CN207507231U - 处理气体中污染物的设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种处理气体中污染物的设备，通过将风道外壳分隔成电化学处理区域与等离子体处理区域，待处理的气体依次流经所述电化学处理区域与所述等离子体处理区域后由出风口流出，先对待处理的气体进行电化学前置净化处理再进行等离子体处理以降解气体中的污染物。通过使待处理的气体经过含有强氧化性物质或强氧化性中间物的电化学电极系统，提高了有机物气体分子携带微液滴的能力和反应活性，有效地促进了后续等离子体处理的气体处理过程，使得后置的等离子体处理，不仅在前置电化学处理的辅助下进一步提高挥发性有机物气体的去除效率，同时能去除在电化学前置净化处理中有机气体反应生成的新成分。

Description

处理气体中污染物的设备

技术领域

本实用新型涉及环保技术领域，尤其涉及一种处理气体中污染物的设备。

背景技术

挥发性有机物(VOCS，volatile organic compounds)是指常温下饱和蒸汽压大于133.32Pa、常压下沸点在50～260℃的有机化合物，例如甲苯、环己烷、甲醛等等，或在常温常压下任何能挥发的有机固体或液体。随着工业的发展，VOCS的排放量显著增加，而VOCS对人类的健康和生存环境存在巨大的危害；因而如何对气体进行净化，有效去除气体中的VOCS已成为环保领域关注的一个焦点。

现有的处理气体中VOCS的方法主要有等离子体气体处理方式，其直接引入待处理的废气，通过在外加电场驱动的正负离子运动对挥发性有机物气体分子进行轰击，进而破坏其分子结构将其转化为CO₂、H₂O、CO等，从而降低或去除挥发性有机物废气以达到净化空气的目的。或者前置有较强吸附性能的过滤层(如活性炭、布袋等)再进行等离子体处理，过滤层的主要作用为减少废气中尺寸较大的颗粒物、稳定气流场，同时初步地降低废气中的气体分子。

然而，无论采用何种等离子体生成方式，正负离子与气体分子的反应效率均十分有限，尤其是在气道中有一定流速的动态条件下，因此等离子体空气净化一直限于处理污染物浓度本身较低(约100ppm)的应用场合。

因此，有必要对气体中污染物的处理方式进行改进。

实用新型内容

本实用新型提出了一种处理气体中污染物的设备，以更有效地对气体中的污染物进行处理。

为了解决上述问题，本实用新型提供一种处理气体中污染物的设备，包括风道外壳，所述风道外壳被分隔成电化学处理区域与等离子体处理区域，待处理的气体从风道外壳的入风口进入，并依次流经所述电化学处理区域与所述等离子体处理区域后由风道外壳的出风口流出；其中：

所述电化学处理区域用于对待处理的气体进行电化学前置净化处理；

所述等离子体处理区域用于对电化学前置净化处理后的气体进行等离子体处理以降解气体中的污染物。

所述电化学前置净化处理至少用以：使部分有机气体分子亲水，形成气体-微液滴混合体。

所述等离子体处理至少用以：使气体-微液滴混合体被离化而降解。

所述电化学前置净化处理还至少用以：去除部分可溶性的污染物；和/或使部分有机气体分子分解，形成亚稳态分子；和/或使部分有机气体分子活化，形成活化分子。

所述等离子体处理还至少用以：使活化分子和/或亚稳态分子在电场和等离子体作用下发生离化分解。

在本实用新型的一个实施例中，所述电化学处理区域内设置有一组以上电化学电极对，每组电化学电极对均包括阴极和阳极。

在本实用新型的一个实施例中，所有的阳极经第一导电部件并联后通过第一电路接口与电源的正极电性连接，所有的阴极经第二导电部件并联后通过第二电路接口与电源的负极电性连接。

在本实用新型的一个实施例中，所述阴极与阳极的材料基底为钛，基底表面设置有钌、铱、铁、铑、钯、铂、铅、钽及其合金或氧化物中的一种或者几种。

优选地，还包括水洗装置，所述水洗装置设置在所述风道外壳内，将所述风道外壳分隔成电化学处理区域与等离子体处理区域；所述水洗装置用于向所述电化学处理区域喷射液体，在所述电化学处理区域的阴极和阳极之间形成动态水膜，作为所述化学前置净化处理的溶液。

