CN207430720U - 一种分选机 - Google Patents
一种分选机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN207430720U CN207430720U CN201721220469.1U CN201721220469U CN207430720U CN 207430720 U CN207430720 U CN 207430720U CN 201721220469 U CN201721220469 U CN 201721220469U CN 207430720 U CN207430720 U CN 207430720U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- platform
- sorting machine
- crystal grain
- vacuum
- machine according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 46
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 9
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 5
- 238000003491 array Methods 0.000 claims description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract description 5
- 239000013039 cover film Substances 0.000 abstract description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 230000001351 cycling effect Effects 0.000 description 1
- 230000000881 depressing effect Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种分选机，其采用下压机构压出晶粒后直接吸附于真空平台上，然后再通过覆盖薄膜后将晶粒批量转移，此分选机不仅提高了下压机构的实用寿命，而且避免了使用吸嘴对晶粒造成的脏污和异常，降低了成本，同时提高了分选后晶粒的品质。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种自动分选晶粒的分选机。
背景技术
现有技术中，当晶片制造完成后，必须针对晶片上的每一颗晶粒进行检测，然后根据客户的要求，从晶片中挑选出符合要求的晶粒，此过程叫做晶粒的分选，现有晶粒的分选方法主要是利用吸嘴与顶针相互配合工作，顶针从蓝膜背部顶起晶粒，使晶粒脱离蓝膜，然后用吸嘴吸取晶粒进行转移，此种作业方式存在以下缺点：
1.吸嘴寿命低，且属于耗材，成本占比较高；
2.吸嘴磨损后会造成压伤、脏污等异常，难以解决；
3.吸嘴中心经常偏移，会造成排列不齐等客诉异常，且需耗费人力花费时间不断调整吸嘴的偏移；
4.晶粒分选包括顶起、吸取转移的动作，过程较复杂。
发明内容
为解决上述技术问题，一种分选机，用于分选晶片上的晶粒，其特征在于,至少包括进料单元、第一移送单元、收料单元和第二移送单元，
所述进料单元包括用于承载晶片的环形载台和位于所述环形载台下方的第一移动滑轨，所述环形载台沿第一移动滑轨移动；
所述第一移送单元设置于进料单元的上方，包括下压晶粒的下压机构和驱动下压机构升降的第一驱动机构；
所述收料单元设置于进料单元的下方，包括中心具有开口的固晶平台、位于所述开口内并相对于所述固晶平台升降的真空平台、以及位于所述固晶平台下方的第二移动滑轨，所述固晶平台沿第二移动滑轨移动，所述真空平台上设置有若干个阵列的真空孔，待分选晶粒在所述下压机构的压力下吸附于真空孔上；
所述第二移送单元位于收料单元的一侧，用于转移收料单元上的晶粒。
优选的，所述第二移送单元包括薄膜卷、拉膜杆、压膜滚轮和切刀，所述拉膜杆设置于薄膜卷的一端部，所述压膜滚轮位于薄膜卷的上方，所述切刀位于薄膜卷和收料单元之间。
优选的，所述真空平台还包括位于真空孔下部的真空抽取机构和位于真空抽取机构下部的使真空平台升降的第二驱动机构。
