CN207308094U - 全自动晶粒挑选机 - Google Patents

Abstract

全自动晶粒挑选机，包括机架、传送机构和筛选机构，所述传送机构和筛选机构分别设置在所述机架上，所述筛选机构设置在所述传送机构的顶部，与所述传送机构的传送方向相垂直；所述传送机构包括第一驱动机构、传送带和若干惰轮；本实用新型通过筛选机构实现晶圆上带有墨点晶粒的挑选；当带墨点的晶圆移动至与电磁板中心线重合的位置时，第二驱动机构启动，将电磁板移动至带墨点的晶圆的正上方，电磁板通电，产生磁场，将混有磁粉墨点的晶圆从晶圆上吸取下来，使其脱离晶圆。丝杆电机反转，将电磁板从晶圆的正上方移开，回到起始点，此时，电磁板断电，吸取的带磁粉墨点的晶粒从电磁板上脱落。本实用新型具有结构紧凑、提高不良晶粒挑选效率等特点。

Description

全自动晶粒挑选机

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉不良晶粒挑选机。

背景技术

在制造芯片的过程中有一道工序为挑选不良晶粒工序，目前由人工一颗一颗的挑出，由于每天芯片产出量很大，需要挑出的不良晶粒所耗费的人工巨大。不仅增加了生产企业的用功成本，而且产品的合格率得不到稳定的保证。

实用新型内容

本实用新型针对以上问题，提供了一种结构紧凑、提高不良晶粒挑选效率的全自动晶粒挑选机。

本实用新型的技术方案是：包括机架、传送机构和筛选机构，所述传送机构和筛选机构分别设置在所述机架上，所述筛选机构设置在所述传送机构的顶部，与所述传送机构的传送方向相垂直；

所述传送机构包括第一驱动机构、传送带和若干惰轮；若干所述惰轮平行活动设置在所述机架上，所述第一驱动机构与任一所述惰轮连接，所述传送带套设在若干所述惰轮上；

所述筛选机构包括支撑架、电磁板和第二驱动机构；所述支撑架通过机架固定设置在所述传送机构的顶部；所述第二驱动机构设置在所述机架上，所述电磁板通过第二驱动机构在所述支撑架上水平移动。

所述第一驱动机构包括第一电机、动力带轮和第一带轮；所述第一电机固定设置在所述机架上，所述第一带轮固定连接在所述第一电机的旋转轴上，所述动力带轮固定连接在所述惰轮的一侧，所述动力带轮通过第一动力带与所述第一带轮连接。

所述支撑架包括光轴、传动丝杆和一对架体；一对所述架体竖向固定设置在所述机架上，一对所述架体位于所述传送机构的两侧；所述传动丝杆和光轴分别设置在一对所述架体之间，位于所述传送机构的顶部；

所述第二驱动机构包括第二电机、第二带轮、第二动力带和丝杆动力带轮；

所述第二电机固定连接在所述机架上，所述第二带轮固定连接在所述第二电机的旋转轴上；所述丝杆动力带轮固定连接在所述传动丝杆的一端，所述第二带轮通过第二动力带与所述丝杆动力带轮连接，带动所述丝杆动力带轮旋转；

所述电磁板的一侧活动连接在所述传动丝杆上，另一侧套设在所述光轴上，通过所述传动丝杆的旋转使电磁板在一对所述架体之间水平移动。

所述支撑架包括一对光轴和一对架体；

一对所述架体竖向固定设置在所述机架上，一对所述架体位于所述传送机构的两侧；一对所述光轴分别固定设置在一对所述架体之间，位于所述传送机构的顶部；所述电磁板的两侧分别活动连接在相应的光轴上；

所述第二驱动机构包括第三电机、旋转杆和滑槽板；所述第三电机固定连接在所述机架上，所述滑槽板横向固定设置在所述电磁板的顶部，其长度方向上设有滑槽；所述旋转杆的一端固定连接在所述第三电机的旋转轴上，另一端通过卡柱活动设置在所述滑槽内。

所述支撑架包括一对光轴和一对架体；一对所述架体位于所述传送机构的两侧；一对所述光轴分别固定设置在一对所述架体之间，位于所述传送机构的顶部；所述电磁板的两侧分别活动连接在相应的光轴上；所述光轴上设有第一弹簧，位于架体；

