CN207385974U - 一种硅片生产线上碎片筛选装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种硅片生产线上碎片筛选装置，包括光源、图像采集装置、第一机械手、控制器、图像显示装置和碎片收集盒，图像采集装置设于光源附近，图像采集装置、第一机械手和图像显示装置分别与控制器电连接。还包括来料提升机，第一机械手设于来料提升机与图像采集装置之间，来料提升机包括第一传送带、第一花篮卡紧机构和第一花篮提升机构，第一花篮卡紧机构设于第一传送带上方，第一花篮提升机构设于第一花篮卡紧机构下方。该装置无需到现场的每个工艺节点处挑拣硅片中的碎片，可在图像显示装置上同时对多个工艺节点处的碎片进行挑拣，效率高；生产线与筛选装置之间连续性更高，效率更高。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体器件生产设备领域，尤其是涉及一种硅片生产线上碎片筛选装置。
背景技术
随着半导体行业的迅速发展，半导体硅片产能日趋扩大。而在硅片生产时，会涉及到多种作业流程，包括扩散、玻钝和切割等工艺，而在硅片生产加工的各个环节，都有可能使硅片受到损害，因此在硅片生产加工流程上会产生许多碎片，而这些碎片已失去使用价值，如果继续进入下一加工流程会对生产用能源造成浪费，因此，在各个工艺节点上需要对产生的碎片进行收集。
现有技术中，通常是生产工人在生产线的各个节点检查并挑出其中的碎片，但是人工挑拣碎片会消耗大量的人力，且效率低。
发明内容
本实用新型要解决的问题是提供一种硅片生产线上碎片筛选装置，无需在每个工艺节点安排操作工人对生产线上的碎片进行挑拣，碎片挑拣自动化，方便且效率高。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种硅片生产线上碎片筛选装置，包括光源、图像采集装置、第一机械手、控制器、图像显示装置和碎片收集盒，图像采集装置设于光源附近，图像采集装置、第一机械手和图像显示装置分别与控制器电连接。
技术方案中，优选的，还包括来料提升机，第一机械手设于来料提升机与图像采集装置之间，来料提升机包括第一传送带、第一花篮卡紧机构和第一花篮提升机构，第一花篮卡紧机构设于第一传送带上方，第一花篮提升机构设于第一花篮卡紧机构下方。
技术方案中，优选的，还包括缓存提升机构，缓存提升机构与图像采集装置之间设有第二机械手，缓存提升机构包括第二传送带、第二花篮卡紧机构和第二花篮提升机构，第二花篮卡紧机构设于第二传送带上方，第二花篮提升机构设于第二花篮卡紧机构下方，第二机械手与控制器电连接。
技术方案中，优选的，缓存提升机构与来料提升机之间还设有横移机器人。
技术方案中，优选的，光源上方设有支撑架。
本实用新型具有的优点和积极效果是：
1.工作人员无需到现场的每个工艺节点处监测筛选、挑拣硅片中的碎片，可在图像显示装置上同时监测多个工艺节点处的碎片情况，并对碎片进行挑拣，省时省力，效率高；
2.设有来料提升机，可与上道工序的生产线进行直接衔接，使生产线与碎片筛选装置之间的操作更连贯，生产连续性更高，自动化程度更高；
3.设有缓存提升装置，可缓存来料提升机无法及时处理的物料，并可与来料提升机穿插进行硅片的筛选，效率更高。
附图说明
图1是本实用新型碎片筛选装置的结构示意图。
图2是本实用新型中来料提升机的俯视图。
图3是本实用新型中来料提升机的主视图。
图4是本实用新型中缓存提升机构的俯视图。
图5是本实用新型中缓存提升机构的主视图。
图中：
1、光源 2、图像采集装置 3、机械手
4、来料提升机 5、碎片收集盒 6、缓存提升机构
7、机械手 8、横移机器人 9、支撑架
41、传送带 42、花篮卡紧机构 43、花篮提升机构
44、支撑架 61、传送带 62、花篮卡紧机构
63、花篮提升机构 64、支撑架
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型实施例做进一步描述：
如图1所示，本实施例所述的一种硅片生产线上碎片筛选装置，包括光源1、图像采集装置2、机械手3、控制器、图像显示装置和碎片收集盒5，图像采集装置2设于光源1的附近，图像采集装置2、机械手3和图像显示装置分别与控制器电连接。机械手3将生产线上的硅片由承载花篮中抽出，并放于光源1的上方，在光源1的照射下，控制图像采集装置2对硅片进行拍照，并将图像传至图像显示装置，工作人员在图像显示装置前观测到硅片碎片后，通过操作机械手3将碎片的硅片转移至碎片收集盒5中，从而将碎片筛选出来。工作人员可在图像显示装置上同时监测多个工艺节点处的碎片情况，且无需到现场将碎片挑拣出来，省时省力，效率高。其中，图像采集装置2可以为工业相机。还可在光源1上方设支撑架9，机械手3从承载花篮中将硅片抽出后放在支撑架9上，进行图像采集。