优选的，所述分选机还包括驱动第一移动单元位移的第三驱动机构。
优选的，所述真空平台与所述固晶平台内侧壁之间设置有第三移动滑轨。
优选的，所述第一移动滑轨包括呈正交状排列的第一纵移轨道和第一横移轨道。
优选的，所述第二移动滑轨包括呈正交状排列的第二纵移轨道和第二横移轨道。
优选的，所述第三移动滑轨为设置于固晶平台内侧壁的竖直轨道。
优选的，所述第二移送单元还包括位于收料单元另一侧的固定环放置架。
优选的，所述第二移送单元还包括位于收料单元和固定环放置架之间的机械手。
本实用新型提供的一种分选机，省去了现有分选设备中的吸嘴，降低了成本，又减少了因吸嘴而造成的脏污和异常，提高了分选后晶粒的品质。
附图说明
图1 本实用新型实施例1之分选机俯视图。
图2 本实用新型实施例1之第一移动单元、环形载台、收料单元主视图。
图3 本实用新型实施例1之真空平台部分结构示意图。
图4 本实用新型实施例1之第二转移单元结构示意图。
图5 本实用新型实施例2之分选机俯视图。
图6 本实用新型实施例2之第二转移单元结构示意图。
附图标注：10：进料单元；11：环形载台；12：第一移动滑轨；121：第一横移轨道；122：第一纵移轨道；20：第一移送单元；21：第一驱动机构；22：下压机构；23：第三驱动机构；30：收料单元；31：固晶平台；32：第二移动滑轨；321：第二横移轨道121；322：第二纵移轨道；33：真空平台；331：真空孔；332：真空抽取机构；333：第二驱动机构；34：第三移动滑轨；40：第二移送单元；41：薄膜卷；42：拉膜杆；43：压膜滚轮；44：切刀；45：放置架；46：机械手；47：固定环；50：晶片。
具体实施方式
在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
实施例1
参看附图1~2，本实施例提供的一种分选机，用于分选晶片50上的晶粒，该分选机至少包括进料单元10、第一移送单元20、收料单元30、第二移送单元40，其中，
进料单元10包括承接晶片50的环形载台11和位于环形载台11下方的第一移动滑轨12，该环形载台11沿第一移动滑轨12位移；
第一移送单元20设置于进料单元10的上方，包括用于下压晶粒的下压机构22和驱动下压机构22升降的第一驱动机构21，以及用于调节第一移动单元20位置的第三驱动机构23；
收料单元30设置于进料单元10的下方，包括中心具有开口的固晶平台31、位于该开口内并相对于固晶平台31升降的真空平台33、以及位于固晶平台31下方的第二移动滑轨32，其中，固晶平台31沿第二移动滑轨32移动，真空平台33上设置有若干个阵列的真空孔331，待分选晶粒在下压机构22的压力下吸附于真空孔331上；
第二移动单元40位于收料单元30的一侧，用于转移收料单元30上的晶粒，其包括薄膜卷41、拉膜杆42、压膜滚轮43和切刀44，拉膜杆42设置于薄膜卷41的一端部，压膜滚轮43位于薄膜卷41的上方，切刀44位于薄膜卷41和收料单元30之间。
工作时，拉膜杆42用于拉起薄膜卷41上的薄膜覆盖位于固晶平台31上的晶粒，压膜滚轮43于薄膜表面滚动以便将晶粒转移至薄膜上，随后，用切刀44切割薄膜，完成晶粒的转移，优选的，薄膜为具有一定粘附性的蓝膜。
其中，第一移动滑轨12包括呈正交状的第一纵移轨道122和第一横移轨道121，环形载台11在第一移动滑轨12上可以纵向和横向移动。第二移动滑轨32包括呈正交状的第二纵移轨道322和第二横移轨道321，固晶平台31和真空平台33在第二移动滑轨32上可以纵向和横向移动。
具体地，第一纵移轨道122和第一横移轨道121 可以呈“十字”交叉状排列，也可以呈“井字”交叉状排列，同样地，第二纵移轨道322和第二横移轨道321可以为 “十字”交叉状排列，也可以为“井字”交叉状排列，本实施例优选第一纵移轨道122和第一横移轨道121、第二纵移轨道322和第二横移轨道321均“十字”交叉状排列。
真空平台33还包括位于真空孔331下部的真空抽取机构332和位于真空抽取机构332下部的使真空平台33升降的第二驱动机构333。为便于真空平台33在固晶平台31内部上下移动，真空平台33与固晶平台31内侧壁之间设置有第三移动滑轨34，该第三移动滑轨34为相对设置于固晶平台内侧壁的竖直轨道。
参看附图3~4，本实施例提供的一种分选机的工作过程如下：
