CN207198869U - 测试辅助装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种测试辅助装置，包括：测试板、载盘以及与光源相连接的动力机构；动力机构与载盘固定连接，用于带动载盘相对于光源进行移动/转动；载盘的至少一部分设置于光源的下端，包括多个可用于承载不同调节件的调节区域，调节件用于调节穿过载盘的光线强度；测试板设置于载盘的下端，且与光源的位置相对应，测试板上设置有用于供光线穿过的通孔；测试板电连接有待测件，待测件设置于测试板的下方，用于接收穿过通孔的光线，以通过测试板对待测件进行测试。本实用新型提供的测试辅助装置，实现了在进行CP/FT测试中的不同Chart测试时，可采用同一个装置即可实现，有效地简化了测试流程，节约了测试成本，提高了测试效率。

Description

测试辅助装置

技术领域

本实用新型实施例涉及测试设备技术领域，尤其涉及一种测试辅助装置。

背景技术

随着科学技术的飞速发展，传感器技术不断成熟，并且，传感器的应用领域和种类也越来越广多，其中，应用领域可以涉及工业、汽车、电子产品和零售自动化等等；而对于传感器的种类而言，通常根据传感器的基本感知功能可以分为热敏、光敏、气敏、力敏元件、磁敏、湿敏、声敏、放射线敏感、色敏和味敏等十大类型。

其中，指纹传感器作为一种应用较为广泛的传感器，可以实现指纹的自动采集；而指纹传感器的制造技术是一项综合性强、技术复杂度高、制造工艺难的高新技术。尤其是对于光学指纹传感器而言，CP/FT测试是光学指纹传感器产品必备的生产流程，而Chart测试(图案质量测试)是其中一个重要环节，目前，在进行不同的Chart测试时，需要利用不同的测试装置来实现，从而增加了测试流程的复杂程度，并且也提高了测试成本。

实用新型内容

本实用新型提供了一种测试辅助装置，针对现有技术中存在的在进行不同的Chart测试时，需要利用不同的测试装置来实现，从而增加了测试流程的复杂程度，并且也提高了测试成本的问题。

本实用新型提供了一种测试辅助装置，包括：测试板、载盘以及与光源相连接的动力机构；

所述动力机构与所述载盘固定连接，用于带动所述载盘相对于所述光源进行移动/转动；

所述载盘的至少一部分设置于所述光源的下端，包括多个可用于承载不同调节件的调节区域，所述调节件用于调节穿过所述载盘的光线强度；

所述测试板设置于所述载盘的下端，且与所述光源的位置相对应，所述测试板上设置有用于供光线穿过的通孔；所述测试板电连接有待测件，所述待测件设置于所述测试板的下方，用于接收穿过所述通孔的光线，以通过所述测试板对所述待测件进行测试。