如图2、图3所示，其中，还包括来料提升机4，机械手3设于来料提升机4与图像采集装置2之间，来料提升机4可与上一工艺的生产线进行直接衔接，连贯性更高，自动化程度更高，来料提升机4包括传送带41、花篮卡紧机构42、支撑架44和花篮提升机构43，传送带41架设在支撑架44上，花篮卡紧机构42设于传送带41上方，花篮提升机构43设于花篮卡紧机构42下方。硅片由上一工艺传送至来料提升机4的传送带41上，并被花篮卡紧机构42固定，机械手3从花篮中将硅片抽出，放在光源1上方采集图像，由于硅片逐渐被抽走，花篮中硅片的高度随之下降，为了保证花篮中第一个硅片的高度不变，每抽走一个硅片后，花篮提升机构43将花篮高度升高，使最上层的硅片与机械手高度保持一致。花篮提升机构43可以为电机控制升降，传送带41架设于支撑架44的两侧，支撑架44中间部位为空，升降电机的螺纹轴由支撑架44的中间伸出，与花篮下方的花篮卡紧机构42接触，将其顶起，提高花篮的高度。来料提升机4可与上道工序的生产线进行直接衔接，使生产线与碎片筛选装置之间的操作更连贯，生产连续性更高，自动化程度更高。
如图4、图5所示，还包括缓存提升机构6，与来料提升机4类似，缓存提升机构6与图像采集装置2之间设有机械手7，缓存提升机构6包括传送带61、花篮卡紧机构62、支撑架64和花篮提升机构63，传送带61架设在支撑架64上，花篮卡紧机构62设于传送带61上方，花篮提升机构63设于花篮卡紧机构62下方，机械手7与控制器电连接，缓存提升机构6与来料提升机4之间还设有横移机器人8，当上一工艺转运至来料提升机4的物料过多，而碎片筛选较慢时，可通过横移机器人8将承载花篮运至缓存提升机构6，在缓存提升机构6与图像采集装置2之间同样设有机械手7，可与来料提升机4上的硅片穿插进行图像采集，进行碎片筛选，碎片筛选效率高。
本实施例所述的一种硅片生产线上碎片筛选装置，工作人员无需到现场的每个工艺节点处监测筛选、挑拣硅片中的碎片，可在图像显示装置上同时监测多个工艺节点处的碎片情况，并对碎片进行挑拣，省时省力，效率高；设有来料提升机，可与上道工序的生产线进行直接衔接，使生产线与碎片筛选装置之间的操作更连贯，生产连续性更高，自动化程度更高；设有缓存提升装置，可缓存来料提升机无法及时处理的物料，并可与来料提升机穿插进行硅片的筛选，效率更高。
以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (6)
1.一种硅片生产线上碎片筛选装置，其特征在于：包括光源、图像采集装置、第一机械手、控制器、图像显示装置和碎片收集盒，所述图像采集装置设于所述光源附近，所述图像采集装置、所述第一机械手和所述图像显示装置分别与所述控制器电连接。
2.根据权利要求1所述的碎片筛选装置，其特征在于：还包括来料提升机，所述第一机械手设于所述来料提升机与所述图像采集装置之间，所述来料提升机包括第一传送带、第一花篮卡紧机构和第一花篮提升机构，所述第一花篮卡紧机构设于所述第一传送带上方，所述第一花篮提升机构设于所述第一花篮卡紧机构下方。
3.根据权利要求1所述的碎片筛选装置，其特征在于：还包括缓存提升机构，所述缓存提升机构与所述图像采集装置之间设有第二机械手，所述缓存提升机构包括第二传送带、第二花篮卡紧机构和第二花篮提升机构，所述第二花篮卡紧机构设于所述第二传送带上方，所述第二花篮提升机构设于所述第二花篮卡紧机构下方，所述第二机械手与所述控制器电连接。
4.根据权利要求2所述的碎片筛选装置，其特征在于：还包括缓存提升机构，所述缓存提升机构与所述图像采集装置之间设有第二机械手，所述缓存提升机构包括第二传送带、第二花篮卡紧机构和第二花篮提升机构，所述第二花篮卡紧机构设于所述第二传送带上方，所述第二花篮提升机构设于所述第二花篮卡紧机构下方，所述第二机械手与所述控制器电连接。
5.根据权利要求4所述的碎片筛选装置，其特征在于：所述缓存提升机构与所述来料提升机之间还设有横移机器人。
6.根据权利要求1或2所述的碎片筛选装置，其特征在于：所述光源上方设有支撑架。
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| CN201721238713.7U CN207385974U (zh) | 2017-09-26 | 2017-09-26 | 一种硅片生产线上碎片筛选装置 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110571164A (zh) * | 2018-06-05 | 2019-12-13 | 深圳市旭控科技有限公司 | 一种硅片生产流水线 |
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2017
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