CN207493471U - 一种半导体生产线的废气处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体生产线的废气处理装置，包括底座，所述底座的顶部固定连接有支撑腿，并且支撑腿的顶端固定连接有机壳，所述机壳内壁的底部设置有积液槽，所述机壳内壁的两侧均固定连接有固定板，并且固定板的表面开设有通孔，所述机壳的内部固定连接有冷凝管，所述冷凝管的两端均贯穿机壳且延伸至机壳的外部，所述机壳的一侧连通有固定管，本实用新型涉及废气处理技术领域。该半导体生产线的废气处理装置，所述底座的顶部固定连接有电机，改变了废气的处理的过程中由于废气的处理不彻底，导致有残留废气排放到大气中的问题，防止了废气经光化作用所造成二次污染，大大提高了废气处理的效率，保证了企业效益。

Description

一种半导体生产线的废气处理装置

技术领域

本实用新型涉及废气处理技术领域，具体为一种半导体生产线的废气处理装置。

背景技术

目前，国内半导体晶圆制造厂及面板厂制造过程中需要使用大量有机溶液产生大量有机废气，其中，光刻胶剥离工序是产生有机废气的主要工序之一，目前所用的光刻胶剥离液主要成分为高沸点而且几乎全溶于水的有机溶液，如乙醇胺，二甲基亚砜，乙二醇单丁醚等，有机废气对人体直接影响很大，由于有机废气具有渗透、脂及挥发等作用，人体与有机废气接触或经呼吸消化系统造成危害，某些不但容易造成作业环境空气品质恶化。

废气的处理的过程中由于废气的处理不彻底，导致有残留的废气排放到大气中，废气经光化作用所造成二次污染，大大降低了废气处理的效率，影响了企业效益。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体生产线的废气处理装置，解决了废气的处理的过程中由于废气的处理不彻底，导致有残留废气排放到大气中的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种半导体生产线的废气处理装置，包括底座，所述底座的顶部固定连接有支撑腿，并且支撑腿的顶端固定连接有机壳，所述机壳内壁的底部设置有积液槽，所述机壳内壁的两侧均固定连接有固定板，并且固定板的表面开设有通孔，所述机壳的内部固定连接有冷凝管，所述冷凝管的两端均贯穿机壳且延伸至机壳的外部，所述机壳的一侧连通有固定管。

优选的，所述底座的顶部固定连接有电机，并且电机的输出轴通过联轴器固定连接有第一皮带轮。

优选的，所述底座的顶部固定连接有稳定管，并且稳定管的一端转动连接有转动管，所述转动管的表面固定连接有第二皮带轮，并且第一皮带轮的表面通过皮带与第二皮带轮的表面传动，所述转动管的顶端贯穿机壳且延伸至机壳的内部，所述转动管的表面与机壳的表面之间固定连接有密封垫，所述转动管的表面且位于机壳的内部连通有喷头，所述转动管的顶端与固定板的底部转动连接。

优选的，所述机壳的顶部通过连接管连通有外壳，并且外壳的内部分别固定连接有干燥剂、滤布和活性炭，所述外壳的顶部连通有出气管。

优选的，所述底座的顶部固定连接有水箱，并且水箱内壁的底部固定连接有接触管，并且接触管的表面开设有通气孔，所述接触管的表面连通有进气管，所述进气管的顶端贯穿机壳且延伸至机壳的外部。

优选的，所述水箱的一侧连通有排液管，并且水箱的顶部连通有进液管，所述水箱的一侧与固定管的一端固定连接，机壳的一侧连通有排污管。

有益效果

本实用新型提供了一种半导体生产线的废气处理装置x。具备以下有益效果：

(1)、该半导体生产线的废气处理装置，通过底座的顶部固定连接有稳定管，并且稳定管的一端转动连接有转动管，转动管的表面固定连接有第二皮带轮，并且第一皮带轮的表面通过皮带与第二皮带轮的表面传动，转动管的顶端贯穿机壳且延伸至机壳的内部，转动管的表面与机壳的表面之间固定连接有密封垫，转动管的表面且位于机壳的内部连通有喷头，转动管的顶端与固定板的底部转动连接，改变了废气的处理的过程中由于废气的处理不彻底，导致有残留废气排放到大气中的问题，防止了废气经光化作用所造成二次污染，大大提高了废气处理的效率，保证了企业效益。

(2)、该半导体生产线的废气处理装置，通过底座的顶部固定连接有支撑腿，并且支撑腿的顶端固定连接有机壳，所述机壳内壁的底部设置有积液槽，机壳内壁的两侧均固定连接有固定板，并且固定板的表面开设有通孔，机壳的内部固定连接有冷凝管，冷凝管的两端均贯穿机壳且延伸至机壳的外部，机壳的一侧连通有固定管，改变了市场上废气处理装置的单一结构，大大增加了其功能性，整个操作过程简单方便。

(3)、该半导体生产线的废气处理装置，通过底座的顶部固定连接有水箱，并且水箱内壁的底部固定连接有接触管，并且接触管的表面开设有通气孔，接触管的表面连通有进气管，进气管的顶端贯穿机壳且延伸至机壳的外部，增加了废气与处理液的接触面积，增加了废气的处理效率。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型图1中A处的局部放大图。