所述第二驱动机构包括轴杆、牵引带、收带轮、旋转针、脱针架和第四电机；

所述脱针架固定设置在所述机架上；

所述收带轮活动连接在所述轴杆上；所述牵引带的一端与所述收带轮固定连接，另一端与所述电磁板固定连接；所述脱针架通过连接柱带动所述收带轮旋转；

所述轴杆通过一对轴承座与所述架体连接，所述第四电机固定连接在所述轴杆的一端，所述旋转针套设在所述轴杆上，远离所述第四电机一侧；所述旋转针在所述轴杆上可横向移动；远离所述第四电机一侧与所述旋转针之间设有第二弹簧；

所述脱针架机架固定设置在所述收带轮与旋转针之间，其靠近所述旋转针的一侧设有脱针机构。

所述脱针机构为伸缩缸或斜面向下设置的三角型块。

所述电磁板的底部设有适配的刮板，所述刮板固定连接在所述机架上。

所述传送机构的尾部设有收晶圆机构，所述收晶圆机构包括底座和料斗，所述料斗设置在所述底座的顶部面，所述底座固定设置在所述机架上。

所述收晶圆机构与筛选机构之间设有复检机构；

所述复检机构包括电动伸缩杆和呈U型的托盘；所述电动伸缩杆水平固定连接在机架上，位于晶圆的顶部位置；所述托盘水平设置固定连接在所述电动伸缩杆的前端；

所述传送带的两侧分别设有气缸，位于晶圆的下方。

按以下步骤：

1）、上料；将若干晶圆均布排列于传送带上；

2）、筛选；筛选机构对相应工位晶圆上的晶粒进行筛选，提取；

2.1）、电磁板移动；通过第二驱动机构移动至晶圆的顶部位置；

2.2）、电磁板通电；将混有磁粉墨点的晶粒从晶圆上吸取；

2.3）、电磁板复位；电磁板通过外力恢复到原位；

2.4）、电磁板失电；失电后，吸取的晶粒从电磁板上掉落；

3）、收集；筛选后的晶圆通过传送带传送尾部，进行收集。

本实用新型通过筛选机构实现晶圆上带有墨点晶粒的挑选；当带墨点的晶圆移动至与电磁板中心线重合的位置时，第二驱动机构启动，将电磁板移动至带墨点的晶圆的正上方，电磁板通电，产生磁场，将混有磁粉墨点的晶圆从晶圆上吸取下来，使其脱离晶圆。而后，丝杆电机反转，将电磁板从晶圆的正上方移开，回到起始点，此时，电磁板断电，吸取的带磁粉墨点的晶粒从电磁板上脱落。本实用新型具有结构紧凑、提高不良晶粒挑选效率等特点。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的结构示意图；

图2是图1中筛选机构的结构示意图；

图3是本实用新型实施例二的结构示意图；

图4是本实用新型实施例三的结构示意图；

图5是图4中第二驱动机构的右侧结构示意图；

图6是本实用新型实施例三的结构示意图；

图中1是机架，2是传送机构，21是第一驱动机构，211是第一电机，212是第一动力带，22是传送带，23是惰轮，3是筛选机构，

31是支撑架，32是电磁板，33是第二驱动机构，

311是光轴，312是传动丝杆，

3311是第二电机，3312是第二带轮，3313是第二动力带，3314是丝杆动力带轮，

3321是第三电机，3322是旋转杆，3323是滑槽板，3324是滑槽，

3331是第一弹簧，3332是轴杆，3333是牵引带，3334是收带轮，3335是旋转针，3336是脱针架，3337是第四电机，3338是脱针机构，3339是第二弹簧，

4是刮板，5是收晶圆机构，6是复检机构，61是电动伸缩杆，62是托盘，63是气缸，7是晶圆。

具体实施方式

实施例一

本实施例如图1-2所示，包括机架1、传送机构2和筛选机构3，所述传送机构2和筛选机构3分别设置在所述机架1上，所述筛选机构3设置在所述传送机构2的顶部，与所述传送机构2的传送方向相垂直；

所述传送机构2包括第一驱动机构21、传送带22和若干惰轮23；若干所述惰轮23平行活动设置在所述机架1上，所述第一驱动机构21与任一所述惰轮23连接，所述传送带22套设在若干所述惰轮23上；驱动机构带动若干中任一一只惰轮23旋转，传送带22涨紧设置在若干惰轮23上，通过与惰轮23之间的摩擦，实现传送带22的水平传输运动；第一驱动机构21优选设置在靠近传送带22的始端或者末端的惰轮23上；

所述筛选机构3包括支撑架31、电磁板32和第二驱动机构33；所述支撑架31通过机架1固定设置在所述传送机构2的顶部；所述第二驱动机构33设置在所述机架1上，电磁板32活动连接在支撑架31上，所述电磁板32通过第二驱动机构33在所述支撑架31上水平移动。