进一步的，所述测试板上设置有探针，所述待测件上设置有接触点，所述探针与所述接触点相接触。

进一步的，所述动力机构通过传动机构与所述光源相连接。

进一步的，所述传动机构包括第一滑动部件，所述动力机构通过所述第一滑动部件相对于所述光源可进行上下左右移动。

进一步的，所述传动机构包括第二滑动部件，所述动力机构通过所述第二滑动部件相对于所述光源可进行上下移动。

进一步的，所述传动机构还包括与所述第二滑动部件相连接的伸缩部件，所述伸缩部件用于调整所述动力机构与所述光源之间的距离。

进一步的，所述装置还包括遮光罩，所述遮光罩内设置有容纳腔，所述容纳腔用于容置所述测试板、载盘以及与光源相连接的动力机构。

进一步的，所述动力机构包括以下至少之一：电机、丝杠、蜗轮蜗杆。

进一步的，所述电机包括壳体，所述伸缩部件与所述壳体相连接。

进一步的，所述电机还包括设置于壳体内部的输出轴，所述输出轴与所述载盘固定连接。

进一步的，所述电机还包括设置于壳体上端的电机控制线，所述电机控制线用于接收驱动所述电机进行转动的控制信号。

进一步的，所述动力机构与所述载盘的中心位置固定连接。

进一步的，所述载盘为超薄玻璃。

进一步的，所述调节件粘贴在所述载盘的上方。

进一步的，所述测试板为PCB板，所述PCB板电连接有测试机。

进一步的，所述调节件包括以下至少之一：预设图案、衰减片。

进一步的，所述待测件包括晶圆。

本实用新型提供的测试辅助装置，通过设置的包括多个调节区域的载盘，并且调节区域可用于承载不同的调节件，通过动力机构带动载盘相对于光源进行移动/转动，可以有效地实现载盘上不同的调节区域可以设置于光源的下端，从而对待测件可以进行不同光线强度的性能测试，实现了采用同一个装置即可完成在进行CP测试/FT测试中的不同Chart测试，有效地简化了测试流程，并且节约了测试成本，提高了测试效率，有效地保证了该测试辅助装置的实用性，有利于市场的推广与应用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的一种测试辅助装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的又一种测试辅助装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的载盘的结构示意图。

图中：

1、光源； 2、传动机构；

31、第一滑动部件； 32、第二滑动部件；

4、伸缩部件； 5、电机控制线；

6、动力机构； 7、载盘；

8、测试板； 9、待测件；

10、遮光罩； 11、容纳腔；

12、壳体； 13、输出轴。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

在本实用新型中，术语“安装”、“连接”、“固定”等术语均应广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

下面结合附图，对本实用新型的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特性可以相互组合。

为了更加清楚地了解本申请的技术方案，下面对CP测试和FT测试进行简要说明：

CP测试，Circuit Probing测试，又称晶圆测试，是指对晶片上的每个晶粒进行针测，在检测头装上以金线制成细如毛发之探针(probe)，与晶粒上的接点(pad)接触，测试其电气特性，不合格的晶粒会被标上记号，而后当晶片依晶粒为单位切割成独立的晶粒时，标有记号的不合格晶粒会被洮汰，不再进行下一个制程，以免徒增制造成本。

晶圆测试是为了以下三个目标：第一，在晶圆送到封装工厂之前，鉴别出合格的芯片；第二，器件/电路的电性参数进行特性评估。工程师需要监测参数的分布状态来保持工艺的质量水平；第三，芯片的合格品与不良品的核算会给晶圆生产人员提供全面业绩的反馈。

FT测试是在CP测试通过之后，对封装好的chip来进行测试，目的是要把损坏的chip筛选出来。

Chart测试：在光源与Senser之间插入Chart(图案)，以实现图案质量测试。

图1为本实用新型实施例提供的一种测试辅助装置的结构示意图；结合上述陈述内容，参考附图1所示，本实施例提供了一种测试辅助装置，该测试辅助装置用于在进行CP测试/FT测试中的不同Chart测试时，简化测试流程，节约测试成本，具体的，该测试辅助装置包括：测试板8、载盘7以及与光源1相连接的动力机构6；

动力机构6与载盘7固定连接，用于带动载盘7相对于光源1进行移动/转动；光源1为可以发固定光强度的光的装置结构，例如，电灯。

其中，本实施例对于动力机构6的具体形状结构不做限定，本领域技术人员可以根据具体的设计需求进行设置，例如，动力机构6可以包括以下至少之一：电机、丝杠、蜗轮蜗杆。具体的，当动力机构6为电机时，通过该动力机构6与载盘7固定连接，可以带动载盘7相对于光源1进行转动，从而使载盘7处于光源1和测试板8之间的理想位置；当动力机构6为丝杠或者蜗轮蜗杆时，通过该动力机构6与载盘7固定连接，可以带动载盘7相对于光源1进行移动，从而使载盘7处于光源1和测试板8之间的理想位置。

载盘7的至少一部分设置于光源1的下端，包括多个可用于承载不同调节件的调节区域，调节件用于调节穿过载盘7的光线强度；

另外，本实施例对于载盘7的具体形状结构不做限定，本领域技术人员可以根据光源1的大小以及待测件9同测数的多少进行选择、设置，例如，对于载盘7的具体形状而言，可以将载盘7设置为矩形结构、圆形结构、椭圆形结构、三角形结构等等，只要能够使得载盘7上可以设置有多个调节区域即可；此外，本实施例中调节区域的数量可以根据具体的设计需求进行设置，例如，可以将调节区域设置为3个、4个、5个、6个或者更多等等，需要注意的是，为了满足不同Chart测试的需求，该载盘7上设置有至少两个调节区域；进一步的，各个调节区域的大小可以相同或不同，由于动力机构6可以带动载盘7相对于光源1进行移动/转动，此时，为了方便对载盘7进行控制与调节，可以将载盘7设置为如图3所示的方形结构，此时，方形结构的载盘7上对称设置有4个调节区域，分别为调节区域a、调节区域b、调节区域c以及调节区域d，上述的四个调节区域的大小相同；当然的，本领域技术人员还可以根据具体的设计需求对调节区域的数量以及大小进行任意设置，并不限于上述举例说明。

此外，对于载盘7以及调节件的具体材质不做限定，本领域技术人员可以根据具体的设计需求进行设置，其中，对于载盘7而言，由于光源1所发出的光线可以穿过载盘7，因此，该载盘7需要由透光材料构成，较为优选的，该载盘7可以为超薄玻璃，其中，超薄玻璃一般是指0.1～1.1mm厚度的玻璃，这样可以有效地保证光线穿过载盘7的质量和效率；而对于调节件而言，该调节件用于调节穿过载盘7的光线强度，因此，本领域技术人员可以根据其实现的功能作用对其进行任意设置，较为优选的，该调节件可以包括以下至少之一：预设图案、衰减片。需要注意的是，在载盘7的不同调节区域上，可以设置有不同的调节件，并且，调节件可以设置于在载盘7的上方或者下方；然而，为了避免载盘7厚度影响调节件对光线强度进行调整的效果，较为优选的，调节件可以粘贴在载盘7的上方。

进一步的，参考附图3所示，在载盘7上设置有调节区域a、调节区域b、调节区域c以及调节区域d四个调节区域，若需要在上述各个调节区域内设置调节件，那么，可以将调节区域a上设置有第一预设图案，在调节区域b上设置有第一衰减片，在调节区域c上设置有第二预设图案，在调节区域d上设置有第二衰减片，其中，第一预设图案与第二预设图案不同，并且调节光线强度的能力不同；第一衰减片与第二衰减片不同，并且调节光线强度的能力不同；从而可以实现对待测件9的性能进行精确、有效地测试，提高了测试的精确度。

测试板8设置于载盘7的下端，且与光源1的位置相对应，测试板8上设置有用于供光线穿过的通孔；测试板8电连接有待测件9，待测件9设置于测试板8的下方，用于接收穿过通孔的光线，以通过测试板8对待测件9进行测试。

其中，测试板8可以接收到光源1所发出的光线，并且，接收到的光线可以穿过通孔照射到待测件9上，使得待测件9可以接收到穿过通孔的光线，进而可以测试板8对待测件9的性能进行测试。具体应用时，该测试板8可以为具有存储器的功能板，该存储器中可以存储有测试程序；或者，该测试板8也可以为PCB板，该PCB板可以电连接有测试机，测试机中存储有测试程序，以通过测试程序实现对待测件9性能的测试；另外，对于测试件而言，可以为晶圆或者晶片等等，进一步的，测试板8与待测件9电连接的实现方式可以为：测试板8上设置有探针，待测件9上设置有接触点，探针与接触点相接触。这样可以有效地实现对待测件9的性能进行准确、有效地测试。

本实施例提供的测试辅助装置，通过设置的包括多个调节区域的载盘7，并且调节区域可用于承载不同的调节件，通过动力机构6带动载盘7相对于光源1进行移动/转动，可以有效地实现载盘7上不同的调节区域可以设置于光源1的下端，从而对待测件9可以进行不同光线强度的性能测试，实现了采用同一个装置即可完成在进行CP测试/FT测试中的不同Chart测试，有效地简化了测试流程，并且节约了测试成本，提高了测试效率，有效地保证了该测试辅助装置的实用性，有利于市场的推广与应用。

在上述实施例的基础上，继续参考附图1可知，本实施例对于动力机构6与光源1的连接方式不做限定，本领域技术人员可以根据具体的设计需求进行设置，较为优选的，该动力机构6可以通过传动机构2与光源1相连接。

其中，对于传动机构2的具体结构而言，一种可实现的方式为：参考附图1所示，该传动结构可以包括第一滑动部件31，动力机构6通过第一滑动部件31相对于光源1可进行上下左右移动。

具体的，该第一滑动部件31可以包括上下滑道、左右滑道以及设置于上述滑道中的滑块，当需要利用第一滑动部件31实现动力机构6与光源1的上下移动时，可以将滑块通过左右锁止机构在左右滑道上进行锁定，使得滑块不能在左右滑道上移动，只能在上下滑道上进行移动；当需要利用第一滑动部件31实现动力机构6与光源1的左右移动时，可以将滑块通过上下锁止机构在上下滑道上进行锁定，使得该滑块不能在上下滑道上进行移动，只能在左右滑道上进行移动。此时，可以对动力机构6与光源1之间的远近距离以及上下位置进行调节，这样使得该测试辅助装置可以适用于不同结构类型、不同尺寸的光源1结构。当然的，本领域技术人员还可以将第一滑动部件31设置为其他具体结构，只要能够使得该动力机构6可以通过第一滑动部件31相对于光源1进行上下左右移动即可，在此不再赘述。

此外，对于传动机构2的具体结构而言，还存在另一种可实现的方式，参考附图2所示，具体的，该传动机构2可以包括第二滑动部件32，动力机构6通过第二滑动部件32相对于光源1可进行上下移动。

具体的，该第二滑动部件32可以包括上下滑道以及设置于滑道内的滑块，通过滑块在上下滑道内进行滑动即可实现动力机构6与光源1之间的上下移动。此时，通过设置的传动结构，可以有效地对动力机构6与光源1之间的上下位置进行调节，从而可以使得该测试辅助装置可以适用于不同高度尺寸的光源1结构。

为了进一步提高该测试辅助装置的适用范围，继续参考附图2可知，该传动机构2还可以包括与第二滑动部件32相连接的伸缩部件4，伸缩部件4用于调整动力机构6与光源1之间的距离。

其中，伸缩部件4可以为弹簧或者其他具有伸缩功能的装置；通过设置的伸缩部件4和第二滑动部件32，可以有效地实现对动力机构6与光源1之间的远近距离以及上下位置进行调节。

通过设置的传动机构2，具体的，该传动机构2可以包括可在垂直方向进行调节的第二滑动部件32和可在水平方向进行调节的伸缩部件4，通过垂直和水平方向的调整，使得该测试辅助装置可以兼容不同光源1型号、不同尺寸的产品测试，进一步提高了该测试辅助装置的适用范围。

在上述任意一个实施例的基础上，继续参考附图1或2可知，本实施例对于动力机构6与伸缩部件4、载盘7的具体连接方式不做限定，本领域技术人员可以根据具体的设计需求进行设置，其中，在动力机构6为电机时，该电机可以包括壳体12，伸缩部件4可以直接与壳体12相连接。进一步的，对于动力机构6与载盘7的连接方式而言，动力机构6可以与载盘7的中心位置固定连接。具体的，在动力机构6为电机时，电机还可以包括设置于壳体12内部的输出轴13，输出轴13与载盘7固定连接；进一步的，电机的输出轴13与载盘7的中心位置固定连接。在具体应用时，电机还可以包括设置于壳体12上端的电机控制线5，电机控制线5用于接收驱动电机进行转动的控制信号。

在测试过程中，光源1可以发出固定强度的光，在电机控制线5接收到控制信号之后，驱动输出轴13进行旋转，从而使得输出轴13带动与输出轴13固定连接的载盘7进行转动，而电机的外壳保持固定不动，从而实现了电机带动载盘7相对于光源1进行转动的操作，此时，载盘7转动可以到光源1下方的一定位置处，具体的，可以使得载盘7的调节区域a/b/c/d中的至少一个根据需要停留在光源1的正下方，光源1发射的光透过载盘7、测试板8上的通孔之后照射到待测件9的表面，通过与待测件9相连接的测试板8可以实现对待测件9性能的测试。其中，当电机需要连接不同结构类型的光源1或者调整光源1与电机之间的相对位置时，可以通过伸缩装置和/或第二滑动部件32进行调节，从而有效地提高了该测试辅助装置使用的方便可靠性。

需要注意的是，在载盘7的调节区域根据需求停留在光源1与测试板8之间时，可根据测试需求在载盘7上设置有预设图案Chart或者衰减片等。当选择不同透光率的衰减片，在选定固定光强的光源1时能够提供不同强度的光，满足实际测试中切换光强的需求；而在载盘7上设置预设图案时，可以将有Chart的测试结果与无Chart情况下的测试结果进行对比，这在光学指纹传感器的测试中有着非常重要的作用。

进一步的，在上述任意一个实施例的基础上，继续参考附图1或2可知，在对待测件9的性能进行测试时，为了进一步提高测试的精确程度，该测试辅助装置还可以包括遮光罩10，该遮光罩10可以为圆形或者椭圆形结构，并且，该遮光罩10内设置有容纳腔11，容纳腔11用于容置测试板8、载盘7以及与光源1相连接的动力机构6。通过设置的遮光罩10，可以使得测试过程在暗室中进行，避免外界自然光的干扰，进一步提高了测试的准确性。

本申请提供的测试辅助装置，结构简单，制作成本低，通用性能强，配置灵活，可应用于CP/FT测试，并可以提供多种Chart、衰减片等切换，在保证了对待测件9的性能进行精确测试的基础上，还有效地提高了该测试辅助装置的实用性，有利于市场的推广与应用。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (16)

1.一种测试辅助装置，其特征在于，包括：测试板、载盘以及与光源相连接的动力机构；

所述动力机构与所述载盘固定连接，用于带动所述载盘相对于所述光源进行移动/转动；

所述载盘的至少一部分设置于所述光源的下端，包括多个可用于承载不同调节件的调节区域，所述调节件用于调节穿过所述载盘的光线强度；

所述测试板设置于所述载盘的下端，且与所述光源的位置相对应，所述测试板上设置有用于供光线穿过的通孔；所述测试板电连接有待测件，所述待测件设置于所述测试板的下方，用于接收穿过所述通孔的光线，以通过所述测试板对所述待测件进行测试。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述测试板上设置有探针，所述待测件上设置有接触点，所述探针与所述接触点相接触。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述动力机构通过传动机构与所述光源相连接。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述传动机构包括第一滑动部件，所述动力机构通过所述第一滑动部件相对于所述光源可进行上下左右移动。

5.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述传动机构包括第二滑动部件，所述动力机构通过所述第二滑动部件相对于所述光源可进行上下移动。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述传动机构还包括与所述第二滑动部件相连接的伸缩部件，所述伸缩部件用于调整所述动力机构与所述光源之间的距离。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括遮光罩，所述遮光罩内设置有容纳腔，所述容纳腔用于容置所述测试板、载盘以及与光源相连接的动力机构。

8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述动力机构包括以下至少之一：电机、丝杠、蜗轮蜗杆。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述电机包括壳体，所述伸缩部件与所述壳体相连接。

10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述电机还包括设置于壳体内部的输出轴，所述输出轴与所述载盘固定连接。

11.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述电机还包括设置于壳体上端的电机控制线，所述电机控制线用于接收驱动所述电机进行转动的控制信号。

12.根据权利要求1-11中任意一项所述的装置，其特征在于，所述动力机构与所述载盘的中心位置固定连接。

13.根据权利要求1-11中任意一项所述的装置，其特征在于，所述载盘为超薄玻璃。

14.根据权利要求1-11中任意一项所述的装置，其特征在于，所述调节件粘贴在所述载盘的上方。

15.根据权利要求1-11中任意一项所述的装置，其特征在于，所述测试板为PCB板，所述PCB板电连接有测试机。

16.根据权利要求1-11中任意一项所述的装置，其特征在于，所述调节件包括以下至少之一：预设图案、衰减片。