在本实用新型的一个实施例中，所述水洗装置包括：供水管道，所述供水管道朝向所述电化学处理区域的一侧设置有若干喷嘴，液体经所述若干喷嘴喷出，在所述电化学处理区域的阴极和阳极之间形成动态水膜。

优选地，所述水洗装置还包括倾斜设置的挡水板，所述挡水板设置在靠近所述等离子体处理区域的一侧。

在本实用新型的一个实施例中，所述等离子体处理区域设置有一组以上的发生电极，每组发生电极均包括阴极和阳极。

在本实用新型的一个实施例中，所有的阳极经第三导电部件并联后通过第三电路接口与电源的正极电性连接，所有的阴极经第四导电部件并联后通过第四电路接口与电源的负极电性连接。

在本实用新型的一个实施例中，所述等离子体处理采用的发生电极的形状为平板、圆筒或圆柱状。

在本实用新型的一个实施例中，所述发生电极的表面为绝缘材料或纳米导电材料。

本实用新型由于采用以上技术方案，使之与现有技术相比，存在以下的优点和积极效果：

1)本实用新型提供的处理气体中污染物的设备,通过将风道外壳分隔成电化学处理区域与等离子体处理区域，待处理的气体从风道外壳的入风口进入，并依次流经所述电化学处理区域与所述等离子体处理区域后由风道外壳的出风口流出，该设备先对待处理的气体进行电化学前置净化处理,再对电化学前置净化处理后的气体进行等离子体处理以降解气体中的污染物,从而解决了传统的处理气体中污染物的方法仅在等离子体处理前对气体进行前置过滤因而无法有效促进挥发性有机物气体离化的缺点，本实用新型通过使待处理的气体经过含有强氧化性物质或强氧化性中间物的电化学电极系统，提高了有机物气体分子携带微液滴的能力和反应活性，有效地促进了后续等离子体处理的气体处理过程，使得后置的等离子体处理，不仅在前置电化学处理的辅助下进一步提高挥发性有机物气体的去除效率，同时能去除在电化学前置净化处理中有机气体反应生成的新成分。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的处理气体中污染物的设备的立体结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的处理气体中污染物的设备的俯视示意图；

图3是本实用新型一实施例中待处理的甲苯气体气相色谱图；

图4是本实用新型一实施例中仅通过电化学净化处理后的甲苯气体气相色谱图；

图5是本实用新型一实施例中仅通过等离子体净化处理后的甲苯气体气相色谱图；

图6是本实用新型一实施例中通过电化学前置净化处理和等离子体净化处理结合净化后的甲苯气体气相色谱图；

图7是本实用新型另一实施例中待处理的正己烷气体气相色谱图；

图8是本实用新型另一实施例中仅通过电化学净化处理后的正己烷气体气相色谱图；

图9是本实用新型另一实施例中仅通过等离子体净化处理后的正己烷气体气相色谱图；

图10是本实用新型另一实施例中通过电化学净化处理和等离子体净化处理结合后的正己烷气体气相色谱图。

图中：1-风道外壳，2-风道顶盖，3-电化学电极，4-第一导电部件，5-第一电路接口，6-第二导电部件，7-第二电路接口，8-排水口，9水路接口，10-供水管道，11-喷嘴，12-挡水板，13-发生电极，14-第三导电部件，15-第三电路接口，16-第四导电部件，17-第四电路接口

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的处理气体中污染物的设备作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

在提出本实用新型之前，本申请的发明人对目前可能的处理气体中污染物的方法进行了充分的研究，具体研究如下：

1)传统的等离子体气体处理方式直接引入待处理的气体或者仅前置有较强吸附性能的过滤层，过滤层的主要作用为减少气体中尺寸较大的颗粒物、稳定气流场，同时初步地降低废气中的气体分子；过滤层与待处理的气体相互作用为吸附效应，与流经过滤层后移动至后续的等离子体气体处理系统的气体分子未发生反应，即流经过滤层的气体分子本身没有发生变化，所以前置过滤层对于等离子体气体处理过程没有辅助作用。而无论采用何种等离子体生成方式，正负离子与气体分子的反应效率均十分有限，尤其是在气道中有一定流速的动态条件下，因此等离子体空气净化一直限于处理污染物浓度本身较低的应用场合。

