CN207436791U - 一种真空腔室内风门的开关门装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及真空设备技术领域，尤其涉及一种真空腔室内风门的开关门装置。该开关门装置包括动力机构、第一连接轴、链轮组件以及可拆卸地设于真空腔室外侧壁上的密封结构，所述动力机构和密封结构均位于真空腔室外部，所述链轮组件位于所述真空腔室内部，所述第一连接轴的第一端与所述动力机构的输出轴连接，所述第一连接轴的第二端依次穿过密封结构和真空腔室的外侧壁与所述链轮组件连接以向所述链轮组件传递转矩，所述链轮组件还与真空腔室的风门连接以带动风门开启和关闭。本开关门装置结构简单、成本低廉、开关门方便快捷，有效解决了现有开关门装置密封结构拆装和维护不便的问题，而且不会影响和降低真空腔室的密封效果。

Description

一种真空腔室内风门的开关门装置

技术领域

本实用新型涉及真空设备技术领域，尤其涉及一种真空腔室内风门的开关门装置。

背景技术

真空腔室在对其内部的工作区内部设备进行冷却时，会在工作区的外壁(一般为反射屏)上开一风口，并在风口处设置一独立的风门将风口堵起来，以控制风口处的空气流通。真空腔室内的风门作为真空腔室内的门体，其控制着工作区内外两侧之间的的空气流通，因而，该风门的开关门结构及其拆装、维护，以及开关门结构对于真空腔室外侧壁密封性的影响，显得尤为重要。

近年来，国内外真空设备发展迅猛，风门的开关门结构多采用转动密封，在许多转动密封装置上，磁流体密封得到了广泛的应用。磁流体密封技术，即是将磁流体注入到永磁体、转轴及磁极所构成的磁回路中，在磁场力的作用下，在密封间隙内形成多个“O”型液体密封环，从而达到密封的目的。因磁流体密封的应用范围较广，从低速到高速，从低压到高压均适用，目前在工业设备中应用的较多。

磁流体密封技术对介质的种类，工作温度都有严格的要求。不适用的介质或过高的温度，都会导致磁流体液退磁，破坏其密封效果，造成设备密封不严。如磁流体长期不用，突然启动时也会导致真空设备内压力上升。因此，对于真空腔室内风门的开关门结构来说，这都是一些不稳定的因素。另外，因其结构的复杂性，其制造的费用相对较高，对于一些低转速，应用频率较低的风门开关门结构来说，此种密封装置使用起来并不是很经济。并且，因磁流体是连接真空腔室内外的密封装置，其连接装置有一部分是在真空腔室内部，拆装和维修起来不是很方便。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是解决现有真空腔室内风门的开关门装置中密封结构拆装和维护不便的问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种真空腔室内风门的开关门装置，其包括动力机构、第一连接轴、链轮组件以及可拆卸地设于真空腔室外侧壁上的密封结构，所述动力机构和密封结构均位于真空腔室外部，所述链轮组件位于所述真空腔室内部，所述第一连接轴的第一端与所述动力机构的输出轴连接，所述第一连接轴的第二端依次穿过所述密封结构和真空腔室的外侧壁与所述链轮组件连接以向所述链轮组件传递转矩，所述链轮组件还与所述真空腔室的风门连接以带动风门开启和关闭。

进一步地，所述密封结构包括套筒，所述套筒的一端与真空腔室的外侧壁可拆卸地无缝连接，所述第一连接轴的第二端依次穿过所述套筒的两端，所述第一连接轴与套筒之间设有密封圈。

进一步地，所述第一连接轴位于所述套筒内的一段为中空的充水段，所述密封圈套接于所述充水段的外围，且所述密封圈为三道，且包括相对靠近真空腔室外侧壁的第一密封圈，以及相对远离所述真空腔室外侧壁的第二密封圈和第三密封圈，其中所述第二密封圈和第三密封圈之间的套筒内壁上分别开设有环形的进水槽和环形的回水槽，所述充水段分别开设有与所述进水槽相连通的进水孔以及与所述回水槽相连通的出水孔，所述套筒外壁上分别开设有所述进水槽的进水口和所述回水槽的出水口。

