接；
该喷淋系统还包括调整螺母，与所述安装柱的所述第一端固定连接；调节所述调整螺母使所述安装柱上升或下降，以调节所述喷淋装置的高度。
如上所述的高度可调的喷淋系统，其中，优选的是，所述安装柱的所述第二端通过螺母与所述喷淋装置固定连接。
如上所述的高度可调的喷淋系统，其中，优选的是，所述调整螺母与所述喷淋装置之间设置有第一平垫圈。
如上所述的高度可调的喷淋系统，其中，优选的是，还包括密封护罩，罩设在所述安装柱的第一端从所述腔室上盖穿出的位置。
如上所述的高度可调的喷淋系统，其中，优选的是，所述密封护罩通过法兰金属密封的方式安装到所述腔室上盖的法兰上。
如上所述的高度可调的喷淋系统，其中，优选的是，所述真空腔室和所述腔室上盖的材质均为不锈钢。
如上所述的高度可调的喷淋系统，其中，优选的是，所述安装柱的数量是四个。
如上所述的高度可调的喷淋系统，其中，优选的是，还包括检测装置，用于测量所述安装柱顶部与所述腔室上盖的距离，来检测所述喷淋装置和基板之间的实际高度。
如上所述的高度可调的喷淋系统，其中，优选的是，所述安装柱上在与所述喷淋装置接触的部位设置有压接部，所述压接部的横截面积大于所述安装柱的主体部分的横截面积。
如上所述的高度可调的喷淋系统，其中，优选的是，所述压接部与所述喷淋装置接触的平面为矩形平面。
本实用新型提供的高度可调的喷淋系统，通过设置调整螺母，通过调节调整螺母，使安装柱上升或下降，来调节喷淋装置的高度，解决了现有技术操作繁琐且调节范围小的问题，简化了操作，提高了效率。
附图说明
图1为现有技术中的喷淋系统安装在MOCVD设备上的示意图；
图2为本实用新型实施例提供的高度可调的喷淋系统的结构示意图；
图3为安装柱与喷淋装置配合后的俯视图。
附图标记说明：
1'-真空腔室2'-腔室上盖3'-喷淋装置4'-安装柱5'-基板
1-真空腔室2-腔室上盖3-喷淋装置4-安装柱41-压接部5-基板6-螺母7-第二平垫圈8-第一平垫圈9-调整螺母10-密封护罩
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。
如图2所示，本实用新型实施例提供了一种高度可调的喷淋系统，包括真空腔室1、腔室上盖2、喷淋装置3和两个以上的安装柱4，腔室上盖 2封堵在真空腔室1的上部开口。基板5设置在真空腔室1内。
其中，每个安装柱4的第一端均穿过腔室上盖2，且与腔室上盖2可上下移动地固定连接；每个安装柱4的第二端均与喷淋装置3固定连接，例如可通过螺母6固定连接。该喷淋系统还包括调整螺母9，设置在腔室上盖2的上方，且与安装柱4的第一端固定连接；调节调整螺母9使安装柱4上升或下降，以调节喷淋装置3的高度，实现对基板5不同高度的喷淋。
本实用新型实施例提供的高度可调的喷淋系统，通过设置调整螺母，通过调节调整螺母，使安装柱上升或下降，来调节喷淋装置的高度，解决了现有技术操作繁琐且调节范围小的问题，简化了操作，提高了效率。
优选地，真空腔室1和腔室上盖2的材质均为不锈钢。为保证对喷淋装置3的固定的稳定性，可设置安装柱4的数量是四个。安装柱4穿过腔室上盖2后，可通过调整螺母9固定。进一步地，为防止长时间使用后调整螺母9松动，还可以在调整螺母9与腔室上盖2之间设置紧固螺母，以更好地起到紧固作用。为起到缓冲作用，可在螺母6与喷淋装置3之间设置第二平垫圈7，而在调整螺母9与腔室上盖2之间设置有第一平垫圈8。
进一步地，在螺母6和第二平垫圈7之间设置有止动垫圈(未示出)，从而避免螺母6窜动。
在上述实施例的基础上，本实用新型实施例提供的高度可调的喷淋系统还包括密封护罩10，罩设在安装柱4的第一端从腔室上盖2穿出的位置。密封护罩10通过CF法兰金属密封的方式安装到腔室上盖2的CF法兰上，保证了真空腔室1的真空密封。其中，腔室上盖2上可以是CF法兰或者其他真空法兰。设置安装柱4的中心为通孔，保证密封护罩10内可以抽真空。
在需要调节喷淋系统的高度时，将真空腔室1充大气并进行吹扫，拆除密封护罩10，调节调整螺母9，使安装柱4实现上升和下降，来调节喷淋装置3和基板5之间的高度，该喷淋系统优选地还包括检测装置，用于测量安装柱4顶部和腔室上盖2的距离，来检测喷淋装置3和基板5之间的实际高度，并通过分别调节四个安装柱4保证喷淋装置3的水平。该检测装置例如可以是塞尺，也可以是其他测量工具。完成喷淋系统的高度调节后，安装密封护罩10，恢复腔室真空。