2)申请人在研究等离子体气体处理的机理的基础上进行大量的实验，发现若气体分子携带水分子将促进该气体分子在电场中的离化而提高等离子体的产生效率，因此申请人也尝试在对气体进行等离子体处理之前先对气体进行水洗，即在等离子体气体处理装置前置水洗装置，然而因为大量的挥发性有机物气体分子在水中的溶解率很低，比如甲苯在水中的溶解度仅为0.053g/100mL(温度为25℃时)，所以直接让待处理的挥发性有机物气体分子流经水溶液难以实现水分子的携带，同时也很难实现很多类有机气体的直接吸收。

为了使气体分子携带水分子，申请人尝试采用雾化水汽直接在等离子体处理设备中导入微液滴，然而发现存在微液滴凝聚引起等离子体发生电极的微弧放电的可能性，可能发生爆炸；反而降低了气体处理效率，同时加剧了等离子体气体处理设备的危险性。采用雾化水汽直接导入微液滴的做法仅适用于以电信号分析为主的纳安级微小电流传感器场合。

基于上述研究，本申请的发明人创造性地设计了一种处理气体中污染物的设备，该设备对空气的净化方法是一种结合液态电化学、气体电子学和等离子体技术的气体净化方法，涵盖物质的液、气、等离子体三种状态，是一种高效率、低成本、处理气体种类范围广的气体净化方法。

请参考图1及图2，如图1及图2所示，本实用新型实施例提供的处理气体中污染物的设备包括风道外壳1，该风道外壳1被分隔成电化学处理区域与等离子体处理区域，待处理的气体从风道外壳的入风口进入，并依次流经所述电化学处理区域与所述等离子体处理区域后由风道外壳的出风口流出；其中：

所述电化学处理区域用于对待处理的气体进行电化学前置净化处理；

所述等离子体处理区域用于对电化学前置净化处理后的气体进行等离子体处理以降解气体中的污染物。

其中，电化学前置净化处理至少用以：使部分有机气体分子亲水，形成气体-微液滴混合体；等离子体处理至少用以：使气体-微液滴混合体被离化而降解。

本实用新型的处理气体中污染物的设备通过电化学前置净化处理中产生的活性基团，使气体分子携带更多液滴，形成气体-微液滴混合体，从而大幅提升后续等离子体处理的局部微电场以促进气体分子的电离，进而提高整体的挥发性有机物去除效率，实现更宽范围场景下净化空气的目的。

由于大量的挥发性有机物气体分子在水中的溶解率很低，因而本领域的技术人员极难想到通过使有机气体分子亲水，形成气体-微液滴混合体的方式来提高等离子体的处理效率，本实用新型可谓反其道而行之，从思路上克服了本领域的技术偏见。另外巧妙地利用了电化学的方式，通过电化学处理中产生的活性基团，使气体分子携带更多液滴，形成气体-微液滴混合体，又进一步解决了直接引入雾化水汽而导致的降低了气体处理效率，同时加剧了等离子体气体处理设备的危险性容的问题，达到了意想不到的技术效果。

当然，所述电化学前置净化处理还至少用以：去除部分可溶性的污染物；和/或使部分有机气体分子分解，形成亚稳态分子；和/或使部分有机气体分子活化，形成活化分子。所述等离子体处理还至少用以：使活化分子和/或亚稳态分子在电场和等离子体作用下发生离化分解。另外，在电化学前置净化处理的过程中，可能存在部分有机气体分子加成，形成大分子的现象，针对此可能情况，所述等离子体处理还可以用以使加成形成的大分子与等离子体相互作用发生分解。从而更进一步地提高等离子体处理的效率，更有效地去除气体中的有机污染物。