进一步地，所述套筒的两端内壁上各设有一滚动轴承，所述第一连接轴的第二端依次穿过两个所述滚动轴承的内圈以使第一连接轴安装于两个所述滚动轴承上，从而将所述第一连接轴进行径向固定。

进一步地，所述套筒开设有多个用于向所述第一连接轴外表注入润滑油的注油孔，以使所述第一连接轴和密封圈得到润滑，减少了第一连接轴与密封圈之间的摩擦。

进一步地，所述真空腔室外侧壁上设有炉体支撑座，所述套筒的一端通过所述炉体支撑座与真空腔室的外侧壁可拆卸地无缝连接。优选的，所述炉体支撑座焊接于所述真空腔室外侧壁上。

进一步地，所述炉体支撑座上可拆卸地设有法兰，所述套筒的一端通过所述法兰固定于所述炉体支撑座上。

进一步地，所述动力机构为减速电机。

优选的，所述减速电机设于减速电机固定座上，所述减速电机固定座固定于所述炉体支撑座上。优选的，所述减速电机固定座上分别设有供所述第一连接轴轴向穿过的第一隔套和第二隔套，以将所述第一连接轴进行轴向定位，防止所述第一连接轴的轴向移动。

进一步地，所述链轮组件包括第一链轮、第二链轮以及一端环绕所述第一链轮、另一端环绕所述第二链轮的链条，所述第一连接轴的第二端安装于所述第一链轮内以向所述链轮组件传递转矩，所述链条与所述风门的活动端连接以拉动风门进行开启和关闭。

优选的，还包括位于所述真空腔室内的第二连接轴，所述第一连接轴的第二端通过联轴器与第二连接轴的第一端连接，所述第二连接轴的第二端安装于所述第一链轮内以向所述链轮组件传递转矩。

优选的，还包括位于所述真空腔室内的挂板，所述链条与所述挂板的一端连接，所述挂板的另一端与所述风门的活动端连接以拉动风门进行开启和关闭。

进一步地，该开关门装置还包括位于所述真空腔室外部的风门开关到位控制机构，所述风门开关到位控制机构包括：支架，感应轮，用于感知所述风门关到位的第一光电开关，用于感知所述风门开到位的第二光电开关，以及可编程逻辑控制器；

所述感应轮、第一光电开关和第二光电开关均设于所述支架上，所述感应轮套接于所述第一连接轴的外围且可随第一连接轴一起转动，所述感应轮位于所述第一光电开关和第二光电开关之间，且所述感应轮在所述风门关到位时接近所述第一光电开关，所述感应轮在所述风门开到位时接近所述第二光电开关，所述可编程逻辑控制器用于接收所述第一光电开关和第二光电开关的信号以使所述动力机构(减速电机)停止工作。所述第一连接轴旋转时带动感应轮一起转动。当感应轮接近第一光电开关时，说明风门关到位，此时第一光电开关将信号传输给可编程逻辑控制器(PLC)，减速电机停止工作；当感应轮接近第二光电开关时，说明风门开到位，此时第二光电开关将信号传输给可编程逻辑控制器(PLC)，减速电机停止工作；从而，本开关门装置通过感应轮在第一光电开关和第二光电开关之间转动，对风门的闭合和开启是否到位进行了精确感知，进而对减速电机是否停止工作进行指示，从而使风门的闭合和开启更加精准和自动化。

优选的，所述支架固定于所述减速电机固定座上。

优选的，所述真空腔室为真空电阻炉腔室；和/或，所述套筒的材质为铜。

(三)有益效果

本实用新型的上述技术方案具有以下有益效果：

1、本实用新型的风门开关门装置，其密封结构设于真空腔室的外侧壁上，位于真空腔室外部，当密封结构发生故障或疲劳失效，需要维护时，只需将密封结构从真空腔室外侧壁上拆下，而无需拆掉第一连接轴，免去了在真空腔室内部进行拆装带来的麻烦工作，有效解决了现有真空腔室内风门的开关门装置密封结构拆装和维护不便的技术问题。此外，第一连接轴作为转矩传递轴，其进入真空腔室时从密封结构穿过，即第一连接轴在旋转过程中，通过密封结构实现了旋转运动的轴密封，从而第一连接轴的旋转不会影响和降低真空腔室的密封效果。

