CN207183231U - 一种高效固晶装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高效固晶装置，包括底座，底座上设有两根竖杆，两根竖杆之间设有控制板，控制板的左右两端侧壁分别与两根竖杆的侧壁连接，控制板内设有腔室，腔室的前端侧壁上设有内外连通的通孔，且通孔内贯穿设有转动杆，转动杆位于腔室内的一端上套接有齿轮，转动杆位于腔室外的一端上套接有棘轮，控制板的前端侧壁上转动连接有压片，压片位于棘轮的正上方，且压片的下端与棘轮相抵接触，腔室底部滑动连接有两块控制块，两块控制块分别设置在转动杆左右两侧的腔室内，两块控制块的相对侧壁上均连接有移动板，本实用新型不仅能有效提高固晶装置的效率，而且还能适用于不同型号基板上的点胶。

Description

一种高效固晶装置

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种高效固晶装置。

背景技术

随着半导体技术的进步，使得半导体组件的应用越来越广泛，连带使得晶粒的适使用增加，对于晶粒的取放一般使用业界称为黏晶机的固晶装置，半导体固晶装置在进行作时需要将固晶用的物料通过上料装置输送至相应位置后，由机械手将晶圆拾起后精确地将晶圆放置在键合的位置，进行后序键合操作，其中包括就需要使用点胶机构，现有的固晶装置上都为单个点胶机构，使得工作效率低下。

发明内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的工作效率低下缺点，而提出的一种高效固晶装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种高效固晶装置，包括底座，所述底座上设有两根竖杆，两根所述竖杆之间设有控制板，所述控制板的左右两端侧壁分别与两根竖杆的侧壁连接，所述控制板内设有腔室，所述腔室的前端侧壁上设有内外连通的通孔，且通孔内贯穿设有转动杆，所述转动杆位于腔室内的一端上套接有齿轮，所述转动杆位于腔室外的一端上套接有棘轮，所述控制板的前端侧壁上转动连接有压片，所述压片位于棘轮的正上方，且压片的下端与棘轮相抵接触，所述腔室底部滑动连接有两块控制块，两块所述控制块分别设置在转动杆左右两侧的腔室内，两块所述控制块的相对侧壁上均连接有移动板，两块所述移动板分别设置在转动杆上下两侧的腔室内，两块所述移动板的相对侧壁上均设有齿条，且齿条与齿轮啮合，两块所述控制块上均设有左右连通的通道，且其中一块控制块上的通道与另一块控制块上的移动板处于同一水平面，两块所述控制块的上端均竖直设有支撑杆，所述支撑杆的上端穿过腔室的顶面并延伸至控制板的上方，所述支撑杆的上端连接有连接板，所述连接板的下端连接有点胶机构，且点胶机构设置于连接板远离控制板的一端上，所述底座上设有传送带，且传送带位于点胶机构的正下方。

优选地，所述转动杆靠近棘轮的一端上连接有手轮。

优选地，所述腔室的底部水平设有滑槽，所述滑槽内设有两块滑块，两块所述滑块的上端与分别与两块控制块的下端连接。

优选地，所述腔室的左右两端内壁均水平连接有伸缩杆，所述伸缩杆远离腔室内壁的一端与控制块的侧壁连接。

优选地，所述腔室的顶面设有槽口，两根所述的支撑杆均贯穿至槽口内。

本实用新型中，通过两个点胶结构对传送带上输送的基板进行点胶，能有效的提高固晶装置的工作效率，有效的降低企业的生产成本，转动手轮能带动控制块移动，继而能调节两根点胶机构之间的距离，使得两个点胶结构能对不同型号的基板进行点胶，扩大固晶装置的使用范围，便于推广利用。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种高效固晶装置的透视图；

图2为图1中的A出局部放大图；

图3为图1的正面结构示意图。

图中：1底座、2竖杆、3控制板、4腔室、5转动杆、6齿轮、7压片、8控制块、9移动板、10齿条、11通道、12支撑杆、13连接板、14点胶机构、15传送带、16棘轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-3，一种高效固晶装置，包括底座1，底座1上设有两根竖杆2，两根竖杆2之间设有控制板3，控制板3的左右两端侧壁分别与两根竖杆2的侧壁连接，控制板3内设有腔室4，腔室4的前端侧壁上设有内外连通的通孔，且通孔内贯穿设有转动杆5，转动杆5位于腔室4内的一端上套接有齿轮6，转动杆5位于腔室4外的一端上套接有棘轮16，转动杆5靠近棘轮16的一端上连接有手轮，便于转动转动杆5，控制板3的前端侧壁上转动连接有压片7，压片7位于棘轮16的正上方，且压片7的下端与棘轮16相抵接触。