其中，电化学处理例如可采用污水处理用电极系统进行，污水处理用电极系统的原理是：利用电极间电解技术，具体地，利用电化学溶液在电化学电极间发生电化学电解反应而产生的强氧化物质作为反应剂或催化剂(其中，电化学反应产生的强氧化性物质包括氯酸盐、次氯酸盐、H₂O₂和O₃，强氧化性的中间体包括电子、HO^-、HO₂、O^2-等自由基),废水中的有害物质分子，在强氧化性物质或强氧化性中间体的作用下，将发生氧化还原反应改变有机物分子式，使传质驱动力增大，有机物分子与水亲和力提高；发生氧化分解直接转化为水、CO₂、无机盐；发生加成反应使有机物分子间形成大分子；发生电子转移反应，形成活化分子或亚稳态分子。通过经过含有强氧化性物质或强氧化性中间物的污水处理用电极系统，提高了有机物气体分子携带微液滴的能力和反应活性，有效地促进了后续等离子体气体处理器中的气体处理过程。后置的等离子体气体处理设备，不仅在前置污水处理用电极系统的辅助下进一步提高挥发性有机物气体的去除效率，同时能去除污水处理用电极系统中有机气体反应生成的新成分，这些新成分例如可以为：羟基自由基可与苯环结构分子加成，也可与胸腺嘧啶发生加成反应，在反应物分子结构上增加一个羟基和另一个基团。

具体地，电化学处理区域内设置有一组以上电化学电极对，每组电化学电极对均包括阴极和阳极。所述阴极与阳极的材料基底为钛，基底表面设置有钌、铱、铁、铑、钯、铂、铅、钽及其合金或氧化物中的一种或者几种；例如，电化学处理区域设置在入风口附近，其内设置有多组平板状表面修饰铱钽合金的钛电极电化学电极3，所有的阳极经第一导电部件4并联后通过第一电路接口5与电源的正极电性连接，所有的阴极经第二导电部件6并联后通过第二电路接口7与电源的负极电性连接。当然，本实用新型的电化学电极的材料并不以此为限，只要电极材料满足以下条件即可：氧化还原电势与析氧反应电势接近，如酸性环境中氧析出标准电极电势为1.23V_RHE，所用电极材料需高于此电势才能稳定存在。

等离子体处理区域设置有一组以上的发生电极，每组发生电极均包括阴极和阳极；所述发生电极的形状为平板、圆筒或圆柱状。发生电极的表面为绝缘材料或纳米导电材料，比如碳纳米管和氧化锌纳米线对。具体地例如可以为，等离子体处理区域设置在出风口附近，其内设置有多组平板状等离子体发生电极13，其表面由氧化锌纳米线修饰，所有的阳极经第三导电部件14并联后通过第三电路接口15与电源的正极电性连接，所有的阴极经第四导电部件16并联后通过第四电路接口17与电源的负极电性连接。

作为优选实施方式，平板状电化学电极3以及等离子体处理区域的发生电极的高度与风道外壳1的高度相等，均沿风道外壳1的宽度方向按照阴极、阳极交替设置在风道外壳1内的相应位置处，从而使得进入风道外壳1内的气体均能经过电化学前置净化处理以及等离子体处理。

在优选实施例中，该设备还包括水洗装置，水洗装置设置在风道外壳1内，将风道外壳1分隔成电化学处理区域与等离子体处理区域；水洗装置用于向电化学处理区域喷射液体，在电化学处理区域的阴极和阳极之间形成动态水膜，作为化学前置净化处理的溶液；该动态水膜一方面作为电化学前置净化处理的溶液，另一方面可降低气体的流速，使得气体可在电化学前置净化处理地过程中相对更充分地反应；另外，该动态水膜作为溶液还可去除气体中的部分可溶性的污染物。作为优选实施方式，所述动态水膜的原料为自来水或双氧水溶液,自来水或双氧水在电化学电极间进行电化学反应后生成强氧化性物质。

具体地，在本实用新型的一个实施例中，水洗装置包括：供水管道10，且供水管道10朝向电化学处理区域的一侧设置有若干喷嘴11，形成喷嘴阵列。在水洗装置的上方设有水路接口9，连接至水洗装置的供水管道10，电化学处理器的电极底部的风道外壳侧面设有排水口8，用于回收电化学反应后的溶液；液体经水路接口9进入供水管道10内，由若干喷嘴11喷出，在电化学处理区域的阴极和阳极之间形成动态水膜。其中，供水管道10包括若干水管，若干水管沿风道外壳1的高度方向排布，每个水管上均设置有若干喷嘴11；或者供水管道10包括一整根水管，该水管沿风道外壳1的高度方向蛇形排布，每一段上均设置有若干喷嘴11；从而使得平板状电化学电极3阴极与阳极间在高度方向均能形成均匀的动态水膜。