2、本实用新型将密封结构设计为套筒，套筒内设密封圈，第一连接轴穿过密封圈，从而增强了旋转运动的轴密封效果。而且，第一连接轴设有充水段，充水段内可填充冷水，即该第一连接轴为冷水轴，密封圈设置在充水段外围，当第一连接轴和密封圈在旋转过程中发生摩擦而使密封圈发热时，该冷水轴的设置可有效对密封圈进行冷却，防止了密封圈因过热而失效。进一步地，本实用新型在所述第二密封圈和第三密封圈之间的套筒内壁上分别开设有环形的进水槽和环形的回水槽，所述充水段分别开设有与所述进水槽相连通的进水孔以及与所述回水槽相连通的出水孔，所述套筒外壁上分别开设有所述进水槽的进水口和所述回水槽的出水口。这样，外部来的冷却水由进水槽的进水口进入到进水槽内，再由充水段上设置的进水孔进入到充水段内，后由充水段上的出水孔进入到回水槽中，再经回水槽的出水口流到密封结构外部，由此形成了水的循环。因此，可通过不断从外界向进水槽内供水，使充水段内的水得以补充和循环，从而增强了充水段的冷却效果，进一步对密封圈进行了保护，延长了密封结构的使用寿命。

3、本实用新型在套筒的两端内壁上各设有一滚动轴承，第一连接轴的第二端依次穿过两个滚动轴承的内圈以使第一连接轴安装在了两个滚动轴承上，从而使得第一连接轴在径向上得到了固定，而且滚动轴承的设置也使得第一连接轴在旋转过程中减小了旋转阻力，从而减少了动力机构的能量消耗。进一步地，本实用新型设置了供第一连接轴轴向穿过的第一隔套和第二隔套，以将第一连接轴进行轴向定位，从而防止了第一连接轴在轴向上的来回移动，增强了第一连接轴的转动效果和整改开关门装置的稳定性。

4、本实用新型在套筒上开设了注油孔，通过注油孔向第一连接轴注入润滑油，使得第一连接轴和密封圈得到了润滑，从而减少了第一连接轴与密封圈之间的摩擦，进一步减少了能量损耗。

5、本实用新型设置的第二连接轴、炉体支撑座和减速电机固定座，使得整个开关门装置结构更加灵活，更加便于整个开关门装置(包括密封结构)的拆装和维护。本实用新型的动力机构为减速电机，使得本开关门装置适于在低转速、低使用频率的情况下使用。

6、本实用新型的链轮组件通过设置第一链轮、第二链轮、链条和挂板，将第一连接轴传递过来的转矩有效传递给了风门以拉动风门的活动端进行风门的开启和关闭，结构简单、价格低廉，开关门便捷、效率高。进一步地，本实用新型还在真空腔室外部设置了风门开关到位控制机构，当感应轮接近第一光电开关时，说明风门关到位，此时第一光电开关将信号传输给可编程逻辑控制器(PLC)，减速电机停止工作；当感应轮接近第二光电开关时，说明风门开到位，此时第二光电开关将信号传输给可编程逻辑控制器(PLC)，减速电机停止工作；从而，本开关门装置通过感应轮在第一光电开关和第二光电开关之间转动，对风门的闭合和开启是否到位进行了精确感知，进而对减速电机是否停止工作进行指示，从而使风门的闭合和开启更加精准和自动化。

附图说明

图1为本实用新型实施例所述风门的开关门装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例所述密封结构和动力机构的结构示意图；

图3为本实用新型实施例所述风门开关到位控制机构的结构示意图；

其中，A、密封结构；1、滚动轴承；2、套筒；3、进水口；4、出水口；5-1、第一密封圈；5-2、第二密封圈；5-3、第三密封圈；6、第一连接轴；7、炉体支撑座；8、注油孔；9、减速电机固定座；10、减速电机；11、第一隔套；12、第二隔套；13、充水段；14、进水槽；15、回水槽；16、进水孔；17、出水孔；18、第二连接轴；19、挂板；20、真空腔室；21、链条；22、联轴器；23、风门；24、支架；25、感应轮；26、第一光电开关；27、第二光电开关。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。