图中：1底座、2支撑腿、3机壳、4积液槽、5固定板、6通孔、7冷凝管、8固定管、9电机、10第一皮带轮、11稳定管、12转动管、13第二皮带轮、14皮带、15喷头、16连接管、17外壳、18干燥剂、19滤布、20活性炭、 21出气管、22水箱、23接触管、24通气孔、25排液管、26进液管、27排污管、28密封垫。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体生产线的废气处理装置，包括底座1，底座1的顶部固定连接有支撑腿2，起到了固定支撑的作用，并且支撑腿2的顶端固定连接有机壳3，机壳3内壁的底部设置有积液槽4，积液槽4有收集废液的目的，机壳3内壁的两侧均固定连接有固定板 5，并且固定板5的表面开设有通孔6，机壳3的内部固定连接有冷凝管7，对蒸发的废液进行冷凝，防止蒸发的废液排出造成二次污染，冷凝管7的两端均贯穿机壳3且延伸至机壳3的外部，机壳3的一侧连通有固定管8，底座 1的顶部固定连接有电机9，并且电机9的输出轴通过联轴器固定连接有第一皮带轮10，底座1的顶部固定连接有稳定管11，并且稳定管11的一端转动连接有转动管12，稳定管11的一端转动管12的转动连接固定连接有密封圈，防止处理液漏液，转动管12的表面固定连接有第二皮带轮13，并且第一皮带轮10的表面通过皮带14与第二皮带轮13的表面传动，转动管12的顶端贯穿机壳3且延伸至机壳3的内部，转动管12的表面与机壳3的表面之间固定连接有密封垫28，防止废气逃出，转动管12的表面且位于机壳3的内部连通有喷头15，转动管12的顶端与固定板5的底部转动连接，机壳3的顶部通过连接管16连通有外壳17，并且外壳17的内部分别固定连接有干燥剂18、滤布19和活性炭20，干燥剂18除去掺有废气的水分和处理液，滤布19阻挡杂质，再经过活性炭20对残留的废气进行吸附，外壳17的顶部连通有出气管 21，底座1的顶部固定连接有水箱22，并且水箱22内壁的底部固定连接有接触管23，并且接触管23的表面开设有通气孔24，接触管23的表面连通有进气管，进气管的顶端贯穿机壳3且延伸至机壳3的外部，水箱22的一侧连通有排液管25，并且水箱22的顶部连通有进液管26，水箱22的一侧与固定管 8的一端固定连接，机壳3的一侧连通有排污管27。

工作时，废气经过进气管，由接触管23上的通气孔24排出，并与水箱 22中的处理液反应，残留的废气再经过固定管8进入机壳3，电机9带动第一皮带轮10转动，第一皮带轮10的表面通过皮带14与第二皮带轮13的表面传动，带动转动管12转动，稳定管11的一端转动连接有转动管12，稳定管11的一端转动管12的转动连接固定连接有密封圈，防止处理液漏液，处理液再经过稳定管11和转动管12通过碰头15喷出，使废气与处理液充分接触，通过机壳3的内部固定连接有冷凝管7，对蒸发的废液进行冷凝，防止蒸发的废液排出造成二次污染，再通过干燥剂18除去掺有废气的水分和处理液，滤布19阻挡杂质，再经过活性炭20对残留的废气进行吸附，这样就完成了废处理。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。由语句“包括一个......限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素”。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种半导体生产线的废气处理装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定连接有支撑腿(2)，并且支撑腿(2)的顶端固定连接有机壳(3)，所述机壳(3)内壁的底部设置有积液槽(4)，所述机壳(3)内壁的两侧均固定连接有固定板(5)，并且固定板(5)的表面开设有通孔(6)，所述机壳(3)的内部固定连接有冷凝管(7)，所述冷凝管(7)的两端均贯穿机壳(3)且延伸至机壳(3)的外部，所述机壳(3)的一侧连通有固定管(8)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产线的废气处理装置，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定连接有电机(9)，并且电机(9)的输出轴通过联轴器固定连接有第一皮带轮(10)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体生产线的废气处理装置，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定连接有稳定管(11)，并且稳定管(11)的一端转动连接有转动管(12)，所述转动管(12)的表面固定连接有第二皮带轮(13)，并且第一皮带轮(10)的表面通过皮带(14)与第二皮带轮(13)的表面传动，所述转动管(12)的顶端贯穿机壳(3)且延伸至机壳(3)的内部，所述转动管(12)的表面与机壳(3)的表面之间固定连接有密封垫(28)，所述转动管(12)的表面且位于机壳(3)的内部连通有喷头(15)，所述转动管(12)的顶端与固定板(5)的底部转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体生产线的废气处理装置，其特征在于：所述机壳(3)的顶部通过连接管(16)连通有外壳(17)，并且外壳(17)的内部分别固定连接有干燥剂(18)、滤布(19)和活性炭(20)，所述外壳(17)的顶部连通有出气管(21)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体生产线的废气处理装置，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定连接有水箱(22)，并且水箱(22)内壁的底部固定连接有接触管(23)，并且接触管(23)的表面开设有通气孔(24)，所述接触管(23)的表面连通有进气管，所述进气管的顶端贯穿机壳(3)且延伸至机壳(3)的外部。

6.根据权利要求5所述的一种半导体生产线的废气处理装置，其特征在于：所述水箱(22)的一侧连通有排液管(25)，并且水箱(22)的顶部连通有进液管(26)，所述水箱(22)的一侧与固定管(8)的一端固定连接，机壳(3)的一侧连通有排污管(27)。