其中，风道外壳1包括一风道顶盖2，风道顶盖2设有若干连接孔，用于水路、电路接口与风道外部供水、供电系统的连接。

作为优选实施例，水洗装置还包括倾斜设置的挡水板12，挡水板12设置在靠近等离子体处理区域的一侧，例如向等离子体处理区域一侧朝下倾斜45度，当然，该倾斜角度并不是唯一的，可根据情况合理调整。通过设置挡水板12，可对气体携带的水进行稍微收集，以免气体湿度太高，防止等离子体部分形成过多过大的液滴，以保证等离子体处理的效率及设备的安全。

本实用新型实施例提供的处理气体中污染物的设备的使用方法为：外加电源通过电路接口将电压接入电化学处理区域的阴极和阳极形成电场，气体进入电化学处理区域中，由水洗装置喷出自来水或双氧水溶液在电化学处理区域的电极间形成动态水膜并降低了气体的流速，从而气体与在电化学处理区域的电极间产生的强氧化性物质或强氧化性中间体相互作用而降解、活化或亲水。经前置处理后的气体通过水洗装置的挡水板后，在等离子体处理区域中被等离子体发生电极间的强电场直接电离降解，或与生成的等离子体发生相互作用而分解净化。处理后的气体由等离子体处理器的出风口排出。

使用本设备前，应根据应用环境选择电极数量、结构和尺寸，开启水洗装置，在电化学处理区域和等离子体处理区域的电极上上分别加载电压之后，引入待处理的气体。

本实用新型实施例提供的处理气体中污染物的设备对气体中污染物的净化过程如下：

(1)在本装置的电化学处理区域中，首先部分可溶的气体分子或颗粒物将在溶液中被溶解滤除；

(2)电化学电极上加载的电压能使自来水或双氧水动态水膜产生强氧化性物质或强氧化性中间体，与气体中的污染物能发生的反应包括增大污染物分子与水的亲和力、发生氧化分解净化、电子转移反应形成活化分子与亚稳态分子，以及加成形成大分子；

(3)初步净化后的气体进入等离子体区域中处理，结合了微液滴的污染物分子在电场中发生降解，活化分子和亚稳态分子在电场和等离子体作用下发生离化分解，同时前置电化学反应中加成形成的大分子也能与等离子体相互作用发生分解。

为了对本实用新型的效果进行进一步陈述，本实用新型以甲苯与正己烷为例进行比对说明如下：

1.对甲苯的处理

使用本实用新型提供的上述设备，采用自来水为溶液，在入风口处通入约2000ppm的甲苯气体，分别采用电化学气体处理、水洗后的等离子体气体处理、电化学处理和等离子体处理相结合的气体净化方式对甲苯气体进行处理，其中气体流速约5L/min，电化学气体处理的极板间电压在30V到40V之间，电流在0.2A到0.5A之间，等离子体处理的电极间电压为20kV到30kV之间，电流在2uA到5uA之间。通过气相色谱分析技术分别测量了各条件下出风口处的气体图谱，分别对应图3至图6，图谱中横坐标为时间，纵坐标为气相色谱分析仪所得到的气体特征响应读数信号。谱线中峰的位置代表气体种类信息，峰的面积代表气体的浓度。根据图3至图6的测量结果可知，将电化学气体处理和等离子体气体处理相结合后，不仅大幅提升了等离子体气体处理的效率，更有效地避免了在电化学处理中所形成的新的气体组分污染。

2.对正己烷的处理

使用本实用新型提供的上述设备，采用自来水为溶液，在入风口处通入约2000ppm的正己烷气体，分别采用电化学气体处理、水洗后的等离子体气体处理、电化学处理和等离子体处理结合的气体净化方式对正己烷气体进行处理，其中气体流速约5L/min，电化学气体处理的极板间电压在30V到40V之间，电流在0.2A到0.5A之间，等离子体处理的电极间电压为20kV到25kV之间，电流在2uA到5uA之间。通过气相色谱分析技术分别测量了各条件下出风口处的气体图谱，分别对应图7至图10，图谱中横坐标为时间，纵坐标为气相色谱分析仪所得到的气体特征响应读数信号。谱线中峰的位置代表气体种类信息，峰的面积代表气体的浓度。根据测量结果可知，将电化学气体处理和等离子体气体处理相结合后，大幅提升了等离子体气体处理的效率。

上述处理中，电化学气体处理指的是仅将电压接入电化学处理区域的阴极和阳极形成电场，启动水洗装置，但不启动等离子体处理；水洗后的等离子体气体处理指的是不启动电化学处理，仅启动水洗装置和等离子体处理；电化学处理和等离子体处理相结合指的是启动电化学处理、水洗装置和等离子体处理。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (15)

1.一种处理气体中污染物的设备，其特征在于，包括风道外壳，所述风道外壳被分隔成电化学处理区域与等离子体处理区域，待处理的气体从风道外壳的入风口进入，并依次流经所述电化学处理区域与所述等离子体处理区域后由风道外壳的出风口流出；其中：

所述电化学处理区域用于对待处理的气体进行电化学前置净化处理；

所述等离子体处理区域用于对电化学前置净化处理后的气体进行等离子体处理以降解气体中的污染物。

2.如权利要求1所述的处理气体中污染物的设备，其特征在于，所述电化学前置净化处理至少用以：使部分有机气体分子亲水，形成气体-微液滴混合体。

3.如权利要求2所述的处理气体中污染物的设备，其特征在于，所述等离子体处理至少用以：使气体-微液滴混合体被离化而降解。

4.如权利要求3所述的处理气体中污染物的设备，其特征在于，所述电化学前置净化处理还至少用以：去除部分可溶性的污染物；和/或使部分有机气体分子分解，形成亚稳态分子；和/或使部分有机气体分子活化，形成活化分子。

5.如权利要求4所述的处理气体中污染物的设备，其特征在于，所述等离子体处理还至少用以：使活化分子和/或亚稳态分子在电场和等离子体作用下发生离化分解。

6.如权利要求1至5任一项所述的处理气体中污染物的设备，其特征在于，所述电化学处理区域内设置有一组以上电化学电极对，每组电化学电极对均包括阴极和阳极。

7.如权利要求6所述的处理气体中污染物的设备，其特征在于，所有的阳极经第一导电部件并联后通过第一电路接口与电源的正极电性连接，所有的阴极经第二导电部件并联后通过第二电路接口与电源的负极电性连接。

8.如权利要求6所述的处理气体中污染物的设备，其特征在于，所述阴极与阳极的材料基底为钛，基底表面设置有钌、铱、铁、铑、钯、铂、铅、钽及其合金或氧化物中的一种或者几种。

9.如权利要求6所述的处理气体中污染物的设备，其特征在于，还包括水洗装置，所述水洗装置设置在所述风道外壳内，将所述风道外壳分隔成电化学处理区域与等离子体处理区域；所述水洗装置用于向所述电化学处理区域喷射液体，在所述电化学处理区域的阴极和阳极之间形成动态水膜，作为所述化学前置净化处理的溶液。

10.如权利要求9所述的处理气体中污染物的设备，其特征在于，所述水洗装置包括：供水管道，所述供水管道朝向所述电化学处理区域的一侧设置有若干喷嘴，液体经所述若干喷嘴喷出，在所述电化学处理区域的阴极和阳极之间形成动态水膜。

11.如权利要求10所述的处理气体中污染物的设备，其特征在于，所述水洗装置还包括倾斜设置的挡水板，所述挡水板设置在靠近所述等离子体处理区域的一侧。

12.如权利要求1至5任一项所述的处理气体中污染物的设备，其特征在于，所述等离子体处理区域设置有一组以上的发生电极，每组发生电极均包括阴极和阳极。

13.如权利要求12所述的处理气体中污染物的设备，其特征在于，所有的阳极经第三导电部件并联后通过第三电路接口与电源的正极电性连接，所有的阴极经第四导电部件并联后通过第四电路接口与电源的负极电性连接。

14.如权利要求12所述的处理气体中污染物的设备，其特征在于，所述等离子体处理采用的发生电极的形状为平板、圆筒或圆柱状。

15.如权利要求14所述的处理气体中污染物的设备，其特征在于，所述发生电极的表面为绝缘材料或纳米导电材料。