在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以视具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1～图3所示，本实施例提供了一种真空腔室内风门的开关门装置，其包括动力机构、第一连接轴6、链轮组件、可拆卸地设于真空腔室20外侧壁上的密封结构A、以及设于真空腔室20内的第二连接轴18和挂板19，动力机构和密封结构A均位于真空腔室20外部，链轮组件位于所述真空腔室20内部。

链轮组件包括第一链轮、第二链轮以及一端环绕第一链轮、另一端环绕第二链轮的链条21，第一连接轴6的第一端与动力机构的输出轴连接，第一连接轴6的第二端依次穿过密封结构A和真空腔室20的外侧壁并通过联轴器22与第二连接轴18的第一端连接，第二连接轴18的第二端安装于第一链轮内以向链轮组件传递转矩，链条21与挂板19的一端连接，挂板19的另一端与风门的活动端连接以拉动风门23进行开启和关闭。

具体而言，密封结构A包括套筒2，套筒2的一端与真空腔室20的外侧壁可拆卸地无缝连接，第一连接轴6的第二端依次穿过套筒2的两端，第一连接轴6与套筒2之间设有密封圈。第一连接轴6位于套筒2内的一段为中空的充水段13(本实施例中，充水段13为不锈钢管)，密封圈套接于充水段13的外围。密封圈为三道，且包括相对靠近真空腔室20外侧壁的第一密封圈5-1，以及相对远离真空腔室20外侧壁的第二密封圈5-2和第三密封圈5-3，其中第二密封圈5-2和第三密封圈5-3之间的套筒2内壁上分别开设有环形的进水槽14和环形的回水槽15，充水段13分别开设有与进水槽14相连通的进水孔16以及与回水槽15相连通的出水孔17，套筒2外壁上分别开设有进水槽14的进水口3和回水槽15的出水口4。套筒2的两端内壁上各设有一滚动轴承1，第一连接轴6的第二端依次穿过两个滚动轴承1的内圈以使第一连接轴6安装于两个滚动轴承1上，从而将第一连接轴6进行径向固定。套筒2开设有多个用于向第一连接轴6外表注入润滑油(本实施例中注入的润滑油为真空硅脂)的注油孔8，以使第一连接轴6和密封圈得到润滑，减少了第一连接轴6与密封圈之间的摩擦。

真空腔室20外侧壁上设有炉体支撑座7，套筒2的一端通过炉体支撑座7与真空腔室20的外侧壁可拆卸地无缝连接，具体为炉体支撑座7上可拆卸地设有法兰，套筒2的一端通过法兰固定于炉体支撑座7上。本实施例中，炉体支撑座7焊接于真空腔室20外侧壁上。

具体而言，动力机构为减速电机10，减速电机10设于减速电机固定座9上。减速电机固定座9固定于炉体支撑座7上，减速电机固定座9与炉体支撑座7之间通过螺钉进行连接。减速电机固定座9上分别设有供第一连接轴6轴向穿过的第一隔套11和第二隔套12，以将第一连接轴6进行轴向定位，防止第一连接轴6的轴向移动。

本实施例中，该开关门装置还包括位于真空腔室20外部的风门开关到位控制机构，风门开关到位控制机构包括：支架24，感应轮25，用于感知风门23关到位的第一光电开关26，用于感知风门23开到位的第二光电开关27，以及可编程逻辑控制器。支架24固定于减速电机固定座9上。感应轮25、第一光电开关26和第二光电开关27均设于支架24上，感应轮25套接于第一连接轴6的外围且可随第一连接轴6一起转动，感应轮25位于第一光电开关26和第二光电开关27之间，且感应轮25在风门23关到位时接近第一光电开关26，感应轮25在风门23开到位时接近第二光电开关27，可编程逻辑控制器用于接收第一光电开关26和第二光电开关27的信号以使减速电机10停止工作。第一连接轴6旋转时带动感应轮25一起转动。

当感应轮25接近第一光电开关26时，说明风门23关到位，此时第一光电开关26将信号传输给可编程逻辑控制器(PLC)，减速电机10停止工作；当感应轮25接近第二光电开关27时，说明风门23开到位，此时第二光电开关27将信号传输给可编程逻辑控制器(PLC)，减速电机10停止工作；从而，本开关门装置通过感应轮25在第一光电开关26和第二光电开关27之间转动，对风门23的闭合和开启是否到位进行了精确感知，进而对减速电机10是否停止工作进行指示，从而使风门23的闭合和开启更加精准和自动化。