所述第一驱动机构21包括第一电机211、动力带轮和第一带轮；所述第一电机211固定设置在所述机架1上，所述第一带轮固定连接在所述第一电机211的旋转轴上，所述动力带轮固定连接在所述惰轮23的一侧，所述动力带轮通过第一动力带212与所述第一带轮连接。第一电机211旋转，带动旋转轴上的第一电机211带轮旋转，通过第一动力带212的传输，实现动力带轮的旋转，进一步实现了惰轮23的旋转，通过惰轮23与传送带22之间的摩擦，实现了传送带22的传输功能。

所述支撑架31包括光轴311、传动丝杆312和一对架体；一对所述架体竖向固定设置在所述机架1上，一对支架相对平行设置，一对所述架体位于所述传送机构2宽度方向的两侧；所述传动丝杆312和光轴311分别设置在一对所述架体之间，位于所述传送机构2的顶部；

所述第二驱动机构33包括第二电机3311、第二带轮3312、第二动力带3313和丝杆动力带轮3314；

所述第二电机3311固定连接在所述机架1上，所述第二带轮3312固定连接在所述第二电机3311的旋转轴上；所述丝杆动力带轮3314固定连接在所述传动丝杆312的一端，所述第二带轮3312通过第二动力带3313与所述丝杆动力带轮3314连接，带动所述丝杆动力带轮3314旋转；

所述电磁板32的一侧活动连接在所述传动丝杆312上，另一侧套设在所述光轴311上，通过所述传动丝杆312的旋转使电磁板32在一对所述架体之间水平移动。

第二电机3311旋转，通过固定连接的第二带轮3312，实现丝杆动力带轮3314的旋转，丝杆动力带轮3314固定套设在传动丝杆312上，进一步实现与之适配的电磁板32的水平位移。

所述电磁板32的底部设有适配的刮板4，所述刮板4固定连接在所述机架1上。刮板4的长度方向与传送机构2的传送方向相平行。

电磁板32回到起始点时，断电，可能会残留部分晶粒，电磁板32再次移动至带墨点晶圆7的正上方过程中，经过刮板4，将电磁板32上的残留刮下，提高吸取效率。

所述传送机构的尾部设有收晶圆机构5，所述收晶圆机构5包括底座和料斗，所述料斗设置在所述底座的顶部面，所述底座固定设置在所述机架1上。

按以下步骤：

1）、上料；将若干晶圆7均布排列于传送带22上；

2）、筛选；筛选机构3对相应工位晶圆7上的晶粒进行筛选，提取；

2.1）、电磁板32移动；通过第二驱动机构33移动至晶圆7的顶部位置；

2.2）、电磁板32通电；将混有磁粉墨点的晶粒从晶圆7上吸取；

2.3）、电磁板32复位；电磁板32通过外力恢复到原位；

2.4）、电磁板32失电；失电后，吸取的晶粒从电磁板32上掉落；

3）、收集；筛选后的晶圆7通过传送带22传送尾部，进行收集。

当带墨点的晶圆7移动至与电磁板32中心线重合的位置时，第二驱动机构33启动，将电磁板32移动至带墨点的晶圆7的正上方，电磁板32通电，产生磁场，将混有磁粉墨点的晶圆7从晶圆7上吸取下来，使其脱离晶圆7。而后，丝杆电机反转，将电磁板32从晶圆7的正上方移开，回到起始点，此时，电磁板32断电，吸取的带磁粉墨点的晶粒从电磁板32上脱落。

实施例二

本实施例如图3所示，所述支撑架31包括一对光轴311和一对架体；

一对所述架体竖向固定设置在所述机架1上，一对支架相对平行设置，一对所述架体位于所述传送机构2宽度方向的两侧；一对所述光轴311分别固定设置在一对所述架体之间，位于所述传送机构2的顶部；所述电磁板32的两侧分别活动连接在相应的光轴311上；

所述第二驱动机构33包括第三电机3321、旋转杆3322和滑槽板3323；所述第三电机3321固定连接在所述机架1上，所述滑槽板3323横向固定设置在所述电磁板32的顶部，其长度方向上设有与运动轨迹适配的滑槽3324；所述旋转杆3322的一端固定连接在所述第三电机3321的旋转轴上，另一端通过卡柱活动设置在所述滑槽3324内。