优选地，安装柱4上在与喷淋装置3接触的部位设置有压接部41，该压接部41与喷淋装置3接触的平面优选为矩形平面，参照图3，压接部41的横截面积大于安装柱4的主体部分的横截面积。安装柱4与喷淋装置3接触部分的截面为矩形，安装后安装柱4与喷淋装置3在竖直方向为面面接触，保证了在调节调整螺母9的过程中安装柱4不会发生旋转。
以上依据图式所示的实施例详细说明了本实用新型的构造、特征及作用效果，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，但本实用新型不以图面所示限定实施范围，凡是依照本实用新型的构想所作的改变，或修改为等同变化的等效实施例，仍未超出说明书与图示所涵盖的精神时，均应在本实用新型的保护范围内。
Claims (10)
1.一种高度可调的喷淋系统，包括真空腔室、腔室上盖、喷淋装置和两个以上的安装柱；所述腔室上盖封堵在所述真空腔室的上部开口；其特征在于：
每个安装柱的第一端均穿过所述腔室上盖，且与所述腔室上盖可上下移动地固定连接；每个安装柱的第二端均与所述喷淋装置固定连接；
该喷淋系统还包括调整螺母，与所述安装柱的所述第一端固定连接；调节所述调整螺母使所述安装柱上升或下降，以调节所述喷淋装置的高度。
2.根据权利要求1所述的高度可调的喷淋系统，其特征在于，所述安装柱的所述第二端通过螺母与所述喷淋装置固定连接。
3.根据权利要求1或2所述的高度可调的喷淋系统，其特征在于，所述调整螺母与所述喷淋装置之间设置有第一平垫圈。
4.根据权利要求1所述的高度可调的喷淋系统，其特征在于，还包括密封护罩，罩设在所述安装柱的第一端从所述腔室上盖穿出的位置。
5.根据权利要求4所述的高度可调的喷淋系统，其特征在于，所述密封护罩通过法兰金属密封的方式安装到所述腔室上盖的法兰上。
6.根据权利要求1所述的高度可调的喷淋系统，其特征在于，所述真空腔室和所述腔室上盖的材质均为不锈钢。
7.根据权利要求1所述的高度可调的喷淋系统，其特征在于，所述安装柱的数量是四个。
8.根据权利要求2所述的高度可调的喷淋系统，其特征在于，还包括检测装置，用于测量所述安装柱顶部与所述腔室上盖的距离，来检测所述喷淋装置和基板之间的实际高度。
9.根据权利要求1所述的高度可调的喷淋系统，其特征在于，所述安装柱上在与所述喷淋装置接触的部位设置有压接部，所述压接部的横截面积大于所述安装柱的主体部分的横截面积。
10.根据权利要求9所述的高度可调的喷淋系统，其特征在于，所述压接部与所述喷淋装置接触的平面为矩形平面。
Priority Applications (1)
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| CN201721359273.0U CN207581932U (zh) | 2017-10-20 | 2017-10-20 | 高度可调的喷淋系统 |
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| CN201721359273.0U Active CN207581932U (zh) | 2017-10-20 | 2017-10-20 | 高度可调的喷淋系统 |
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| CN (1) | CN207581932U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113035680A (zh) * | 2019-12-24 | 2021-06-25 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 用于真空设备的调平机构和等离子体处理装置 |
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2017
- 2017-10-20 CN CN201721359273.0U patent/CN207581932U/zh active Active
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| CN113035680A (zh) * | 2019-12-24 | 2021-06-25 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 用于真空设备的调平机构和等离子体处理装置 |
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