本实施例中，套筒的材质为铜。真空腔室为真空电阻炉腔室，具体为HVF6090IQ型卧式真空电阻炉腔室。该HVF6090IQ型卧式真空电阻炉主要用于在真空状态下对金属零部件进行钎焊、去气、退火等热处理工艺，设备对真空度的要求很高，要求达到10^-5Pa的数量级，因此对真空密封装置的要求也极高。本密封结构拆装方便，便于维修，该密封结构应用于该设备，设备的真空度和压升率指标均能到达很好的数值。本实施例的动力机构为减速电机，使得本开关门装置适于在低转速、低使用频率的情况下使用。

综上所述，本实施例的风门开关门装置，其密封结构设于真空腔室的外侧壁上，位于真空腔室外部，当密封结构发生故障或疲劳失效，需要维护时，只需将密封结构从真空腔室外侧壁上拆下，而无需拆掉第一连接轴，免去了在真空腔室内部进行拆装带来的麻烦工作，有效解决了现有真空腔室内风门的开关门装置密封结构拆装和维护不便的技术问题。此外，第一连接轴作为转矩传递轴，其进入真空腔室时从密封结构穿过，即第一连接轴在旋转过程中，通过密封结构实现了旋转运动的轴密封，从而第一连接轴的旋转不会影响和降低真空腔室的密封效果。

本实施例将密封结构设计为套筒，套筒内设密封圈，第一连接轴穿过密封圈，从而增强了旋转运动的轴密封效果。而且，第一连接轴设有充水段，充水段内可填充冷水，即该第一连接轴为冷水轴，密封圈设置在充水段外围，当第一连接轴和密封圈在旋转过程中发生摩擦而使密封圈发热时，该冷水轴的设置可有效对密封圈进行冷却，防止了密封圈因过热而失效。进一步地，本实施例在第二密封圈和第三密封圈之间的套筒内壁上分别开设有环形的进水槽和环形的回水槽，充水段分别开设有与进水槽相连通的进水孔以及与回水槽相连通的出水孔，套筒外壁上分别开设有进水槽的进水口回水槽的出水口。这样，外部来的冷却水由进水槽的进水口入到进水槽内，再由充水段上设置的进水孔进入到充水段内，后由充水段上的出水孔进入到回水槽中，再经回水槽的出水口流到密封结构外部，由此形成了水的循环。因此，可通过不断从外界向进水槽内供水，使充水段内的水得到补充和循环，从而增强了充水段的冷却效果，进一步对密封圈进行了保护，延长了密封结构的使用寿命。

本实施例在套筒的两端内壁上各设有一滚动轴承，第一连接轴的第二端依次穿过两个滚动轴承的内圈以使第一连接轴安装在了两个滚动轴承上，从而使得第一连接轴在径向上得到了固定，而且滚动轴承的设置也使得第一连接轴在旋转过程中减小了旋转阻力，从而减少了动力机构的能量消耗。进一步地，本实施例设置了供第一连接轴轴向穿过的第一隔套和第二隔套，以将第一连接轴进行轴向定位，从而防止了第一连接轴在轴向上的来回移动，增强了第一连接轴的转动效果和整改开关门装置的稳定性。

本实施例在套筒上开设了注油孔，通过注油孔向第一连接轴注入润滑油，使得第一连接轴和密封圈得到了润滑，从而减少了第一连接轴与密封圈之间的摩擦，进一步减少了能量损耗。本实施例设置的第二连接轴、炉体支撑座和减速电机固定座，使得整个开关门装置结构更加灵活，更加便于整个开关门装置(包括密封结构)的拆装和维护。

本实施例的链轮组件通过设置第一链轮、第二链轮、链条和挂板，将第一连接轴传递过来的转矩有效传递给了风门以拉动风门的活动端进行风门的开启和关闭，结构简单、紧凑，开关门便捷、效率高。进一步地，本实用新型还在真空腔室外部设置了风门开关到位控制机构，当感应轮接近第一光电开关时，说明风门关到位，此时第一光电开关将信号传输给可编程逻辑控制器(PLC)，减速电机停止工作；当感应轮接近第二光电开关时，说明风门开到位，此时第二光电开关将信号传输给可编程逻辑控制器(PLC)，减速电机停止工作；从而，本开关门装置通过感应轮在第一光电开关和第二光电开关之间转动，对风门的闭合和开启是否到位进行了精确感知，进而对减速电机是否停止工作进行指示，从而使风门的闭合和开启更加精准和自动化。