卡柱呈T型，横向端卡设在滑槽3324内，竖向端与旋转杆3322连接，防止运动过程中旋转杆3322与滑槽板3323脱离，造成运动失效。第三电机3321启动，第三电机3321的旋转轴带动固定连接的旋转杆3322旋转，第三电机3321优选步进电机，旋转角度为0°~180°之间，图中虚线部分是运动轨迹图；电磁板32在水平移动过程中，卡柱在卡槽内滑动。本实施例的结构简单，制造成本低。

实施例三

本实施例如图4所示，所述支撑架31包括一对光轴311和一对架体；一对支架相对平行设置，一对所述架体位于所述传送机构2宽度方向的两侧；一对所述光轴311分别固定设置在一对所述架体之间，位于所述传送机构2的顶部；所述电磁板32的两侧分别活动连接在相应的光轴311上；所述光轴311上设有第一弹簧3331，位于架体对电磁板32施加外力，可实现电磁板32在一对光轴311上滑动；优选两只光轴311上分别设有第一弹簧3331，提高电磁板32移动的稳定性；

所述第二驱动机构33包括轴杆3332、牵引带3333、收带轮3334、旋转针3335、脱针架3336和第四电机3337；

所述脱针架3336固定设置在所述机架1上；

所述收带轮3334活动连接在所述轴杆3332上；所述牵引带3333的一端与所述收带轮3334固定连接，另一端与所述电磁板32固定连接；所述脱针架3336通过连接柱带动所述收带轮3334旋转；

所述轴杆3332通过一对轴承座与所述架体连接，所述第四电机3337固定连接在所述轴杆3332的一端，所述旋转针3335套设在所述轴杆3332上，远离所述第四电机3337一侧；所述旋转针3335在所述轴杆3332上可横向移动；远离所述第四电机3337一侧与所述旋转针3335之间设有第二弹簧3339；旋转针3335用于连接轴杆3332的套孔内设有凹槽，轴杆3332上设有与凹槽适配的凸起，限制旋转针3335只能在轴杆3332的轴向方向移动，通过第二弹簧3339的弹力将旋转针3335限制在轴杆3332上，防止第四电机3337旋转时，旋转针3335出现串位现象。

所述脱针架3336机架1固定设置在所述收带轮3334与旋转针3335之间，其靠近所述旋转针3335的一侧设有脱针机构3338。

第四电机3337带动轴杆3332旋转，带动旋转针3335转动，旋转针3335通过连接柱带动收带轮3334旋转，收带轮3334上的牵引带3333缠绕于收带轮3334的外侧，进而拉动电磁板32，电磁板32克服第一弹簧3331的阻力向前运动；当旋转针3335碰触脱针机构3338时，旋转针3335与收带轮3334之间连接关系失效，第一弹簧3331恢复原状，将电磁板32移动至原位；收带轮3334上连接柱设置的个数和若干连接柱之间的间距根据电磁板32位移长度和工艺需求定制。

所述脱针机构3338为伸缩缸或斜面向下设置的三角型块。

脱针机构3338为伸缩缸时，即连接柱为伸缩缸的活塞杆，需脱针架3336与收带轮3334之间连接失效时，活塞杆收回；脱针机构3338为斜面向下设置的三角型块时，旋转针3335通过斜面时，斜面呈下小上大型，即旋转针3335压缩第二弹簧3339与连接柱逐渐脱离。

实施例四

本实施例如图5所示，所述收晶圆机构5与筛选机构3之间设有复检机构6；

所述复检机构6包括电动伸缩杆61和呈U型的托盘62；所述电动伸缩杆61水平固定连接在机架1上，位于晶圆7的顶部位置；所述托盘62水平设置固定连接在所述电动伸缩杆61的前端；

所述传送带22宽度方向的两侧分别设有气缸63，位于晶圆7的下方。

监控设备或者检测人员监控到筛选后的晶圆7还残留带墨点的晶粒时，手动启动复检机构6，传送带22宽度方向两侧的气缸63同时动作，将残留墨点的晶圆7顶起，托盘62通过电动伸缩杆61向前伸出，位于晶圆7的下方，气缸63收回，晶圆7放置于托盘62之上，电动伸缩杆61缩回，通过人工或者吸盘将带有残留墨点的晶圆7送至人工分拣区。

Claims (9)

1.全自动晶粒挑选机，其特征在于，包括机架、传送机构和筛选机构，所述传送机构和筛选机构分别设置在所述机架上，所述筛选机构设置在所述传送机构的顶部，与所述传送机构的传送方向相垂直；

