CN207176071U - 一种多功能用途的水冷电极 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多功能用途的水冷电极，包括铜电极、进水管、进水接头、出水接头、分水法兰，铜电极的上方设置进水接头，进水接头设置在分水法兰上，在分水法兰的另一侧设置出水接头，其特征在于，进水接头的下方设置进水管，进水管插入设置在铜电极上的空腔内；出水接头连通铜电极上的空腔，形成热交换区；在电极上通过水冷的形式来降低电极的工作温度；通过水进入电极内部的形式，将电极内部的温度进行降温，通过温度传导，利用冷却水的循环作用降低电极的温度，从而延长了电极的寿命；降低了应用的成本。

Description

一种多功能用途的水冷电极

技术领域

本实用新型涉及一种电极，尤其涉及一种多功能用途的水冷电极。

背景技术

在现有的镀膜设备中常应用到高温电极来进行放电，但是在现有的镀膜设备中采用的电极由于在密闭的腔体内部，一般的腔体内部处于相对较高的温度，又通过较大电流的电极会产生高温，在现有技术中由于电极缺少有效的冷却手段；导致电极的寿命明显缩短；由于电极的制造成本非常高，造成了设备的成本相对应的增加。

实用新型内容

本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足之处，本实用新型目的实现一种多功能用途的水冷电极，包括铜电极、进水管、进水接头、出水接头、分水法兰，所述的铜电极的上方设置进水接头，所述的进水接头设置在分水法兰上，在所述的分水法兰的另一侧设置出水接头，其特征在于，所述的进水接头的下方设置进水管，所述的进水管插入设置在所述的铜电极上的空腔内；所述的出水接头连通铜电极上的空腔，形成热交换区。

进一步在所述的分水法兰的下端设置一凹槽，在凹槽内设置第一密封圈；并将铜电极上设置的第一凸块嵌入凹槽内；在第一凸块的下方套入一卡环；在卡环的下方设置一紧固环；紧固环卡住卡环固定在分水法兰上；在紧固环的下方设置一接线铜排。

进一步在所述的铜电极上设置第二凸块；在第二凸块的上方设置一绝缘套，在绝缘套的外侧设置一压紧法兰；在第二凸块的下方设置第二密封圈；并将第二凸块上的台阶嵌入到密封法兰中；在密封法兰的下方设置连接法兰，与密封法兰形成法兰连接；在密封法兰与连接法兰之间设置第三密封圈；在连接法兰的下端设置标准CF法兰，与连接法兰形成螺纹连接；在标准CF法兰的下端设置一段接管，接管的一端与标准CF法兰连接，接管的另一端连接在腔体上。

进一步所述的铜电极穿过所述的接管插入腔体的内部，在所述的铜电极的末端设置成锯齿形。

本实用新型的技术效果在于，在电极上通过水冷的形式来降低电极的工作温度；通过水进入电极内部的形式，将电极内部的温度进行降温，通过温度传导，利用冷却水的循环作用降低电极的温度，从而延长了电极的寿命；降低了应用的成本。

附图说明

图1是本实用新型的立体示意图；

图2是本实用新型的剖视图；

图3是本实用新型的反向180°后的立体示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

结合实施例，进一步解释，结合附图1、附图2，本实施例公开了一种多功能用途的水冷电极，包括铜电极17、进水管4、进水接头1、出水接头3、分水法兰2，铜电极17的上方设置进水接头1，进水接头1设置在分水法兰2上，在分水法兰2的另一侧设置出水接头3，进水接头1的下方设置进水管4，进水管4插入设置在铜电极17上的空腔内；出水接头3连通铜电极17上的空腔，形成热交换区；这样通过进水接头1到进水管4一直到铜电极17上的空腔的底部，由于进水管4的长度要小于空腔的深度，在空腔的底部形成了水的出口，由于进水管4的管径要小于空腔的管径，在进水管4与空腔之间形成热交换区，在从出水接头3排除冷却水，形成水冷的循环。

结合附图1、附图2所示，为了进一步实现一种多功能用途的水冷电极的功能，在分水法兰2的下端设置一凹槽，在凹槽内设置第一密封圈5；并将铜电极17上设置的第一凸块41嵌入凹槽内；在第一凸块41的下方套入一卡环6；在卡环6的下方设置一紧固环7；紧固环7卡住卡环6固定在分水法兰2上；在紧固环7的下方设置一接线铜排8。在所述的铜电极17上设置第二凸块42；在第二凸块42的上方设置一绝缘套9，在绝缘套9的外侧设置一压紧法兰10；在第二凸块42的下方设置第二密封圈11；并将第二凸块42上的台阶嵌入到密封法兰12中；在密封法兰12的下方设置连接法兰14，与密封法兰12形成法兰连接；在密封法兰12与连接法兰14之间设置第三密封圈13；在连接法兰14的下端设置标准CF法兰15，与连接法兰14形成螺纹连接；在标准CF法兰15的下端设置一段接管16，接管16的一端与标准CF法兰15连接，接管16的另一端连接在腔体18上。铜电极71穿过接管16插入腔体18的内部，在铜电极17的末端设置成锯齿形。以上的一种多功能用途的水冷电极的结构，保证了在铜电极17在工作状态中的应用，可以利用法兰的连接方式进行固定，形成铜电极17在工作状态下的应用，保证了铜电极17的使用寿命的同时，也实现了铜电极17在一种多功能用途的水冷电极的主要应用结构。

作为本实用新型的优选的实施例，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型，也是本实用新型的保护范围。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (4)

1.一种多功能用途的水冷电极，包括铜电极、进水管、进水接头、出水接头、分水法兰，所述的铜电极的上方设置进水接头，所述的进水接头设置在分水法兰上，在所述的分水法兰的另一侧设置出水接头，其特征在于，所述的进水接头的下方设置进水管，所述的进水管插入设置在所述的铜电极上的空腔内；所述的出水接头连通铜电极上的空腔，形成热交换区。

2.如权利要求1所述的一种多功能用途的水冷电极，其特征在于，在所述的分水法兰的下端设置一凹槽，在凹槽内设置第一密封圈；并将铜电极上设置的第一凸块嵌入凹槽内；在第一凸块的下方套入一卡环；在卡环的下方设置一紧固环；紧固环卡住卡环固定在分水法兰上；在紧固环的下方设置一接线铜排。

3.如权利要求1所述的一种多功能用途的水冷电极，其特征在于，在所述的铜电极上设置第二凸块；在第二凸块的上方设置一绝缘套，在绝缘套的外侧设置一压紧法兰；在第二凸块的下方设置第二密封圈；并将第二凸块上的台阶嵌入到密封法兰中；在密封法兰的下方设置连接法兰，与密封法兰形成法兰连接；在密封法兰与连接法兰之间设置第三密封圈；在连接法兰的下端设置标准CF法兰，与连接法兰形成螺纹连接；在标准CF法兰的下端设置一段接管，接管的一端与标准CF法兰连接，接管的另一端连接在腔体上。

4.如权利要求3所述的一种多功能用途的水冷电极，其特征在于所述的铜电极穿过所述的接管插入腔体的内部，在所述的铜电极的末端设置成螺纹。