首先，相向移动环形载台11和固晶平台31至固晶平台31位于环形载台11下方，同时第三驱动机构23调节第一移动单元20位于环形载台11的正上方，打开真空抽取机构332，同时真空平台33在第二驱动机构333的作用下向上升起至环形载台11下表面，第一驱动机构21驱动下压机构22下压顶出晶粒后吸附于真空孔331上，然后第一驱动机构21控制下压机构22缩回，固晶平台31移动至下一颗待分选晶粒，同时第一移送单元20也移动至下一颗待分选晶粒，再次打开真空抽取机构332的同时升起真空平台33，下压机构22下压顶出待分选晶粒吸附于真空孔331上，下压机构22缩回，循环以上作业，直至待分选晶粒完全转移至真空平台33上。固晶平台31沿第二移动滑轨32移动至邻近第二转移单元40一端，对真空平台33上的晶粒进行第二次转移；其过程为：拉膜杆42拉起薄膜卷41上的薄膜覆盖真空平台33上的晶粒，压膜滚轮43于薄膜表面滚动以便将晶粒转移至薄膜上，随后，用切刀44切割薄膜，完成晶粒的转移。
本实用新型提供的分选机，采用下压机构22压出晶粒后直接吸附于真空平台33上，然后再通过覆盖薄膜后将晶粒批量转移，此方法不仅提高了下压机构22的实用寿命，而且避免了使用吸嘴对晶粒造成的脏污和异常，降低了成本，同时提高了分选后晶粒的品质。
实施例2
参考附图5，本实施例与实施例1的区别是第二移动单元40还包括位于收料单元另一侧的固定环47放置架45以及位于固定环放置架45与收料单元30之间的用于转移固定环47的机械手46，放置架45可容置若干个固定环47。
参考附图6，第二移动单元在转移真空平台33上的晶粒时，拉膜杆42拉出薄膜覆盖晶粒，压膜滚轮43滚压薄膜将晶粒转移至薄膜上，机械手46将固定环47固定于薄膜上，随后用切刀44切割薄膜，完成晶粒的第二次转移。
应当理解的是，上述具体实施方案为本实用新型的优选实施例，本实用新型的范围不限于该实施例，凡依本实用新型所做的任何变更，皆属本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种分选机，用于分选晶片上的晶粒，其特征在于,至少包括进料单元、第一移送单元、收料单元和第二移送单元，
所述进料单元包括用于承载晶片的环形载台和位于所述环形载台下方的第一移动滑轨，所述环形载台沿第一移动滑轨移动；
所述第一移送单元设置于进料单元的上方，包括下压晶粒的下压机构和驱动下压机构升降的第一驱动机构；
所述收料单元设置于进料单元的下方，包括中心具有开口的固晶平台、位于所述开口内并相对于所述固晶平台升降的真空平台、以及位于所述固晶平台下方的第二移动滑轨，所述固晶平台沿第二移动滑轨移动，所述真空平台上设置有若干个阵列的真空孔，待分选晶粒在所述下压机构的压力下吸附于真空孔上；
所述第二移送单元位于收料单元的一侧，用于转移收料单元上的晶粒。
2.根据权利要求1所述的一种分选机，其特征在于：所述第二移送单元包括薄膜卷、拉膜杆、压膜滚轮和切刀，所述拉膜杆设置于薄膜卷的一端部，所述压膜滚轮位于薄膜卷的上方，所述切刀位于薄膜卷和收料单元之间。
3.根据权利要求1所述的一种分选机，其特征在于：所述真空平台还包括位于真空孔下部的真空抽取机构和位于真空抽取机构下部的使真空平台升降的第二驱动机构。
4.根据权利要求1所述的一种分选机，其特征在于：所述分选机还包括驱动第一移动单元位移的第三驱动机构。
5.根据权利要求1所述的一种分选机，其特征在于：所述真空平台与所述固晶平台内侧壁之间设置有第三移动滑轨。
6.根据权利要求1所述的一种分选机，其特征在于：所述第一移动滑轨包括呈正交状排列的第一纵移轨道和第一横移轨道。
7.根据权利要求1所述的一种分选机，其特征在于：所述第二移动滑轨包括呈正交状排列的第二纵移轨道和第二横移轨道。
8.根据权利要求5所述的一种分选机，其特征在于：所述第三移动滑轨为设置于固晶平台内侧壁的竖直轨道。
9.根据权利要求2所述的一种分选机，其特征在于：所述第二移送单元还包括位于收料单元另一侧的固定环放置架。
10.根据权利要求9所述的一种分选机，其特征在于：所述第二移送单元还包括位于收料单元和固定环放置架之间的机械手。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721220469.1U CN207430720U (zh) | 2017-09-22 | 2017-09-22 | 一种分选机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721220469.1U CN207430720U (zh) | 2017-09-22 | 2017-09-22 | 一种分选机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN207430720U true CN207430720U (zh) | 2018-06-01 |