所述传送机构包括第一驱动机构、传送带和若干惰轮；若干所述惰轮平行活动设置在所述机架上，所述第一驱动机构与任一所述惰轮连接，所述传送带套设在若干所述惰轮上；

所述筛选机构包括支撑架、电磁板和第二驱动机构；所述支撑架通过机架固定设置在所述传送机构的顶部；所述第二驱动机构设置在所述机架上，所述电磁板通过第二驱动机构在所述支撑架上水平移动。

2.根据权利要求1所述的全自动晶粒挑选机，其特征在于，所述第一驱动机构包括第一电机、动力带轮和第一带轮；所述第一电机固定设置在所述机架上，所述第一带轮固定连接在所述第一电机的旋转轴上，所述动力带轮固定连接在所述惰轮的一侧，所述动力带轮通过第一动力带与所述第一带轮连接。

3.根据权利要求1所述的全自动晶粒挑选机，其特征在于，所述支撑架包括光轴、传动丝杆和一对架体；一对所述架体竖向固定设置在所述机架上，一对所述架体位于所述传送机构的两侧；所述传动丝杆和光轴分别设置在一对所述架体之间，位于所述传送机构的顶部；

所述第二驱动机构包括第二电机、第二带轮、第二动力带和丝杆动力带轮；

所述第二电机固定连接在所述机架上，所述第二带轮固定连接在所述第二电机的旋转轴上；所述丝杆动力带轮固定连接在所述传动丝杆的一端，所述第二带轮通过第二动力带与所述丝杆动力带轮连接，带动所述丝杆动力带轮旋转；

所述电磁板的一侧活动连接在所述传动丝杆上，另一侧套设在所述光轴上，通过所述传动丝杆的旋转使电磁板在一对所述架体之间水平移动。

4.根据权利要求1所述的全自动晶粒挑选机，其特征在于，所述支撑架包括一对光轴和一对架体；

一对所述架体竖向固定设置在所述机架上，一对所述架体位于所述传送机构的两侧；一对所述光轴分别固定设置在一对所述架体之间，位于所述传送机构的顶部；所述电磁板的两侧分别活动连接在相应的光轴上；

所述第二驱动机构包括第三电机、旋转杆和滑槽板；所述第三电机固定连接在所述机架上，所述滑槽板横向固定设置在所述电磁板的顶部，其长度方向上设有滑槽；所述旋转杆的一端固定连接在所述第三电机的旋转轴上，另一端通过卡柱活动设置在所述滑槽内。

5.根据权利要求1所述的全自动晶粒挑选机，其特征在于，所述支撑架包括一对光轴和一对架体；一对所述架体位于所述传送机构的两侧；一对所述光轴分别固定设置在一对所述架体之间，位于所述传送机构的顶部；所述电磁板的两侧分别活动连接在相应的光轴上；所述光轴上设有第一弹簧，位于架体；

所述第二驱动机构包括轴杆、牵引带、收带轮、旋转针、脱针架和第四电机；

所述脱针架固定设置在所述机架上；

所述收带轮活动连接在所述轴杆上；所述牵引带的一端与所述收带轮固定连接，另一端与所述电磁板固定连接；所述脱针架通过连接柱带动所述收带轮旋转；

所述轴杆通过一对轴承座与所述架体连接，所述第四电机固定连接在所述轴杆的一端，所述旋转针套设在所述轴杆上，远离所述第四电机一侧；所述旋转针在所述轴杆上可横向移动；远离所述第四电机一侧与所述旋转针之间设有第二弹簧；

所述脱针架、机架固定设置在所述收带轮与旋转针之间，其靠近所述旋转针的一侧设有脱针机构。

6.根据权利要求5所述的全自动晶粒挑选机，其特征在于，所述脱针机构为伸缩缸或斜面向下设置的三角型块。

7.根据权利要求1所述的全自动晶粒挑选机，其特征在于，所述电磁板的底部设有适配的刮板，所述刮板固定连接在所述机架上。

8.根据权利要求1所述的全自动晶粒挑选机，其特征在于，所述传送机构的尾部设有收晶圆机构，所述收晶圆机构包括底座和料斗，所述料斗设置在所述底座的顶部面，所述底座固定设置在所述机架上。

9.根据权利要求8所述的全自动晶粒挑选机，其特征在于，所述收晶圆机构与筛选机构之间设有复检机构；

所述复检机构包括电动伸缩杆和呈U型的托盘；所述电动伸缩杆水平固定连接在机架上，位于晶圆的顶部位置；所述托盘水平设置固定连接在所述电动伸缩杆的前端；

所述传送带的两侧分别设有气缸，位于晶圆的下方。