腔室4底部滑动连接有两块控制块8，腔室4的底部水平设有滑槽，滑槽内设有两块滑块，两块滑块的上端与分别与两块控制块8的下端连接，便于控制块8在腔室4内滑动，两块控制块8分别设置在转动杆5左右两侧的腔室4内，两块控制块8的相对侧壁上均连接有移动板9，两块移动板9分别设置在转动杆5上下两侧的腔室4内，两块移动板9的相对侧壁上均设有齿条10，且齿条10与齿轮6啮合，两块控制块8上均设有左右连通的通道11，当移动板9位于通道11内时，能有效扩大两个点胶机构14之间距离的调节范围，且其中一块控制块8上的通道11与另一块控制块8上的移动板9处于同一水平面。

腔室4的左右两端内壁均水平连接有伸缩杆，伸缩杆远离腔室4内壁的一端与控制块8的侧壁连接，伸缩杆对控制块8进行限位，防止控制块8与齿轮6接触，两块控制块8的上端均竖直设有支撑杆12，支撑杆12的上端穿过腔室4的顶面并延伸至控制板3的上方，腔室4的顶面设有槽口，两根的支撑杆12均贯穿至槽口内，便于支撑杆12移动，支撑杆12的上端连接有连接板13，连接板13的下端连接有点胶机构14，点胶机构14为现有技术，在此不做赘述，且点胶机构14设置于连接板13远离控制板3的一端上，底座1上设有传送带15，且传送带15位于点胶机构14的正下方。

本实用新型中，两个点胶结构14同时对传送带15上的基板进行点胶，能有效提高固晶装置的工作效率，转动手轮带动转动杆5转动，则带动齿轮6转动，由于齿轮6与齿条10啮合，则带动移动板9移动，使得控制块8在腔室4内滑动，通过连接板13带动点胶机构14在水平方向上移动，能有效的调节两个点胶机构14之间的距离。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种高效固晶装置，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）上设有两根竖杆（2），两根所述竖杆（2）之间设有控制板（3），所述控制板（3）的左右两端侧壁分别与两根竖杆（2）的侧壁连接，所述控制板（3）内设有腔室（4），所述腔室（4）的前端侧壁上设有内外连通的通孔，且通孔内贯穿设有转动杆（5），所述转动杆（5）位于腔室（4）内的一端上套接有齿轮（6），所述转动杆（5）位于腔室（4）外的一端上套接有棘轮（16），所述控制板（3）的前端侧壁上转动连接有压片（7），所述压片（7）位于棘轮（16）的正上方，且压片（7）的下端与棘轮（16）相抵接触，所述腔室（4）底部滑动连接有两块控制块（8），两块所述控制块（8）分别设置在转动杆（5）左右两侧的腔室（4）内，两块所述控制块（8）的相对侧壁上均连接有移动板（9），两块所述移动板（9）分别设置在转动杆（5）上下两侧的腔室（4）内，两块所述移动板（9）的相对侧壁上均设有齿条（10），且齿条（10）与齿轮（6）啮合，两块所述控制块（8）上均设有左右连通的通道（11），且其中一块控制块（8）上的通道（11）与另一块控制块（8）上的移动板（9）处于同一水平面，两块所述控制块（8）的上端均竖直设有支撑杆（12），所述支撑杆（12）的上端穿过腔室（4）的顶面并延伸至控制板（3）的上方，所述支撑杆（12）的上端连接有连接板（13），所述连接板（13）的下端连接有点胶机构（14），且点胶机构（14）设置于连接板（13）远离控制板（3）的一端上，所述底座（1）上设有传送带（15），且传送带（15）位于点胶机构（14）的正下方。

2.根据权利要求1所述的一种高效固晶装置，其特征在于，所述转动杆（5）靠近棘轮（16）的一端上连接有手轮。

3.根据权利要求1所述的一种高效固晶装置，其特征在于，所述腔室（4）的底部水平设有滑槽，所述滑槽内设有两块滑块，两块所述滑块的上端与分别与两块控制块（8）的下端连接。

4.根据权利要求3所述的一种高效固晶装置，其特征在于，所述腔室（4）的左右两端内壁均水平连接有伸缩杆，所述伸缩杆远离腔室（4）内壁的一端与控制块（8）的侧壁连接。

5.根据权利要求1所述的一种高效固晶装置，其特征在于，所述腔室（4）的顶面设有槽口，两根所述的支撑杆（12）均贯穿至槽口内。