因而，本开关门装置结构简单、成本低廉、开关门方便快捷，有效解决了现有开关门装置密封结构拆装和维护不便的问题，而且不会影响和降低真空腔室的密封效果。

本实用新型的实施例是为了示例和描述而给出的，而并不是无遗漏的或者将本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。

Claims (10)

1.一种真空腔室内风门的开关门装置，其特征在于，包括动力机构、第一连接轴、链轮组件以及可拆卸地设于真空腔室外侧壁上的密封结构，所述动力机构和密封结构均位于真空腔室外部，所述链轮组件位于所述真空腔室内部，所述第一连接轴的第一端与所述动力机构的输出轴连接，所述第一连接轴的第二端依次穿过所述密封结构和真空腔室的外侧壁与所述链轮组件连接以向所述链轮组件传递转矩，所述链轮组件还与所述真空腔室的风门连接以带动风门开启和关闭。

2.根据权利要求1所述的开关门装置，其特征在于，所述密封结构包括套筒，所述套筒的一端与真空腔室的外侧壁可拆卸地无缝连接，所述第一连接轴的第二端依次穿过所述套筒的两端，所述第一连接轴与套筒之间设有密封圈。

3.根据权利要求2所述的开关门装置，其特征在于，所述第一连接轴位于所述套筒内的一段为中空的充水段，所述密封圈套接于所述充水段的外围，且所述密封圈为三道，且包括相对靠近真空腔室外侧壁的第一密封圈，以及相对远离所述真空腔室外侧壁的第二密封圈和第三密封圈，其中所述第二密封圈和第三密封圈之间的套筒内壁上分别开设有环形的进水槽和环形的回水槽，所述充水段分别开设有与所述进水槽相连通的进水孔以及与所述回水槽相连通的出水孔，所述套筒外壁上分别开设有所述进水槽的进水口和所述回水槽的出水口。

4.根据权利要求2或3所述的开关门装置，其特征在于，所述套筒的两端内壁上各设有一滚动轴承，所述第一连接轴的第二端依次穿过两个所述滚动轴承的内圈以使第一连接轴安装于两个所述滚动轴承上。

5.根据权利要求2所述的开关门装置，其特征在于，所述套筒开设有多个用于向所述第一连接轴外表注入润滑油的注油孔。

6.根据权利要求2所述的开关门装置，其特征在于，所述真空腔室外侧壁上设有炉体支撑座，所述套筒的一端通过所述炉体支撑座与真空腔室的外侧壁可拆卸地无缝连接。

7.根据权利要求6所述的开关门装置，其特征在于，所述炉体支撑座上可拆卸地设有法兰，所述套筒的一端通过所述法兰固定于所述炉体支撑座上。

8.根据权利要求1所述的开关门装置，其特征在于，所述动力机构为减速电机。

9.根据权利要求1所述的开关门装置，其特征在于，所述链轮组件包括第一链轮、第二链轮以及一端环绕所述第一链轮、另一端环绕所述第二链轮的链条，所述第一连接轴的第二端安装于所述第一链轮内以向所述链轮组件传递转矩，所述链条与所述风门的活动端连接以拉动风门进行开启和关闭。

10.根据权利要求1所述的开关门装置，其特征在于，还包括位于所述真空腔室外部的风门开关到位控制机构，所述风门开关到位控制机构包括：支架，感应轮，用于感知所述风门关到位的第一光电开关，用于感知所述风门开到位的第二光电开关，以及可编程逻辑控制器；

所述感应轮、第一光电开关和第二光电开关均设于所述支架上，所述感应轮套接于所述第一连接轴的外围且可随第一连接轴一起转动，所述感应轮位于所述第一光电开关和第二光电开关之间，且所述感应轮在所述风门关到位时接近所述第一光电开关，所述感应轮在所述风门开到位时接近所述第二光电开关，所述可编程逻辑控制器用于接收所述第一光电开关和第二光电开关的信号以使所述动力机构停止工作。