Family
ID=62294830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201721220469.1U Active CN207430720U (zh) | 2017-09-22 | 2017-09-22 | 一种分选机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN207430720U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110707024A (zh) * | 2019-09-20 | 2020-01-17 | 深圳市矽电半导体设备有限公司 | 一种芯粒分选方法 |
| CN112317339A (zh) * | 2020-09-10 | 2021-02-05 | 中国石油大学(华东) | 一种led晶片分选系统及其分选方法 |
-
2017
- 2017-09-22 CN CN201721220469.1U patent/CN207430720U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110707024A (zh) * | 2019-09-20 | 2020-01-17 | 深圳市矽电半导体设备有限公司 | 一种芯粒分选方法 |
| CN112317339A (zh) * | 2020-09-10 | 2021-02-05 | 中国石油大学(华东) | 一种led晶片分选系统及其分选方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106523536A (zh) | 一种圆锥滚子轴承内组件全自动装配机 | |
| CN112420580B (zh) | 一种晶圆自动下片、检测生产线 | |
| CN207430720U (zh) | 一种分选机 | |
| CN110646724B (zh) | 一种半导体芯片分选测试装置的上料输送装置及其工作方法 | |
| CN109404425B (zh) | 一种圆柱滚子轴承全自动装配生产线 | |
| CN105966953B (zh) | 多卷板料同时上料和自动快速转换设备及其快速转换方法 | |
| CN110588842A (zh) | 座椅滑轨装配线 | |
| CN101396692B (zh) | 可自动化进行电子元件外观检测的装置 | |
| CN107672283A (zh) | 自动撕离型纸设备 | |
| CN109877360B (zh) | 一种长轴类支撑座上注油孔钻孔装置 | |
| CN108247532B (zh) | 一种自动上下料装置 | |
| CN213842403U (zh) | 全自动轴承噪音检测设备 | |
| CN111942846B (zh) | 一种车身管件自动上料设备 | |
| CN111331156A (zh) | 自动上下料装置 | |
| CN218575166U (zh) | 一种双头倒角装置 | |
| JP2013141679A (ja) | ブランキング加工方法および装置 | |
| CN214313838U (zh) | 一种金属端子自动裁切和吸音网自动植入机 | |
| CN206811229U (zh) | 一种钢管平尾机 | |
| CN115193990A (zh) | 一种机械基础件生产用冲压下料装置 | |
| CN108788724A (zh) | 料箱切换装置及料箱切换方法 | |
| CN205571215U (zh) | 电梯门板生产线 | |
| CN218133387U (zh) | 制绒上料导片机 | |
| CN206569822U (zh) | 金刚石电镀设备上后端应用的伺服排线收线机 | |
| CN220658797U (zh) | 一种铁芯压平设备 | |
| CN221342830U (zh) | 智能化分配移栽线 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |